1.一种线扫描分光白光干涉仪,包括:光源部分(1)、准直器(2)、分光棱镜(4)、参考臂(5)、样品臂(6)、光谱仪(8);
其特征在于,光源部分(1)包括sld光源,所述sld光源出光端与所述准直器(2)连接;所述准直器(2)出光端发出的光束通过第一柱透镜(3)后进入所述分光棱镜(4),并分两路分别进入所述参考臂(5)和所述样品臂(6);所述参考臂(5)和所述样品臂(6)返回的反射光通过所述分光棱镜(4)后进入第二远心镜头(7),之后进入所述光谱仪(8);
所述参考臂(5)中沿光路依次设有第二柱透镜(501)、消色差透镜(502)、反光镜(503);
所述样品臂(6)中沿光路依次设有第一远心镜头(602)、测量样品(603);所述测量样品(603)放置于一维平移台(601)上。
2.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述光谱仪(8)中沿光路依次设有狭缝(801)、第三远心镜头(802)、光栅(803)、第四远心镜头(804)、相机(805);所述相机(805)的信号输出端电连上位机。
3.根据权利要求2所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述第三远心镜头(802)和所述第四远心镜头(804)结构相同,包括依次排列的p1透镜、p2透镜、p3透镜、p4透镜、p5透镜;其中,所述p1透镜为具有正光焦度的透镜,用于消除球差;所述p2透镜为具有负光焦度的透镜,用于消除球差、彗差和色差;所述p3透镜为具有正光焦度的透镜,用于消除倍率色差;所述p4透镜为具有正光焦度的透镜,所述p5透镜为具有正光焦度的透镜,所述p4透镜和所述p5透镜用于消除畸变和场曲。
4.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述准直器(2)为衍射极消色差镜。
5.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述第一柱透镜(3)为消色差柱透镜,光束经过所述第一柱透镜(3)聚焦后呈线状光斑。
6.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述第一远心镜头(602)和所述第二远心镜头(7)结构相同,包括依次排列的o1透镜、o2透镜、o3透镜、o4透镜;其中,所述o1透镜为具有正光焦度的透镜,用于消除球差、彗差、像散和畸变;所述o2透镜为具有负光焦度的透镜,用于消除球差、彗差、色差和畸变;所述o3为具有正光焦度的透镜,用于消除像散和畸变;所述o4为具有正光焦度的透镜,用于消除像散和场曲。
7.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述光源部分(1)为波长范围为810nm-870nm的近红外宽带光源。
8.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述光源部分(1)还包括红光ld、耦合器;所述红光ld通过所述耦合器后,依次经过所述准直器(2)、第一柱透镜(3)、分光棱镜(4)、第一远心镜头(602)聚焦于所述测量样品(603)的表面。
9.根据权利要求1所述的线扫描分光白光干涉仪,其特征在于,所述一维平移台(601)运动方向与聚焦于所述测量样品(603)表面光斑的长度方向垂直。