测漏推车及测漏方法与流程

1.本技术涉及半导体技术领域，涉及但不限于一种测漏推车及测漏方法。


背景技术：

2.薄膜沉积机台在腔室清洗保养(preventive maintenance，pm)时会对腔室顶部的盖子(dome)和与腔室顶部的盖子连接的反应气体的喷嘴(top injector)进行更换，并对下机的dome和top injector进行清洗，以便下次使用。
3.然而，由于dome和top injector均属于脆性陶瓷材料，在清洗过程中，dome和top injector的表面容易产生划痕，而划痕会影响到dome和top injector隙合面的隙合可靠性，进而使得薄膜沉积机台的腔室泄漏率(chamber leak rate)增大，无法通过氦检漏试验(helium leak test)，如此便需要重装dome和top injector，而每次重装都会消耗pm中的大部分时间且耽误其他pm项目的同时进行，从而增加了用料成本和时间成本。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本技术实施例提供一种测漏推车及测漏方法。
5.第一方面，本技术实施例提供一种测漏推车，至少包括：车体和设置于所述车体上的固定夹；
6.其中，所述车体用于放置待测漏组件；
7.所述固定夹用于固定所述车体与所述待测漏组件；
8.所述车体具有一测漏孔，所述测漏孔位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内，所述测漏孔用于实现对所述待测漏组件进行测漏。
9.在一些实施例中，所述车体至少包括一箱体；所述箱体具有一底板和与所述底板连接的至少一个侧板；
10.所述测漏孔位于所述底板上，且所述固定夹位于所述至少一个侧板上；所述箱体用于放置所述待测漏组件。
11.在一些实施例中，所述底板上还设置有一凹槽，所述凹槽位于所述底板与所述待测漏组件的接触位置；
12.所述凹槽用于放置密封件，以通过所述密封件实现所述底板与所述待测漏组件之间的密封。
13.在一些实施例中，所述车体还包括一连接支架；所述测漏推车还包括可刹车万向轮；
14.所述连接支架的一端与所述箱体固定连接，所述连接支架用于支撑所述箱体；
15.所述连接支架的另一端与所述可刹车万向轮转动连接，所述可刹车万向轮使得所述测漏推车能够自由移动。
16.在一些实施例中，所述测漏推车还包括设置于所述连接支架之间的支撑台；
17.所述支撑台位于所述底板的投影区域内，且所述支撑台的面积小于或者等于所述
底板的面积。
18.在一些实施例中，所述连接支架包括连接杆和调整脚架；
19.所述连接杆和所述调整脚架卡接，且所述连接杆与所述调整脚架能够相对移动；所述连接杆和所述调整脚架共同用于调节所述测漏推车的高度。
20.在一些实施例中，所述支撑台与所述调整脚架固定连接或者滑动连接；
21.所述调整脚架还用于调节所述支撑台的高度。
22.在一些实施例中，所述测漏孔通过法兰连接测漏管道的一端；
23.所述测漏管道的另一端分别连接真空泵和测漏仪，所述真空泵和所述测漏仪共同用于通过所述测漏管道和所述测漏孔对所述待测漏组件进行测漏。
24.在一些实施例中，所述待测漏组件至少包括第一组件和第二组件；
25.其中，所述第一组件和所述第二组件分别为特定机台上的两个独立的部件。
26.在一些实施例中，所述第一组件包括腔室圆顶；所述第二组件包括喷气头；
27.所述腔室圆顶和所述喷气头为薄膜沉积机台上的两个独立的部件。
28.第二方面，本技术实施例提供一种测漏方法，所述测漏方法至少应用于上述测漏推车；所述方法包括：
29.通过所述测漏推车对待测漏组件进行预测漏；
30.当所述预测漏结果满足要求时，在特定机台上对所述待测漏组件进行再次测漏。
31.在一些实施例中，所述测漏推车至少包括车体和设置于所述车体上的固定夹；所述车体至少包括一箱体，所述箱体至少具有一底板，且所述底板上设置有一测漏孔和一凹槽；
32.所述通过所述测漏推车对待测漏组件进行预测漏，包括：
33.在所述凹槽中放置密封件；
34.通过所述密封件和所述固定夹，将所述待测漏组件密封固定于所述测漏推车上；
35.通过测漏管道连接所述测漏孔、真空泵和测漏仪；
36.通过所述真空泵和所述测漏仪对所述待测漏组件进行预测漏。
37.在一些实施例中，所述通过所述真空泵和所述测漏仪对所述待测漏组件进行预测漏，包括：
38.通过所述真空泵，对所述待测漏组件和所述测漏推车之间的密封空间进行抽真空处理；
39.在所述待测漏组件的外部喷射特定类型的气体；其中，所述测漏仪能够检测出所述特定类型的气体；
40.通过所述测漏仪，对所述密封空间进行持续性地抽气处理，以实现对所述待测漏组件进行预测漏。
41.在一些实施例中，所述待测漏组件至少包括第一组件和第二组件；所述第一组件和所述第二组件分别为所述特定机台上的两个独立的部件；在将所述待测漏组件密封固定于所述测漏推车上之前，所述方法还包括：
42.将所述第一组件和所述第二组件的进行固定组合，形成一固定组合结构。
43.在一些实施例中，所述在特定机台上对所述待测漏组件进行再次测漏，包括：
44.对经过所述预测漏的固定组合结构进行拆卸；
45.将拆卸的所述固定组合结构安装在所述特定机台上；
46.通过测漏仪，在所述特定机台上对所述固定组合结构进行再次测漏。
47.本技术实施例提供的测漏推车及测漏方法，其中，测漏推车至少包括：车体和设置于车体上的固定夹；车体用于放置待测漏组件；固定夹用于固定车体与待测漏组件；车体具有一测漏孔，测漏孔位于待测漏组件在车体上的投影区域内，测漏孔用于实现对待测漏组件进行测漏。本技术实施例提供的测漏推车能够在机台外部实现对待测漏组件进行测漏，节约了时间成本和人力成本。
附图说明
48.在附图(其不一定是按比例绘制的)中，相似的附图标记可在不同的视图中描述相似的部件。具有不同字母后缀的相似附图标记可表示相似部件的不同示例。附图以示例而非限制的方式大体示出了本文中所讨论的各个实施例。
49.图1为本技术实施例提供的测漏推车的一种可选的结构示意图；
50.图2a为本技术实施例提供的测漏推车的一种可选的结构示意图；
51.图2b和2c分别为本技术实施例提供的测漏推车的俯视图和仰视图；
52.图2d为本技术实施例提供的连接支架的结构示意图；
53.图3为本技术实施例提供的测漏方法的一种可选的流程示意图
54.图4a和4b为本技术实施例提供的腔室圆顶的结构示意图；
55.图4c和4d为本技术实施例提供的喷气头的结构示意图；
56.图4e为本技术实施例提供的腔室圆顶和喷气头的组合结构的示意图；
57.图4f和4g为本技术实施例提供的将腔室圆顶和喷气头的组合结构固定在测漏推车上的结构示意图；
58.图4h为本技术实施例提供的采用测漏推车对腔室圆顶和喷气头的组合结构进行氦测的结构示意图。
具体实施方式
59.下面将参照附图更详细地描述本技术公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本技术的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本技术，而不应被这里阐述的具体实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本技术，并且能够将本技术公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
60.在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述；即，这里不描述实际实施例的全部特征，不详细描述公知的功能和结构。
61.在附图中，为了清楚，层、区、元件的尺寸以及其相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。
62.应当明白，当元件或层被称为“在
……
上”、“与
……
相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在
……
上”、“与
……
直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本技术教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。而当讨论的第二元件、部件、区、层或部分时，并不表明本技术必然存在第一元件、部件、区、层或部分。
63.在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本技术的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
64.相关技术中，由于dome和top injector通过o型密封圈(o-ring)进行隙合，dome和top injector在真空环境和较高的制程温度下运行一段时间后dome和top injector隙合非常紧密，并且dome和top injector都属于陶瓷材质，所以dome和top injector都属于易损耗零件。
65.目前对薄膜沉积机台进行保养的通常做法是，对下机后的dome和top injector送洗指定的清洗厂商进行清洗，清洗厂商会使用喷砂、泡酸等工艺来达到dome和top injector表面清洁和表面粗糙度的要求。由于dome和top injector为陶瓷材料且料件为曲面形状，陶瓷脆性材质容易在喷砂处理时产生划痕或崩瓷，划痕和崩瓷也会影响到dome和top injector隙合面的隙合可靠性。且多次的零件重复利用也会导致零件寿命问题，使机台的腔室泄漏率增大，无法通过氦检漏试验。然而，相关技术中影响机台的腔室泄漏率的原因有很多，因此，在氦检漏试验未通过时，需要重装dome和top injector或者更换新的dome和top injector进行重装再次测漏，而每次的重装都会消耗pm中的大部分时间且耽误其他pm项目的同时进行，从而增加了用料成本和时间成本。
66.基于相关技术中存在的上述问题，本技术实施例提供一种测漏推车及测漏方法，能够在机台外部实现对待测漏组件进行测漏，节约了时间成本和人力成本。
67.图1为本技术实施例提供的测漏推车的一种可选的结构示意图，如图1所示，所述测漏推车10包括车体101和设置于所述车体上的固定夹102。
68.其中，所述车体101用于放置待测漏组件(图中未示出)；所述固定夹102用于固定所述车体101与所述待测漏组件；所述车体具有一测漏孔a，所述测漏孔a位于所述待测漏组件在所述车体101上的投影区域内，所述测漏孔a用于实现对所述待测漏组件进行测漏。
69.这里，所述测漏孔可以位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内的任意一个位置，例如，位于投影区域的中心或投影区域的边缘。所述测漏孔可以是圆形孔、椭圆形孔、三角形孔、方形孔或者多边形孔。所述测漏孔通过一测漏管道连接至外部的测漏仪，进而通过所述测漏仪对所述待测漏组件进行测漏。本技术实施例中，所述测漏孔可以为nw25法兰接口。
70.本技术实施例中，所述车体101包括一箱体1011和一连接支架1012；所述连接支架1012的一端与箱体1011固定连接，所述连接支架1012用于支撑所述箱体1011。其中，所述箱
体1011具有一底板1011a和与所述底板1011a连接的至少一个侧板1011b。所述箱体1011用于放置所述待测漏组件，所述待测漏组件位于箱体1011中的底板1011a的表面，所述测漏孔a位于所述底板1011a上，且所述固定夹102位于所述至少一个侧板1011b上。这里，所述固定夹102可以是卡扣夹、弹力夹或者其它类型的夹子。
71.本技术实施例中，所述箱体为一敞口的容纳器，用于容纳所述待测漏组件。所述箱体具有四个侧板，相邻的两个侧板相互连接，且每一侧板均与底板连接。在其它实施例中，所述箱体也可以具有一个侧板、三个侧板或者五个侧板。
72.在一些实施例中，所述连接支架与所述箱体还可以是活动连接的。
73.本技术实施例中，所述待测漏组件至少包括第一组件和第二组件，所述第一组件和所述第二组件固定在一起形成所述待测漏组件。所述第一组件和所述第二组件可以分别为特定机台上的两个独立的部件。所述特定机台例如可以为薄膜沉积机台、刻蚀机台或者封装机台。在一些实施例中，当所述特定机台为薄膜沉积机台时，所述第一组件可以为腔室圆顶(dome)，所述第二组件可以为喷气头(top injector)。
74.本技术实施例提供的测漏推车能够在机台外部实现对待测漏组件进行测漏，节约了时间成本和人力成本。
75.图2a为本技术实施例提供的测漏推车的一种可选的结构示意图，所述测漏推车10包括车体101、设置于所述车体上的固定夹102、可刹车万向轮(图中未示出)和支撑台103。
76.其中，所述车体101用于放置待测漏组件；所述固定夹102用于固定所述车体101与所述待测漏组件；所述车体101具有一测漏孔a，所述测漏孔a位于所述待测漏组件在所述车体101上的投影区域内，所述测漏孔a用于实现对所述待测漏组件进行测漏。
77.在一些实施例中，所述车体101包括一箱体1011和一连接支架1012；所述连接支架1012的一端与所述箱体1011固定或活动连接，所述连接支架1012的另一端与所述可刹车万向轮转动连接。其中，所述箱体1011用于放置所述待测漏组件；所述连接支架1012用于支撑所述箱体1011；所述可刹车万向轮使得所述测漏推车10能够自由移动。
78.本技术实施例提供的测漏推车可以通过可刹车万向轮自由移动，并停止于任何合适的地方，方便使用。
79.本技术实施例中，所述测漏推车包括四个可刹车万向轮。在其它实施例中，所述测漏推车还可以包括两个固定脚轮和两个可刹车万向轮，通过两个可刹车万向轮带动两个固定脚轮使得测漏推车可以自由移动。
80.在一些实施例中，所述箱体1011具有一底板1011a和与所述底板连接的至少一个侧板1011b，图2b、2c分别为测漏推车的俯视图和仰视图，结合图2a～2c所示，可以看出，所述测漏孔a位于所述底板1011a的中心，且所述固定夹102位于所述至少一个侧板1011b上。所述底板1011a上还设置有一凹槽b，所述凹槽b位于所述底板1011a与所述待测漏组件的接触位置。
81.本技术实施例中，所述凹槽b用于放置密封件，以通过所述密封件实现所述底板与所述待测漏组件之间的密封。所述凹槽b可以为圆形凹槽、椭圆形凹槽、三角形凹槽、方形凹槽或者多边形凹槽。所述密封件可以为密封圈或者密封条，例如，o型密封圈(o-ring)。
82.本技术实施例中，在待测漏组件与测漏推车之间(即凹槽中)设置密封件，可以避免损伤待测漏组件的隙合面。
83.本技术实施例中，所述支撑台为具有特定厚度的一个平台。请继续参见图2a和2c，所述支撑台103位于所述底板1011a的投影区域内，且所述支撑台103的面积小于或者等于所述底板1011a的面积。本技术实施例中，所述测漏孔a通过测漏管道连接至外部的测漏仪，进而通过所述测漏仪对所述待测漏组件进行测漏。所述支撑台103用于在安装所述测漏管道时，增加工程师手部的稳定性。
84.图2d为本技术实施例提供的连接支架的结构示意图，如图2d所示，所述连接支架1012包括连接杆1012a和调整脚架1012b；所述连接杆1012a和所述调整脚架1012b卡接，且所述连接杆1012a与所述调整脚架1012b能够相对移动；所述连接杆1012a和所述调整脚架1012b共同用于调节所述测漏推车的高度。
85.在一些实施例中，所述调整脚架可以卡接在连接杆内，所述调整脚架上具有多个凸起，对应的所述连接杆上具有多个卡槽；或者，所述调整脚架上具有多个卡槽，对应的所述连接杆上具有多个凸起，所述卡槽和所述凸起共同用于调节所述连接杆和所述调整脚架的相对位置。
86.在一些实施例中，所述支撑台103与所述调整脚架1012b固定连接或者滑动连接；所述调整脚架1012b还用于调节所述支撑台103的高度。
87.本技术实施例提供的测漏推车，由于支撑箱体的连接支架由可以相对移动的两部分组成，且支撑台相对于连接支架可以相对移动，如此，使得测漏推车的高度以及测漏推车中的支撑台的高度均可以依据需求进行调整，方便使用。
88.除此之外，本技术实施例还提供一种测漏方法，所述测漏方法至少应用于上述实施例中的测漏推车。图3为本技术实施例提供的测漏方法的一种可选的流程示意图，如图3所示，所述方法包括以下步骤：
89.步骤s301、通过所述测漏推车对待测漏组件进行预测漏。
90.本技术实施例中，所述测漏推车至少包括车体和设置于所述车体上的固定夹；所述车体至少包括一箱体，所述箱体至少具有一底板，且所述底板上设置有一测漏孔和一凹槽。步骤s301可以包括以下步骤：
91.在所述凹槽中放置密封件。
92.这里，所述密封件可以是密封圈或者密封条。
93.通过所述密封件和所述固定夹，将所述待测漏组件密封固定于所述测漏推车上。
94.所述密封件位于待测漏组件与箱体底板的接触位置，通过密封件和车体上的固定夹，将所述待测漏组件与所述测漏推车进行固定。
95.通过测漏管道连接所述测漏孔、真空泵和测漏仪。
96.本技术实施例中，所述测漏管道的一端至少通过法兰连接至所述测漏孔，所述测漏管道的另一端分别连接至真空泵和测漏仪。
97.通过所述真空泵和所述测漏仪对所述待测漏组件进行预测漏。
98.在一些实施例中，所述通过所述真空泵和所述测漏仪对所述待测漏组件进行预测漏，包括：
99.通过所述真空泵，对所述待测漏组件和所述测漏推车之间的密封空间进行抽真空处理。
100.这里，所述真空泵可以是气体捕集泵或者气体传输泵。
101.在所述待测漏组件的外部喷射特定类型的气体；其中，所述测漏仪能够检测出所述特定类型的气体。
102.本技术实施例中，所述特定类型的气体可以是氦气、氖气、氩气、氪气或者氙气，对应地，所述测漏仪可以是氦测仪、氩测仪、氪测仪或者氙测仪。
103.通过所述测漏仪，对所述密封空间进行持续性地抽气处理，以实现对所述待测漏组件进行预测漏。
104.由于所述待测漏组件和所述车体之间的是完全密封的，此时，在待测漏组件周围喷射特定类型的气体，并通过测漏仪检测待测漏组件内部是否存在该特定类型的气体，如此，可以实现对待测漏组件进行测漏。
105.本技术实施例中，所述待测漏组件至少包括第一组件和第二组件，所述第一组件和所述第二组件分别为所述特定机台上的两个独立的部件。
106.在一些实施例中，在将所述待测漏组件密封固定于所述测漏推车上之前，所述方法还包括：将所述第一组件和所述第二组件的进行固定组合，形成一固定组合结构。
107.步骤s302、判断所述预测漏结果是否满足要求。
108.在测漏仪检测出所述特定类型的气体的情况下，表明预测漏结果不满足要求；在测漏仪没有检测出所述特定类型的气体的情况下，表明预测漏结果满足要求。本技术实施例中，当所述预测漏结果满足要求时，执行步骤s303；当预测漏结果不满足要求时，返回执行步骤s301。
109.本技术实施例中，当预测漏结果不满足要求时，表明待测组件内部的气密性不好，这时，需要更换新的待测组件，再次进行预测漏，直至预测漏的结果符合要求。
110.步骤s303、在特定机台上对所述待测漏组件进行再次测漏。
111.在一些实施例中，步骤s303包括以下步骤：
112.对经过所述预测漏的固定组合结构进行拆卸。
113.将拆卸的所述固定组合结构安装在所述特定机台上。
114.通过测漏仪，在所述特定机台上对所述固定组合结构进行再次测漏。
115.本技术实施例中，在测漏推车上对第一组件和第二组件的固定组合结构进行预测漏通过之后，表明待测漏组件内部的气密性良好，此时，将完整的固定组合结构安装在特定机台上，进行再次测漏，若再次测漏的结果不符合要求，那么，只能说明是待测漏组件与特定机台之间的隙合不紧密，如此，可以实现快速确定出漏气点，并准确应对，不会影响机台的产能。
116.本技术实施例中，如果直接在特定机台上测漏的话会占用机台、影响产能，先在机台外组装测漏，机台可以正常生产，而且外部测好后再在机台上测漏就会更快速的完成测漏测试，节约时间。
117.下面，以特定机台为薄膜沉积机台、待测漏组件包括dome和top injector、测漏过程为氦测漏过程为例，对本技术实施例提供的测漏方法进行详细介绍。
118.首先，将dome和top injector在外部组合好，再将组合好dome和top injector放置到氦测工具车(对应上述实施例中的测漏推车)上，摆放稳固，然后用加压固定片(对应上实施例中的固定夹)紧固，将氦测仪连接到氦测车底部法兰上，开启氦测仪进行氦测(对应上述实施例中的预测漏过程)；其次，在氦测结果通过后，在薄膜沉积机台上进行再次氦测
(对应上述实施例中的再次测漏过程)。
119.如图4a和4b所示，薄膜沉积机台中腔室圆顶40与喷气头结合的地方为氦测易漏区域c，腔室圆顶40表面包括四个紧固螺丝孔d和五个气体传输管道口e。如图4c和4d所示，本技术实施例中，喷气头包括两个部分，一部分为喷气头盖(top injector cover)411，另一部分为喷气头主体412。其中，喷气头盖411和喷气头主体412分别也具有四个紧固螺丝孔d1、d2和五个气体传输管道口e1、e2。本技术实施例中，薄膜沉积机台上的氦测易漏区域c可能产生漏气的点有三个：一是喷气头盖密封圈处漏气；二是喷气头盖和喷气头主体密封圈处漏气；三是腔室圆顶与喷气头配合安装时漏气。
120.本技术实施例中，将腔室圆顶40与喷气头进行外部组装的过程为：先将喷气头主体412放置在腔室圆顶40的表面，然后将喷气头盖411盖在喷气头主体412的表面，最后采用四个紧固螺丝将喷气头盖411、喷气头主体412和腔室圆顶40进行固定，形成了如图4e所示的组合结构42。其中，喷气头盖411、喷气头主体412之间通过一个大的o型密封圈411a和五个小的o型密封圈412a进行密封。
121.如图4f和4g所示，将腔室圆顶与喷气头的组合结构42固定在测漏推车43上，以通过所述测漏推车43对腔室圆顶与喷气头的组合结构42进行预测漏。如图4h所示，本技术实施例中，测漏推车43通过测漏管道44连接至外部的氦测仪45，采用氦测仪45对腔室圆顶与喷气头的组合结构42进行预测漏。
122.请继续参见图4h，在一些实施例中，采用测漏推车43对腔室圆顶与喷气头的组合结构42进行预测漏的过程是：先将腔室圆顶与喷气头内部空间抽真空；其次，在腔室圆顶和喷气头周围(即组合结构42的外围)喷氦气；再次，采用氦测仪45一直抽气进行测试，若氦测仪45数值上升则会报警(因氦测仪对氦气得测试较敏感，若腔室圆顶和喷气头没有密封好则外部喷射的氦气必定会通过缝隙进入腔室圆顶和喷气头内部并被氦测仪检测到)，若氦测仪45没有报警则认为腔室圆顶和喷气头之间的密封性良好。
123.在通过氦测仪检测出腔室圆顶和喷气头之间的密封性良好的情况下，将腔室圆顶和喷气头的组合结构一起拆下，并安装在薄膜沉积机台上，再次进行氦测后投入使用。
124.本技术实施例提供的测漏方法至少应用于上述实施例中的氦测推车，对于本技术实施例未详尽披露的技术特征，请参照上述实施例进行理解，这里不再赘述。
125.本技术实施例提供的测漏方法，将dome和top injector在机台外组装，使用可移动外接测漏推车，能够实现移动方便，节约时间，精准氦测的优点；并且不会刮伤dome和top injector组合结构的隙合面，能够实现快速测漏，快速分离，快速厘清的优点。
126.在本技术所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过非目标的方式实现。以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合。
127.本技术所提供的几个方法或设备实施例中所揭露的特征，在不冲突的情况下可以任意组合，得到新的方法实施例或设备实施例。
128.以上所述，仅为本技术实施例的一些实施方式，但本技术实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术实施例揭露的技术范围内，可轻易想
到变化或替换，都应涵盖在本技术实施例的保护范围之内。因此，本技术实施例的保护范围应以权利要求的保护范围为准。