晶圆测试探针台及其测试方法与流程

1.本发明涉及晶圆测试探针台技术领域，具体为晶圆测试探针台及其测试方法。


背景技术：

2.在集成电路的制备过程中，晶圆测试是必不可少的一个过程，而晶圆测试探针台是实现晶圆测试的关键设备，它承载晶圆并根据每个独立的管芯的大小作为步长做周期移动，保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。
3.但是，现有的晶圆测试探针台在固定晶圆时，多采用真空吸附固定晶圆，利用内外的压力差对晶圆进行吸附固定，当所处环境本身气压就较低时，此方法的固定效果就大大削弱，晶圆会在测试中发生偏移，需对其不断调整，影响测试效率；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了晶圆测试探针台及其测试方法。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供晶圆测试探针台及其测试方法，以解决上述背景技术中提出的晶圆测试探针台在固定晶圆时，多采用真空吸附固定晶圆，利用内外的压力差对晶圆进行吸附固定，当所处环境本身气压就较低时，此方法的固定效果就大大削弱，晶圆会在测试中发生偏移，需对其不断调整，影响测试效率的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆测试探针台，包括显微镜，所述显微镜的底部设置有探测台，且探测台呈“u”形，所述探测台的顶部设置有测试器，且测试器有四个，所述测试器相互靠近的一侧设置有探测针，所述探测针的底部设置有观察盘，所述观察盘的底部设置有圆柱筒，所述圆柱筒的底部设置有存放壳体，所述存放壳体的底部设置有支撑壳体，所述支撑壳体的底部设置有底座，所述支撑壳体的两侧均设置有支撑板，所述底座与支撑壳体和支撑板焊接连接。
6.优选的，所述支撑板与探测台之间设置有支撑柱，且支撑柱有多个，所述支撑柱与探测台和支撑板焊接连接。
7.优选的，所述底座的底部设置有支脚，且支脚有四个，所述支脚与底座通过螺丝转动连接。
8.优选的，所述显微镜的一侧设置有转台，所述转台与显微镜通过转轴转动连接，所述探测台与转台和测试器通过卡槽连接。
9.优选的，所述存放壳体的内侧设置有存放盒，且存放壳体与存放盒通过滑槽滑动连接，所述存放盒的远离存放壳体的表面设置有拉手槽。
10.优选的，所述存放盒的内部设置有滑动槽，所述滑动槽的顶部设置有限位板，所述限位板与存放盒通过卡槽连接。
11.优选的，所述存放盒的顶部设置有晶圆，所述晶圆与限位板相吻合。
12.优选的，所述支撑壳体的内部设置有气缸，所述气缸的顶部设置有升降柱，所述升降柱的顶部设置有粘性托盘。
13.优选的，所述观察盘的内侧设置有防撞垫，且观察盘与防撞垫通过卡槽连接。
14.晶圆测试探针台的使用方法，包括如下步骤：步骤一：手拽拉手槽，把存放盒滑动抽出存放壳体外；步骤二：把对应晶圆匹配的限位板放于存放盒的卡槽中，再把晶圆给放于限位板中间，滑动槽之上；步骤三：把存放盒推进存放壳体的滑槽中；步骤四：启动气缸带动升降柱上升，推动粘性托盘上升，并与其上方的晶圆底部相接触吸附；步骤五：晶圆被推到观察盘的下方，防撞垫对晶圆有缓冲作用，并对晶圆进行固定限位；步骤六：操作测试器和探测针对晶圆进行测试，并使用显微镜对晶圆进行观察。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、本发明通过粘性托盘和防撞垫的相互配合的设计，粘性托盘对晶圆有吸附力，可有效保证晶圆在上升过程中的稳定性，对晶圆进行固定效果好，防撞垫则在晶圆上升到最高处时，对晶圆进行缓冲作用，可保护晶圆的安全，防止晶圆在固定过程中发生破碎，减少不必要的损失，粘性托盘和防撞垫的共同作用，使得晶圆上下边缘都被完整的包裹住，固定效果好，在测试过程中不会因为气压的改变，吸附力减弱而发生偏移，固定效果更好，去除了对晶圆的调整时间，从而使得晶圆的测试效率提高，节约了时间成本；2、本发明通过限位板和存放盒相互配合的作用，可对存放盒中的限位板进行更换，从而来满足不同直径晶圆进行测试，把对应晶圆匹配的限位板放于存放盒的卡槽中，再把晶圆给放于限位板中间相应的孔洞中，同时也位于滑动槽之上，来保持晶圆在存放盒中的稳定性，把存放盒移动至存放壳体中也更加的平稳，可根据晶圆的大小对限位板进行更换，使得装置更为灵活，增强了晶圆测试的灵活性。
附图说明
16.图1为本发明的整体主视图；图2为本发明的存放盒与存放壳体连接结构示意图；图3为本发明的晶圆与存放盒连接结构示意图；图4为本发明的粘性托盘结构示意图；图5为本发明的a处放大图。
17.图中：1、显微镜；2、探测台；3、支撑板；4、支脚；5、底座；6、支撑柱；7、转台；8、测试器；9、探测针；10、观察盘；11、圆柱筒；12、存放壳体；13、支撑壳体；14、存放盒；15、防撞垫；16、限位板；17、滑动槽；18、拉手槽；19、气缸；20、升降柱；21、粘性托盘；22、晶圆。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.请参阅图1-5，本发明提供的一种实施例：晶圆测试探针台，包括显微镜1，显微镜1的底部设置有探测台2，且探测台2呈“u”形，“u”形更便于探测台2的使用，探测台2的顶部设
置有测试器8，且测试器8有四个，可对晶圆22进行多方位多角度的测试，使用效果更加的优良，测试效果更佳，测试器8相互靠近的一侧设置有探测针9，探测针9的底部设置有观察盘10，观察盘10采用可对晶圆22进行固定，并且对晶圆22固定效果好，不会出现产生偏移的情况，有效降低了对晶圆22的调整，从而有效提高晶圆22的测试效率，观察盘10的底部设置有圆柱筒11，圆柱筒11是对于晶圆22的移动通道，可保护晶圆22在其中运行的轨迹和移动的安全性，对装置中的物品进行保护，圆柱筒11的底部设置有存放壳体12，存放壳体12的底部设置有支撑壳体13，支撑壳体13的底部设置有底座5，支撑壳体13的两侧均设置有支撑板3，两块支撑板3同时对探测台2“u”形的两侧进行支撑，保证了探测台2的平稳性和探测台2的安全性，底座5与支撑壳体13和支撑板3焊接连接，焊接连接更为牢固，使用起来更加经久耐用，可增长装置的使用寿命。
20.进一步，支撑板3与探测台2之间设置有支撑柱6，且支撑柱6有多个，支撑柱6与探测台2和支撑板3焊接连接，焊接连接更为牢固，可增长装置的使用寿命，使用起来更加经久耐用。
21.进一步，底座5的底部设置有支脚4，且支脚4有四个，支脚4与底座5通过螺丝转动连接，支脚4保护装置的稳定性，并抬高装置的高度，对装置底部有一定的防护作用。
22.进一步，显微镜1的一侧设置有转台7，转台7与显微镜1通过转轴转动连接，探测台2与转台7和测试器8通过卡槽连接，转台7可灵活调节显微镜1的位置，从而可以更好的观察晶圆22，保证晶圆22的测试效果更好。
23.进一步，存放壳体12的内侧设置有存放盒14，且存放壳体12与存放盒14通过滑槽滑动连接，存放盒14的远离存放壳体12的表面设置有拉手槽18，存放盒14与存放壳体12滑动连接，使用起来更加方便便捷，通过限位板16和存放盒14相互配合的作用，可对存放盒14中的限位板16进行更换，从而来满足不同直径晶圆22进行测试，把对应晶圆22匹配的限位板16放于存放盒14的卡槽中，再把晶圆22给放于限位板16中间相应的孔洞中，同时也位于滑动槽17之上，来保持晶圆22在存放盒14中的稳定性，把存放盒14移动至存放壳体12中也更加的平稳，可根据晶圆22的大小对限位板16进行更换，使得装置更为灵活，增强了晶圆22测试的灵活性。
24.进一步，存放盒14的内部设置有滑动槽17，滑动槽17的顶部设置有限位板16，限位板16与存放盒14通过卡槽连接，可通过限位板16去固定晶圆22的位置，使用起来更加的方便便捷。
25.进一步，存放盒14的顶部设置有晶圆22，晶圆22与限位板16相吻合，可根据晶圆22的大小对限位板16进行更换，以此来满足不同直径晶圆22进行测试，增强了晶圆22测试的灵活性。
26.进一步，支撑壳体13的内部设置有气缸19，气缸19的顶部设置有升降柱20，升降柱20的顶部设置有粘性托盘21，粘性托盘21对晶圆22有吸附力，可有效保证晶圆22在上升过程中的稳定性，对晶圆22进行固定效果好。
27.进一步，观察盘10的内侧设置有防撞垫15，且观察盘10与防撞垫15通过卡槽连接，防撞垫15可保护晶圆22的安全，防止晶圆22在固定过程中发生破碎，减少不必要的损失。
28.晶圆测试探针台的使用方法，包括如下步骤：步骤一：手拽拉手槽18，把存放盒14滑动抽出存放壳体12外，拉手槽18便于人们进
行使用；步骤二：把对应晶圆22匹配的限位板16放于存放盒14的卡槽中，再把晶圆22给放于限位板16中间，滑动槽17之上，可根据晶圆22的大小对限位板16进行更换，使得装置更为灵活；步骤三：把存放盒14推进存放壳体12的滑槽中，对存放盒14中晶圆22的位置进行固定，结构简单，操作便捷；步骤四：启动气缸19带动升降柱20上升，推动粘性托盘21上升，并与其上方的晶圆22底部相接触吸附，粘性托盘21对晶圆22有一定的吸附性，可在晶圆22上升时，对晶圆22有一定的保护措施，这样可增强晶圆22的固定效果；步骤五：晶圆22被推到观察盘10的下方，防撞垫15对晶圆22有缓冲作用，并对晶圆22进行固定限位，对晶圆22固定的更加稳定，并且也保护了晶圆22的安全性，粘性托盘21和防撞垫15的共同作用，使得晶圆22上下边缘都被完整的包裹住，固定效果好，在测试过程中不会因为气压的改变，吸附力减弱而发生偏移，固定效果更好，去除了对晶圆22的调整时间，从而使得晶圆22的测试效率提高，节约了时间成本；步骤六：操作测试器8和探测针9对晶圆22进行测试，并使用显微镜1对晶圆22进行观察，使用观察效果好，可对晶圆22每个部分进行测试。
29.工作原理：使用时，先手拽拉手槽18，把存放盒14滑动抽出存放壳体12外，拉手槽18便于人们进行使用，把对应晶圆22匹配的限位板16放于存放盒14的卡槽中，再把晶圆22给放于限位板16中间，滑动槽17之上，可根据晶圆22的大小对限位板16进行更换，使得装置更为灵活，把存放盒14推进存放壳体12的滑槽中，对存放盒14中晶圆22的位置进行固定，结构简单，操作便捷，启动气缸19带动升降柱20上升，推动粘性托盘21上升，并与其上方的晶圆22底部相接触吸附，粘性托盘21对晶圆22有一定的吸附性，可在晶圆22上升时，对晶圆22有一定的保护措施，这样可增强晶圆22的固定效果，晶圆22被推到观察盘10的下方，防撞垫15对晶圆22有缓冲作用，并对晶圆22进行固定限位，对晶圆22固定的更加稳定，并且也保护了晶圆22的安全性，粘性托盘21和防撞垫15的共同作用，使得晶圆22上下边缘都被完整的包裹住，固定效果好，在测试过程中不会因为气压的改变，吸附力减弱而发生偏移，固定效果更好，去除了对晶圆22的调整时间，从而使得晶圆22的测试效率提高，节约了时间成本，操作测试器8和探测针9对晶圆22进行测试，并使用显微镜1对晶圆22进行观察，使用观察效果好，可对晶圆22每个部分进行测试。
30.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。