技术特征：
1.一种空气分子污染amc监测装置，其包括：歧管，其包含：进口管，其适于在取样管总线中流体耦合多个个别取样管，其中每一个别取样管经由多通阀流体耦合到所述进口管，缓冲槽，其经由多通阀流体耦合到所述进口管，及多个出口管，每一出口管流体耦合到所述缓冲槽且每一出口管经由多通阀流体耦合到分析器，其中将所述个别取样管流体耦合到所述进口管的所述多通阀、将所述进口管流体耦合到所述缓冲槽的所述多通阀及将所述出口管流体耦合到所述分析器的所述多通阀能经配置以使得所述歧管能被清空；一或多个分析器，每一分析器流体耦合到所述歧管的所述一或多个出口的一者以分析通过所述多个个别取样管的一或多者抽取到所述歧管中的流体；及控制及通信系统，其耦合到所述一或多个分析器。2.根据权利要求1所述的amc监测装置，其中每一个别取样管耦合到工艺设备站的腔室。3.根据权利要求1所述的amc监测装置，其中所述一或多个传感器能包含个别或总挥发性有机化合物voc检测器、酸化合物检测器、碱化合物检测器、硫化物化合物检测器、胺化合物检测器、空气粒子或气溶胶计数检测器、湿度检测器、温度检测器、化学冷却剂检测器、阴离子检测器、阳离子检测器、金属离子检测器或掺杂离子检测器。4.根据权利要求1所述的amc监测装置，其中所述歧管进一步包括耦合到所述缓冲槽以清空所述缓冲槽的内部的清洁空气流入及清洁空气流出。5.根据权利要求4所述的amc监测装置，其中所述歧管进一步包括流体耦合到所述缓冲槽的所述内部的泵。6.根据权利要求5所述的amc监测装置，其进一步包括耦合到所述多通阀的上游的所述进口管的一或多个分析器，所述多通阀将所述进口管耦合到所述缓冲槽。7.根据权利要求6所述的amc监测装置，其中耦合到所述多通阀的上游的所述进口管的所述一或多个分析器包含温度分析器或湿度分析器。8.根据权利要求1所述的amc监测装置，其进一步包括流体耦合到所述多通阀的泵，所述多通阀将所述进口管耦合到所述缓冲槽。9.一种环境监测系统，其包括：两个或更多个取样总线，每一取样总线包括多个个别取样管，每一取样总线对应于工艺设备模块，其中取样总线中的每一个别取样管适于流体耦合到对应的所述工艺设备模块的一或多个腔室；单个空气分子污染amc装置，其经配置以流体耦合到所述两个或更多个取样总线中的一者且与所述两个或更多个取样总线中的一者解耦合，所述空气污染装置包括：歧管，其具有多个进口及一或多个出口，其中来自所述amc装置耦合到的所述取样总线的每一个别取样管适于流体耦合到所述歧管的所述多个进口中的一者，一或多个分析器，每一分析器流体耦合到所述歧管的所述一或多个出口的一者以分析通过所述多个个别取样管的一或多者抽取到所述歧管中的流体，及
控制及通信系统，其耦合到所述一或多个分析器；及远程服务器，其无线地或通过导线通信耦合到所述控制及通信系统；其中所述单个amc装置是可移动的，以使其能从其流体耦合到一个取样总线的位置移动到其能流体耦合到另一个取样总线的位置。10.根据权利要求9所述的系统，其中每一工艺设备模块包含装载端口以接收携载所制造物品的可移动载具，且其中至少一个个别取样管流体耦合到每一装载端口以在所述可移动载具放置在所述装载端口上时对所述可移动载具内部的环境进行取样。11.根据权利要求10所述的系统，其中个别取样管适于流体耦合到所述工艺设备模块的接口腔室、锁装载腔室及工艺腔室以对每一腔室内的环境进行取样。12.根据权利要求11所述的系统，其进一步包括附接到所述amc装置且流体耦合到所述amc装置的至少一个个别取样管的装载端口。13.根据权利要求9所述的系统，其中所述歧管包括：进口管，其经由多通阀流体耦合到所述多个个别取样管中的每一者；缓冲槽，其经由多通阀流体耦合到所述进口管；多个出口管，每一出口管流体耦合到所述缓冲槽且每一出口管经由多通阀流体耦合到分析器；清洁空气流入及清洁空气流出，其耦合到所述缓冲槽以清空所述缓冲槽的内部。14.一种环境监测系统，其包括：两个或更多个取样总线，每一取样总线包括多个个别取样管，每一取样总线对应于一组工艺设备模块，其中取样总线中的每一个别取样管适于流体耦合到对应组工艺设备模块中的工艺设备模块的腔室；单个空气分子污染amc装置，其经配置以流体耦合到所述两个或更多个取样总线中的一者且与所述两个或更多个取样总线中的一者解耦合，所述空气污染装置包括：歧管，其具有多个进口及一或多个出口，其中来自所述amc装置所耦合到的所述取样总线的每一个别取样管流体耦合到所述歧管的所述多个进口中的一者，一或多个分析器，每一分析器流体耦合到所述歧管的所述一或多个出口的一者以分析通过所述多个个别取样管的一或多者抽取到所述歧管中的流体，及控制及通信系统，其耦合到所述一或多个分析器；及远程服务器，其无线地或通过导线通信耦合到所述控制及通信系统；其中所述单个amc装置是可移动的，以使得其能从其流体耦合到一个取样总线的位置移动到其能流体耦合到另一个取样总线的位置。15.根据权利要求14所述的系统，其中每一工艺设备模块包含装载端口以接收携载所制造物品的可移动载具，且其中至少一个个别取样管流体耦合到每一装载端口以在所述可移动载具放置在所述装载端口上时对所述可移动载具内部的环境进行取样。16.根据权利要求15所述的系统，其中个别取样管适于流体耦合到所述工艺设备模块的接口腔室、锁装载腔室及工艺腔室以对每一腔室内的环境进行取样。17.根据权利要求14所述的系统，其进一步包括附接到所述amc装置且流体耦合到所述amc装置的至少一个个别取样管的装载端口。18.根据权利要求14所述的系统，其中所述控制及通信系统无线地或通过导线通信耦
合到远程服务器、通信耦合到所述至少一个工艺设备模块，或通信耦合到所述远程服务器及所述至少一个工艺设备模块两者。19.根据权利要求14所述的系统，其中所述歧管包括：进口管，其经由多通阀流体耦合到所述多个个别取样管中的每一者；缓冲槽，其经由多通阀流体耦合到所述进口管；多个出口管，每一出口管流体耦合到所述缓冲槽且每一出口管经由多通阀流体耦合到分析器；清洁空气流入及清洁空气流出，其耦合到所述缓冲槽以清空所述缓冲槽的内部。20.一种环境监测系统，其包括：空气分子污染amc装置，其经配置以流体耦合到所述两个或更多个取样总线中的一者且与所述两个或更多个取样总线中的一者解耦合，所述空气污染装置包括：歧管，其具有多个进口及一或多个出口，其中所述歧管的每一进口适于经由多通阀流体耦合到所述多个个别取样管中的一者，所述多个个别取样管中的所述一者流体耦合到至少一个工艺设备模块的一或多个腔室，一或多个分析器，每一分析器流体耦合到所述歧管的所述一或多个出口的一者以分析通过所述多个个别取样管的一或多者抽取到所述歧管中的流体，及控制及通信系统，其耦合到所述一或多个分析器；远程服务器，其无线地或通过导线通信耦合到所述控制及通信系统；amc装载端口，其附接到所述amc装置且流体耦合到所述歧管的至少一个进口，其中所述装载端口能接收可移动载具。21.根据权利要求20所述的系统，其中每一工艺设备模块包含装载端口以接收携载所制造物品的可移动载具，且其中至少一个个别取样管流体耦合到每一装载端口以在所述可移动载具放置在所述装载端口上时对所述可移动载具内部的环境进行取样。22.根据权利要求21所述的系统，其中个别取样管适于流体耦合到所述工艺设备模块的接口腔室、锁装载腔室及工艺腔室以对每一腔室内的环境进行取样。23.根据权利要求20所述的系统，其中所述控制及通信系统无线地或通过导线通信耦合到远程服务器、通信耦合到所述至少一个工艺设备模块，或通信耦合到所述远程服务器及所述至少一个工艺设备模块两者。24.根据权利要求20所述的系统，其中所述歧管包括：进口管，其经由多通阀流体耦合到所述多个个别取样管中的每一者；缓冲槽，其经由多通阀流体耦合到所述进口管；多个出口管，每一出口管流体耦合到所述缓冲槽且每一出口管经由多通阀流体耦合到分析器；清洁空气流入及清洁空气流出，其耦合到所述缓冲槽以清空所述缓冲槽的内部。
技术总结
本申请涉及用于线内监测空气污染及工艺健康的系统及方法。本发明描述一种空气分子污染AMC监测装置的实施例。所述AMC装置包含具有多个进口及一或多个出口的歧管。取样管总线流体耦合到所述歧管，所述取样管总线包括多个个别取样管，每一个别取样管流体耦合到所述多个进口的一者。一或多个分析器的每一者流体耦合到所述歧管的所述一或多个出口的一者以分析通过所述多个个别取样管的一或多者抽取到所述歧管中的流体。控制和通信系统耦合到所述一或多个分析器。描述并主张其它实施例。或多个分析器。描述并主张其它实施例。或多个分析器。描述并主张其它实施例。
技术研发人员：宗冠
受保护的技术使用者：创控生技股份有限公司
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2022/2/15