一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法与流程

1.本发明涉及裂纹检测领域，尤其涉及一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法。


背景技术：

2.目前tft-lcd行业中，odf段(液晶滴注(odf)制程)紫外线预固化设备使用时，由于紫外线对人体辐射伤害因素，在生产时不能进行开门及观察mask(掩膜板)使用情况，假如mask在上机后异常破裂但未在对应真空吸附未，不会影响机台正常运行。
3.但是，由于裂纹处的紫外线通过mask遮挡处破坏aa区(有效显示区域)pi膜层，会对产生mura问题，在本段vi宏观检查机不能检查到此异常，只有后端电测后才会发现，反馈周期过长，一旦发生会产生大批量不良品异常，异常影响周期长。


技术实现要素：

4.本发明目的是：提供一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法，解决了装置无法及时检测到mask上裂纹及无法及时将检测完成的mask及时移出装置的问题。
5.本发明的技术方案是：一种识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓；所述底仓的顶部设有连接板，所述连接板的顶部设有紫外线仓，所述连接板中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器和第二压力传感器，所述连接板中间位置处的两端设有引导板，所述连接板的一端面设有辅助移动组件，所述连接板远离辅助移动组件一端的一侧设有传输组件，所述底仓内部底部的一端设有检测组件。
6.更进一步地，所述传输组件包括固定在连接板远离辅助移动组件一端一侧的第一固定板及固定设置在第一固定板顶部的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端设有第四转轴，所述第四转轴靠近第一驱动电机一端的外侧套设有第一皮带轮，所述连接板中间位置处两端的两侧转动设有第一转轴和第二转轴，所述连接板远离第四转轴的一侧设有第三转轴，所述第一转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第二皮带轮和第六皮带轮，所述第二转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第三皮带轮和第四皮带轮，所述第三转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第五皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮的外侧套设有第一皮带，所述第三皮带轮和第六皮带轮的外侧套设有第二皮带，所述第四皮带轮和第五皮带轮的外侧套设有第三皮带，所述第一转轴和第四转轴的外侧套设有第二传输带，所述第二转轴和第三转轴的外侧套设有第一传输带。其中，设置传输组件可以很好的运输mask，节省了大量的时间，大大增加了工作人员的工作效率。
7.更进一步地，所述辅助移动组件包括固定在连接板一端中间位置处的第二固定板及固定在第二固定板顶部的第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端设有第五转轴，所述第五转轴靠近第二驱动电机的外侧套设有第七皮带轮，所述连接板内部中间位置处一侧的两端转动设有第六转轴，所述第六转轴靠近第二驱动电机一端的外侧套设有第八皮带轮，所述第七皮带轮和第八皮带轮的外侧套设有第四皮带，所述第五转轴和第六转轴的外
侧套设有辅助移动件。其中，设置辅助移动组件可以辅助mask位移，防止mask卡在紫外线仓的内部。
8.更进一步地，所述检测组件包括固定设置在底仓内部底部一端的伺服电机及设置在伺服电机输出端的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆底部的外侧套设有第十皮带轮，所述底仓内部远离伺服电机一端的顶部和底部转动设有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆底部的外侧套设有第九皮带轮，所述第九皮带轮和第十皮带轮的外侧套设有第五皮带，所述第一螺纹杆和第二螺纹杆的外侧套设有移动板，所述移动板的两侧设有卡环，所述卡环的内部设有红外线影像扫描仪，所述红外线影像扫描仪的四周设有红外线灯。其中，设置检测组件可以对mask上的裂纹进行精细的检测，避免了错检和漏检的发生。
9.更进一步地，所述第一转轴、第二转轴、第三转轴和第四转轴远离第一驱动电机的一端皆设有轴承，且轴承远离第一驱动电机的一端与连接板固定连接。其中，设置轴承可以让第一转轴、第二转轴、第三转轴和第四转轴转动的更加稳定。
10.更进一步地，所述辅助移动件设有四组，四组所述辅助移动件的中间位置处皆开设有凹槽。其中，设置凹槽便于辅助mask移动。
11.更进一步地，所述第一螺纹杆和第二螺纹杆的螺纹方向相同，所述移动板与第一螺纹杆和第二螺纹杆上的螺纹相互适配。其中，螺纹方向相同使得移动板能够在第一螺纹杆和第二螺纹杆同时转动的情况下上升和下降。
12.更进一步地，所述连接板的顶部设有凹槽，且凹槽的与第一传输带和第二传输带之间相互匹配。其中，设置凹槽可以更好的保护第一传输带和第二传输带。
13.更进一步地，所述红外线影像扫描仪的内部设有蓄电池，所述红外线灯与红外线影像扫描仪之间电连接。其中，设置蓄电池可以让红外线影像扫描仪能够远离电源长时间的进行工作，增大了工作人员的工作效率。
14.本发明还进一步提供了一种识别mask破片及裂纹的检测方法，该方法的具体步骤为：
15.s1：将mask放置在第一传输带上，启动第一驱动电机，第一传输带转动带动mask移动到紫外线仓的内部。
16.s2：mask移动到紫外线仓的内部与第二压力传感器相接触，通过第二压力传感器启动第二驱动电机，当辅助移动件推动mask到达紫外线仓的中间位置处时，启动伺服电机，调节移动板的高度，让红外线影像扫描仪对准mask进行检测。
17.s3：当红外线影像扫描仪检测出mask上出现裂纹时，通过导线传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，没检测出裂纹则不会传递到电脑终端。
18.s4：检测完成之后继续推动mask移动，最终将mask推动到第二传输带上。
19.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
20.1、本发明通过设置传输组件，通过启动第一驱动电机，第一驱动电机将会带动第四转轴进行带动，第四转轴带动第一皮带轮转动，由于第一皮带轮的外侧套设有第一皮带，所以在第一皮带轮转动时，第二皮带轮也将被带动，从而使得第一转轴与第四转轴之间同时转动，最终使得第二传输带得到转动，第一转轴的外侧还设有第六皮带轮，在第一转轴转动时，第六皮带轮也将被带动，由于第六皮带轮的外侧套设有第二皮带，所以在第六皮带轮转动时，第三皮带轮也会被带动，从而使得第二转轴被带动旋转，而第二转轴的外侧还套设
有第四皮带轮，第四皮带轮的外侧套设有第五皮带轮，所以，最终第一驱动电机带动第一转轴、第二转轴、第三转轴和第四转轴同时转动，从而使得第一传输带和第二传输带同时转动，使得mask能够更加方便的被运输，省时省力。
21.2、本发明通过设置辅助移动组件，当mask移动到紫外线仓中时，首先将会经过第二压力传感器，第二压力传感器检测到有物体进入时，将会启动第二驱动电机，第二驱动电机带动第五转轴转动，由于第五转轴的外侧套设有第七皮带轮，第七皮带轮的外侧套设有第四皮带，所以在第五转轴转动时，第七皮带轮和第八皮带轮将会跟着转动，最终使得第五转轴和第六转轴同步转动，从而带动辅助移动件转动并对mask进行拨弄，通过引导板可以防止mask的移动幅度过大，从而使得mask能够平稳的在紫外线仓中移动，当mask移动到第一压力传感器上时，第一压力传感器将会停止第二驱动电机，mask将会在第二传输带的带动下移出装置，防止mask在检测完之后长时间停留在装置的内部，影响人们的正常检测。
22.3、本发明通过设置检测组件，通过启动伺服电机，伺服电机将会带动第二螺纹杆转动，由于第二螺纹杆的外侧套设有第十皮带轮，第十皮带轮的外侧套设有第五皮带，所以在第二螺纹杆转动时，第九皮带轮也将被带动，第九皮带轮将会带动第一螺纹杆转动，从而使得第一螺纹杆和第二螺纹杆同步转动，最终使得移动板可以上升和下降，当mask移动到红外线影像扫描仪的范围内时，红外线影像扫描仪通过红外线灯对mask上照射，照射成的图像将会传递给红外线影像扫描仪，若图像中显示mask有裂纹，则红外线影像扫描仪将会把图像传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，若正常则不用传递。
附图说明
23.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本发明的立体结构示意图；
25.图2为本发明的立体背面结构示意图；
26.图3为本发明的立体俯视剖面结构示意图；
27.图4为本发明的第一立体一端面剖面结构示意图；
28.图5为本发明的第二立体一端面剖面结构示意图；
29.图6为本发明图3的a处结构放大示意图；
30.图7为本发明图5的b处结构放大示意图；
31.其中：1、底仓；2、传输组件；3、辅助移动组件；4、检测组件；5、紫外线仓；6、连接板；7、第一压力传感器；8、引导板；9、第二压力传感器；201、第一驱动电机；202、第一固定板；203、第一皮带轮；204、第一皮带；205、第二皮带轮；206、第一转轴；207、第二皮带；208、第二转轴；209、第三皮带轮；210、第四皮带轮；211、第三皮带；212、第五皮带轮；213、第一传输带；214、第三转轴；215、第四转轴；216、第二传输带；217、第六皮带轮；301、第二驱动电机；302、第二固定板；303、第七皮带轮；304、第四皮带；305、第八皮带轮；306、第五转轴；307、第六转轴；308、辅助移动件；401、伺服电机；402、第五皮带；403、第一螺纹杆；404、第九皮带轮；405、移动板；406、第十皮带轮；407、第二螺纹杆；408、卡环；409、红外线灯；410、红外线影像扫描仪。
具体实施方式
32.以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本发明而不限于限制本发明的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
33.实施例1
34.如图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7所示，一种识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓1；底仓1的顶部设有连接板6，连接板6的顶部设有紫外线仓5，连接板6中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器7和第二压力传感器9，连接板6中间位置处的两端设有引导板8，连接板6的一端面设有辅助移动组件3，连接板6远离辅助移动组件3一端的一侧设有传输组件2，底仓1内部底部的一端设有检测组件4。
35.传输组件2包括固定在连接板6远离辅助移动组件3一端一侧的第一固定板202及固定设置在第一固定板202顶部的第一驱动电机201，第一驱动电机201的输出端设有第四转轴215，第四转轴215靠近第一驱动电机201一端的外侧套设有第一皮带轮203，连接板6中间位置处两端的两侧转动设有第一转轴206和第二转轴208，连接板6远离第四转轴215的一侧设有第三转轴214，第一转轴206靠近第一驱动电机201的外侧套设有第二皮带轮205和第六皮带轮217，第二转轴208靠近第一驱动电机201的外侧套设有第三皮带轮209和第四皮带轮210，第三转轴214靠近第一驱动电机201的外侧套设有第五皮带轮212，第一皮带轮203和第二皮带轮205的外侧套设有第一皮带204，第三皮带轮209和第六皮带轮217的外侧套设有第二皮带207，第四皮带轮210和第五皮带轮212的外侧套设有第三皮带211，第一转轴206和第四转轴215的外侧套设有第二传输带216，第二转轴208和第三转轴214的外侧套设有第一传输带213。
36.实施例2
37.如图x所示，一种识别mask破片及裂纹的检测方法，该方法的具体步骤为：
38.s1：将mask放置在第一传输带213上，启动第一驱动电机201，第一传输带213转动带动mask移动到紫外线仓5的内部。
39.s2：mask移动到紫外线仓5的内部与第二压力传感器9相接触，通过第二压力传感器9启动第二驱动电机301，当辅助移动件308推动mask到达紫外线仓5的中间位置处时，启动伺服电机401，调节移动板405的高度，让红外线影像扫描仪410对准mask进行检测。
40.s3：当红外线影像扫描仪410检测出mask上出现裂纹时，通过导线传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，没检测出裂纹则不会传递到电脑终端。
41.s4：检测完成之后继续推动mask移动，最终将mask推动到第二传输带216上。
42.实施例3
43.作为对实施例2的进一步优化，如图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7所示，通过启动第一驱动电机201，第一驱动电机201将会带动第四转轴215进行带动，第四转轴215带动第一皮带轮203转动，由于第一皮带轮203的外侧套设有第一皮带204，所以在第一皮带轮203转动时，第二皮带轮205也将被带动，从而使得第一转轴206与第四转轴215之间同时转动，最终使得第二传输带216得到转动，第一转轴206的外侧还设有第六皮带轮217，在第一转轴206转动时，第六皮带轮217也将被带动，由于第六皮带轮217的外侧套设有第二皮带207，所以在第六皮带轮217转动时，第三皮带轮209也会被带动，从而使得第二转轴208被带动旋
转，而第二转轴208的外侧还套设有第四皮带轮210，第四皮带轮210的外侧套设有第五皮带轮212，所以，最终第一驱动电机201带动第一转轴206、第二转轴208、第三转轴214和第四转轴215同时转动，从而使得第一传输带213和第二传输带216同时转动，使得mask能够更加方便的被运输，省时省力。
44.当mask移动到紫外线仓5中时，首先将会经过第二压力传感器9，第二压力传感器9检测到有物体进入时，将会启动第二驱动电机301，第二驱动电机301带动第五转轴306转动，由于第五转轴306的外侧套设有第七皮带轮303，第七皮带轮303的外侧套设有第四皮带304，所以在第五转轴306转动时，第七皮带轮303和第八皮带轮305将会跟着转动，最终使得第五转轴306和第六转轴307同步转动，从而带动辅助移动件308转动并对mask进行拨弄，通过引导板8可以防止mask的移动幅度过大，从而使得mask能够平稳的在紫外线仓5中移动，当mask移动到第一压力传感器7上时，第一压力传感器7将会停止第二驱动电机301，mask将会在第二传输带216的带动下移出装置，防止mask在检测完之后长时间停留在装置的内部，影响人们的正常检测。
45.通过启动伺服电机401，伺服电机401将会带动第二螺纹杆407转动，由于第二螺纹杆407的外侧套设有第十皮带轮406，第十皮带轮406的外侧套设有第五皮带402，所以在第二螺纹杆407转动时，第九皮带轮404也将被带动，第九皮带轮404将会带动第一螺纹杆403转动，从而使得第一螺纹杆403和第二螺纹杆407同步转动，最终使得移动板405可以上升和下降，当mask移动到红外线影像扫描仪410的范围内时，红外线影像扫描仪410通过红外线灯409对mask上照射，照射成的图像将会传递给红外线影像扫描仪410，若图像中显示mask有裂纹，则红外线影像扫描仪410将会把图像传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，若正常则不用传递。
46.以上仅是本发明的具体应用范例，对本发明的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本发明还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明所要求保护的范围之内。