检测系统的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测系统。


背景技术：

2.在工件，例如面板的检测技术中，通常是进行单通道形式的检测，即，面板从上料位沿一个导轨传输，并在传输的过程中进行相关的检测，检测完后再沿导轨传输到下料位。然而，若采用单通道形式的检测方式中，在每个工位中，都需要等待唯一的在先工位先进行完相关的操作，才能进行当前工位的操作，需要等待的时间较长，效率低下。


技术实现要素：

3.本技术实施方式提供一种检测系统。
4.本技术实施方式的检测系统包括多个承载装置、多条送检通道、第一检测组件及第二检测组件。所述承载装置用于承载工件。每条所述送检通道装设有所述承载装置，每条所述送检通道设有第一工位及第二工位，所述承载装置能够在所述送检通道上沿第一方向运动，以经过所述第一工位及所述第二工位，多条所述送检通道沿第二方向排列。所述第一检测组件能够沿第二方向运动以到达每条所述送检通道的第一工位，所述第一检测组件用于对每条所述送检通道的第一工位上的所述工件进行第一检测以输出第一结果。所述第二检测组件能够沿所述第二方向运动以到达每条所述送检通道的第二工位，所述第二检测组件用于根据所述第一结果对与所述第一结果对应的所述工件进行第二检测，所述第一方向与所述第二方向不同。
5.在某些实施方式中，所述第一检测组件在对当前送检通道的第一工位上的所述工件执行完第一检测后，沿所述第二方向运动以到达下一送检通道的第一工位；所述第二检测组件在对当前送检通道的第二工位上的所述工件执行完第二检测后，沿所述第二方向运动以到达下一送检通道的第二工位；至少存在一个时刻，所述第一检测与所述第二检测同时执行。
6.在某些实施方式中，每个所述送检通道设置有导轨，所述承载装置能够活动地安装于所述导轨，所述检测系统包括第一致动件，所述第一致动件用于驱动所述承载装置在所述导轨上运动。
7.在某些实施方式中，所述承载装置固定地安装于所述送检通道，所述检测系统包括第一致动件，所述第一致动件用于驱动所述送检通道运动以带动所述承载装置运动。
8.在某些实施方式中，所述检测系统包括检测平台，所述检测平台跨越每条所述送检通道，所述第一检测组件和所述第二检测组件均设置于所述检测平台，并能够在所述检测平台上沿所述第二方向运动。
9.在某些实施方式中，所述检测平台包括支架，所述第一检测组件和所述第二检测组件分别位于所述支架的相背两侧。
10.在某些实施方式中，所述检测平台还包括第一轨道、第二轨道、第一驱动件及第二
驱动件。所述第一轨道设置于所述支架并沿所述第二方向延伸，所述第一轨道设置于所述支架并沿所述第二方向延伸。所述第一驱动件设置于所述支架，并用于驱动所述第一检测组件在所述第一轨道上运动，所述第二驱动件设置于所述支架，并用于驱动所述第二检测组件在所述第二轨道上运动。
11.在某些实施方式中，所述支架包括背离所述送检通道的第一面、与所述第一面均连接的第二面及第三面，所述第二面与所述第三面相背，所述第一轨道和所述第二轨道均设置于所述第一面。
12.在某些实施方式中，所述支架包括背离所述送检通道的第一面、与所述第一面均连接的第二面及第三面，所述第二面与所述第三面相背，所述第一轨道设置于所述第二面，所述第二轨道设置于所述第三面。
13.在某些实施方式中，所述支架包括背离所述送检通道的第一面、与所述第一面均连接的第二面及第三面，所述第二面与所述第三面相背，所述第一轨道和所述第二轨道中的一个设置于所述第一面，另一个设置于所述第二面或第三面。
14.在某些实施方式中，所述第一结果包括所述工件在所述承载装置上的位置信息和所述工件的高度信息；所述第一检测组件包括第一图像采集模组及探头。所述第一图像采集模组用于获取所述工件的第一图像，以获取所述工件在所述承载装置上的位置信息，所述探头用于依据所述位置信息检测所述工件的高度信息。
15.在某些实施方式中，所述第二检测组件包括第二图像采集模组，所述第二图像采集模组用于根据所述第一结果获取所述工件的第二图像，以获取第二结果，所述第二结果包括所述工件的缺陷信息。
16.在某些实施方式中，所述第一结果包括所述工件的高度信息和所述工件在所述承载装置上的位置信息；所述检测系统包括第二致动件，所述第二致动件用于根据所述高度信息和所述位置信息驱动所述承载装置沿高度方向运动，以调节所述第二检测组件与所述工件之间的距离。
17.本技术的检测系统通过可在多条送检通道之间运动的第一检测组件对多条送检通道上第一工位的工件进行第一检测，及通过可在多条送检通道之间运动的第二检测组件对多条送检通道上第二工位的工件进行第二检测，第一检测组件或第二检测组件无需长时间等待便能对工件执行检测，由此可以提高检测系统的检测效率，同时相较于每条送检通道均配置一个第一检测组件及一个第二检测组件，本技术能够降低检测系统的制作成本及减小检测系统的尺寸。
18.本技术的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实施方式的实践了解到。
附图说明
19.本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
20.图1是本技术某些实施方式的检测系统的平面结构示意图；
21.图2是本技术某些实施方式的检测系统中承载装置的立体结构示意图；
22.图3是本技术另一些实施方式的检测系统中承载装置的立体结构示意图；
23.图4是本技术某些实施方式的检测系统一个视角的立体结构示意图；
24.图5是本技术某些实施方式的检测系统另一个视角的立体结构示意图；
25.图6是本技术某些实施方式的检测方法的流程图；
26.图7是本技术某些实施方式的检测方法的流程图。
具体实施方式
27.以下结合附图对本技术的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
28.另外，下面结合附图描述的本技术的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术的实施方式，而不能理解为对本技术的限制。
29.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.请参阅图1，本技术实施方式提供一种检测系统100。检测系统100包括多个承载装置10、多条送检通道20、第一检测组件30及第二检测组件40。承载装置10用于承载工件200。每条送检通道20装设有承载装置10，每条送检通道20设有第一工位201及第二工位202，承载装置10能够在送检通道20上沿第一方向d1运动，以经过第一工位201及第二工位202，多条送检通道20沿第二方向d2排列。第一检测组件30能够沿第二方向d2运动以到达每条送检通道20的第一工位201，第一检测组件30用于对每条送检通道20的第一工位201上的工件200进行第一检测以输出第一结果。第二检测组件40能够沿第二方向d2运动以到达每条送检通道20的第二工位202，第二检测组件40用于根据第一结果对与第一结果对应的工件200进行第二检测，第一方向d1与第二方向d2不同。
31.请参阅图1及图5，本技术实施方式还提供一种检测方法，检测方法包括：
32.01：第一检测组件30对当前送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测以输出第一结果；
33.02：完成第一检测后的工件200沿第一方向d1运动至当前工件所在的送检通道20的第二工位202；
34.03：第一检测组件30沿第二方向d2运动并到达下一送检通道20的第一工位201，以对下一送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测；
35.04：第二检测组件40根据第一结果对当前送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测；
36.06：第二检测组件40沿第二方向d2运动并到达下一送检通道20的第二工位202，以对下一送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测。
37.本技术的检测系统100及检测方法，通过可在多条送检通道20之间运动的第一检测组件30对多条送检通道20上第一工位201的工件200进行第一检测，及通过可在多条送检通道20之间运动的第二检测组件40对多条送检通道20上第二工位202的工件200进行第二检测，第一检测组件30或第二检测组件40无需长时间等待便能对工件200执行检测，由此可
以提高检测系统100的检测效率，同时相较于每条送检通道20均配置一个第一检测组件30及一个第二检测组件40，本技术能够降低检测系统100的制作成本及减小检测系统100的尺寸。
38.下面结合附图做进一步说明。
39.请参阅图1，检测系统100包括多个承载装置10、多条送检通道20、第一检测组件30及第二检测组件40。每条送检通道20装设有承载装置10，承载装置10能够在送检通道20上沿第一方向d1运动，第一检测组件30用于对每条送检通道20上的承载装置10上承载的工件200进行第一检测以输出第一结果，第二检测组件40用于根据第一结果对与第一结果对应的工件200进行第二检测。其中，工件200包括但不局限于晶圆、薄膜、芯片、显示屏、电子设备壳体及光学元件中至少一种，在此不作限制。
40.具体地，请参阅图1，承载装置10用于承载工件200。需要说明的是：同一承载装置10可以用于承载不同尺寸的工件200。请参阅图2，在一些实施例中，承载装置10包括承载件11及固定件12。固定件12安装在承载件11上，用于将工件200固定在承载件11上。如此，通过固定件12可以将工件200较好地固定在承载件11上，以避免在对工件200检测或加工时工件200相对于承载件11滑动而对检测结果或加工结果造成影响。在一个例子中，固定件12可以包括吸盘，通过调节吸盘内的气压可以产生用于将工件200吸附住的吸附力，采用吸盘吸附工件200，一方面可以避免对工件200的损坏；另一方面，吸附力的加持与释放均比较容易控制，由此方便对工件200的拆装。在另一个例子中，在工件200为金属材料时，固定件12也可以是磁铁，磁铁对工件200产生磁吸力，磁吸力可以将工件200吸住。在其他例子中，固定件12还可以是设置在承载件11上的卡块，可以将工件200卡合在承载件11上。当然，固定件12也可以是具有固定功能的其他元件，在此不做限制。
41.请参阅图3，在一些实施例中，承载件11上还开设有通孔13，固定件12安装在通孔13内。固定件12可以是通过卡合在通孔13内以固定安装在承载件11上，固定件12也可以通过其他方式固定在通孔13内，在此不做限制。通孔13的形状为具有一定长度的条形，固定件12可以在通孔13内滑动，以改变固定件12的安装位置，以对不同位置、不同尺寸的工件200进行固定。
42.请参阅图3，在一些实施例中，承载装置10还可包括第一定位件14及第二定位件15，承载件11用于承载工件200，第一定位件14与承载件11滑动连接，第一定位件14能够相对于承载件11沿第三方向a滑动；第二定位件15滑动安装在承载件11上，第二定位件15能够相对于第一定位件14沿第四方向b滑动，第四方向b与第三方向a不同；其中，第一定位件14及第二定位件15共同限定一个定位空间16，第一定位件14及/或第二定位件15用于与位于定位空间15内的工件200相互抵靠，以定位工件200；第一定位件14及/或第二定位件15能够相对承载件11滑动，进而抵靠不同尺寸的工件200，使得无需更换不同尺寸的承载件11，就能够适用于(承载)不同尺寸的工件200，降低成本的同时提高了工作效率。
43.检测系统100包括多条送检通道20，多条送检通道20的排列方向与第一方向d1不同，例如，在一些实施例中，多条送检通道20沿第二方向d2排列。此外，送检通道20的数量可以是2条、3条、4条、10条或者更多，在此不作限制。请参阅图1，沿第一方向d1的正向(图1中的向下箭头所指方向)，每条送检通道20依次设有第一工位201及第二工位202。每条送检通道20装设有承载装置10，承载装置10能够在送检通道20上沿第一方向d1的正向运动，以依
次经过第一工位201及第二工位202。需要说明的是，工位(包括第一工位201及第二工位202)是虚拟的，且其相对位置是固定不变的，当承载装置10承载的工件200位于其中一个工位时，检测系统100需要对其上的工件200进行与该工位对应的操作。
44.请参阅图1及图4，检测系统100还可包括第一致动件50，在一些实施例中，每个送检通道20设有导轨21，承载装置10能够活动地安装于导轨21上，第一致动件50用于驱动承载装置10在导轨21上运动，以使承载装置10能够在送检通道20上沿第一方向d1的正向运动，并依次经过第一工位201及第二工位202。当然，第一致动件50用于驱动承载装置10在导轨21上运动，还能使承载装置10在送检通道20上沿第一方向d1的负向运动(图1中的向上箭头所指方向)，以携带检测完成的工件200回到靠近第一致动件50的上料位置。在一些实施例中，承载装置10固定地安装于送检通道20，第一致动件50用于驱动送检通道20(导轨21)运动以带动承载装置10运动，以使承载装置10沿第一方向d1的正向运动，并依次经过第一工位201及第二工位202。同样地，第一致动件50用于驱动送检通道20(导轨21)运动以带动承载装置10运动，还能使承载装置10沿第一方向d1的负向运动，以携带检测完成的工件200回到靠近第一致动件50的上料位置。需要说明的是，第一致动件50可以是电机，例如直线电机；第一致动件50也可以是气缸等，在此不作限制。
45.请参阅图1，第一检测组件30能够沿第二方向d2运动以到达每条送检通道20的第一工位201，并用于对每条送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测以输出第一结果。需要说明的是，第一检测组件30能够在多条送检通道20的第一工位201之间切换，当第一检测组件30移动至与其中一条送检通道20的第一工位201对应时，则第一检测组件30对位于与其对应的第一工位201上的工件200进行第一检测以输出第一结果。此外，第二方向d2与第一方向d1不同，且第一方向d1与第二方向d2相交。特别地，在一些实施例中，第一方向d1与第二方向d2之间的夹角为90
°
，即第一方向d1与第二方向d2垂直，此时能够大大减少第一检测组件30在多条送检通道20的第一工位201之间切换的距离，从而提高检测效率。当然，第一方向d1与第二方向d2之间的夹角也可以为其他任意值，仅需要满足第一检测组件30沿第二方向d2运动时能够到达每条检通道20的第一工位201即可，在此不作限制。
46.在一些实施例中，第一结果包括工件200在承载装置10上的位置信息及工件200的高度信息。具体地，请参阅图4，第一检测组件30包括第一图像采集模组31及探头32。第一图像采集模组31用于获取工件200的第一图像，以获取工件200在承载装置10上的位置信息。其中，位置信息可以包括工件200相对参考位置的偏移量和/或偏转角度。
47.示例地，在一些实施例中，检测系统100还包括第一处理器(图未示)，第一处理器内预先存有工件200放置在承载装置10的参考位置上的参考图像，第一处理器根据参考图像及第一图像以获取工件200相对参考位置的偏移量和/或偏转角度。当然，检测系统100还可以通过其他方式根据第一图像获取工件200在承载装置10上的位置信息，在此不作限制。
48.探头32用于根据位置信息检测工件200的高度信息。其中，高度信息可以包括探头32所在参考面到工件200表面的距离。示例地，在一些实施例中，检测系统100还包括第二处理器(图未示)，探头32根据位置信息可以获得工件200在承载装置10内的具体位置，并将工件200划分为多个区域，探头32向工件200的其中一个区域发射检测信号(例如：激光脉冲，超声波等)并接收经过工件200表面反射回的检测信号。第二处理器根据工件200表面反射回的检测信号，以获取探头32所在参考面到工件200表面该区域的距离。在一个例子中，探
头32利用色散共聚焦的测量原理检测得到高度信息。随后，探头32对工件200的下一区域发射检测信号并重复以上步骤，直至探头32获取所在参考面到工件200表面所有待测区域上点的距离。当然，检测系统100还可以通过其他方式获取工件200的高度信息，在此不作限制。另外，需要说明的是，第二处理器与上述实施例中的第一处理器可以是同一处理器，也可以是不同的处理器。
49.请参阅图1，第二检测组件40能够沿第二方向d2运动以到达每条送检通道20的第二工位202，第二检测组件40用于根据第一结果对与该第一结果对应的工件200进行第二检测。需要说明的是，第二检测组件40能够在多条送检通道20的第二工位202之间切换，当第二检测组件40移动至与其中一条送检通道20的第二工位202对应时，则第二检测组件40根据位于与其对应的第二工位202上的工件200的第一结果，对该工件200进行第二检测。需要说明的是，第二检测组件40能够在多条送检通道20的第二工位202之间切换，当第二检测组件40移动至与其中一条送检通道20的第二工位202对应时，则第二检测组件40对位于与其对应的第二工位202上的工件200进行第二检测。此外，第二方向d2与第一方向d1不同，且第一方向d1与第二方向d2相交。特别地，在一些实施例中，第一方向d1与第二方向d2之间的夹角为90
°
，即第一方向d1与第二方向d2垂直，此时能够大大减少第二检测组件40在多条送检通道20的第二工位202之间切换的距离，从而提高检测效率。当然，第一方向d1与第二方向d2之间的夹角也可以为其他任意值，仅需要满足第二检测组件40沿第二方向d2运动时能够到达每条检通道20的第二工位202即可，在此不作限制。
50.请参阅图5，在一些实施例中，第二检测组件40包括第二图像采集模组41，第二图像采集模组41用于根据第一结果获取工件200的第二图像，以获取第二结果。其中，第二结果包括工件200的缺陷信息。需要说明的是，缺陷信息包括但不限于缺陷类型(例如，工件200内部缺陷或工件200表面的划痕、颗粒、异物、凹陷等)、缺陷数量及缺陷在工件200的位置中的至少一种。在一些实施例中，第二结果还可以包括灰尘信息，由于工件200表面存在灰尘可以比较容易的清理干净，不属于工件200的缺陷，如此能够避免粘有灰尘的工件200被误判为残次品，同时能识别出粘有灰尘的工件200对其进行去灰尘处理，以提高工件200的品质。
51.具体地，请一并参阅图1、图4及图5，在一些实施例中，检测系统100还可包括第二致动件60，第二致动件60与承载装置10连接，用于根据第一结果中的高度信息及位置信息驱动承载装置10沿高度方向运动，以调节第二检测组件40与工件200之间的距离，即调节第二图像采集模组41与工件200之间的距离。由于一般用于缺陷检测的第二图像采集模组41的景深范围较小，第二致动件60根据第一结果中的高度信息驱动承载装置10沿高度方向运动，调节第二图像采集模组41与工件200之间的距离，能够使工件200每个位置都在第二图像采集模组41的景深范围内。例如，根据第二图像采集模组41的景深及参考平面设置预设距离，当需要对工件200某区域进行第二检测时，第二图像采集模组41根据该区域的位置信息，第二图像采集模组41运动至与该区域对应，即第二图像采集模组41运动至该区域的正上方，再根据第一结果获取该区域的高度信息，即获取该区域到参考面的距离，随后第二致动件60根据预设距离及该区域的高度信息驱动承载装置10，以使工件200该区域在第二图像采集模组41的景深范围内。如此能够提高第二图像的清晰度，从而提高检测系统100检测的准确性。
52.在一些实施例中，第一检测组件30在对当前送检通道20的第一工位201上的工件200执行完第一检测后，沿第二方向d2运动以到达下一送检通道20的第一工位201；第二检测组件40在对当前送检通道20的第二工位202上的工件200执行完第二检测后，沿第二方向运动d2以到达下一送检通道20的第二工位202，并且至少存在一个时刻，第一检测与第二检测同时进行。例如，如图1所示，检测系统100包括第一送检通道23及第二送检通道24，假设当前第一检测组件30正对第一送检通道23的第一工位201上的工件200进行第一检测，第二检测组件40正对第二送检通道24的第二工位202上的工件200进行第二检测。当第一检测组件30完成对第一送检通道23的第一工位201上的工件200的第一检测后，第一检测组件30沿第二方向d2的正向(图1所示的向右箭头)运动以与第二送检通道24的第一工位201对应；当第二检测组件40完成对第二送检通道24的第二工位202上的工件200的第二检测后，第二检测组件40沿第二方向d2的负向(图1所示的向左箭头)运动以与第一送检通道23的第二工位202对应。由于第一检测组件30与第二检测组件40在完成对当前送检通道20上的工件200的检测后，移动至下一送检通道20对下一送检通道20上的工件200进行检测，并且至少存在一个时刻，第一检测与第二检测同时进行。如此至少存在一个时刻，检测系统100同时对多个工件200进行检测，从而能够提高检测系统100的检测效率。
53.特别地，在一些实施例中，第一检测组件30对下一送检通道20上的工件200执行第一检测的起始时刻早于第二检测组件40对当前送检通道20上的工件200执行第二检测的终止时刻。也即是说，在第二检测组件40完成对当前送检通道20上的工件200第二检测之前，第一检测组件30已经开始对下一送检通道20上的工件200进行第一检测了。如此，第一检测组件30无需等待第二检测组件40对当前工件200完成第二检测，即可对下一工件200进行第一检测，使得检测系统100同时对多个工件200进行检测，从而能够提高检测系统100的检测效率。
54.需要说明的是，当前送检通道20表示检测组件当前时刻对应的送检通道20，下一送检通道20表示检测组件对当前送检通道20上的工件200完成检测后，进行下一次检测时对应的送检通道20。在一些实施例中，下一送检通道20可以是与当前送检通道20紧邻的一条送检通道20(二者之间不存在其他的送检通道20)，也可以是与当前送检通道20间隔一条、两条、或多条送检通道20的送检通道20。下文中的当前送检通道20及下一送检通道20也是如此解释，不再赘述。
55.请参阅图4及图5，检测系统100还可包括检测平台70，检测平台70跨越每条送检通道20。第一检测组件30及第二检测组件40设置于检测平台70上，并能够在检测平台70上沿第二方向d2运动。具体地，检测平台70可包括支架71、第一轨道72、第二轨道73、第一驱动件74及第二驱动件75。支架71跨越每条送检通道20，第一轨道72设置于支架71并沿第二方向d2延伸；第二轨道73设置于支架71并沿第二方向d2延伸；第一驱动件74设置于支架71并用于驱动第一检测组件30在第一轨道72上运动；第二驱动件75设置于支架71并用于驱动第二检测组件40在第二轨道73上运动。
56.请继续参阅图4及图5，在一些实施例中，第一检测组件30与第二检测组件40设于同一个支架71上，且第一检测组件30与第二检测组件40分别位于支架71的相背两侧，此时送检通道20上的第一工位201与第二工位202也是位于支架71相背的两侧。由于第一检测组件30与第二检测组件40设于同一个支架71上，如此能够缩短第一工位201与第二工位202之
间的距离，以减少承载装置10携带工件200从第一工位201运动到第二工位202的时间，从而提高检测系统100的检测效率，同时相对设置多个支架而言，还能够节省材料，降低成本。
57.更具体地，支架71包括背离送检通道20的第一面711、与第一面711均连接的第二面712及第三面713，并且第二面712与第三面713相背。在一些实施例中，第一轨道72和第二轨道73均设置于支架71的第一面711，如此在支架71厚度相同的情况下，相较于将轨道设置在支架71的侧面，能够缩短第一工位201与第二工位202之间的距离，以减少承载装置10携带工件200从第一工位201运动到第二工位202的时间，进一步提高检测系统100的检测效率。在一些实施例中，如图4及图5所示，第一轨道72设置于支架71的第二面712，第二轨道73设置于支架71的第三面713，如此能够减小支架70的厚度，节省材料，从而降低检测系统100的制作成本。当然，在一些实施例中，第一轨道72和第二轨道73中的一个设置于第一面711，另一个设置于第二面712或第三面713。例如，第一轨道72设置于第一面711，第二轨道73设置于第三面713；或者，第二轨道73设置于第一面711，第一轨道72设置于第二面712，在此不作限制。
58.需要说明的是，上述实施例中的第一驱动件74与第二驱动件75可以是不同的驱动件；或者，第一驱动件74与第二驱动件75也可以是同一个驱动件，并且该驱动件能够对第一检测组件30与第二检测组件40分别驱动，第一驱动件74及第二驱动件75可以是线性电机、气缸等，在此不作限制。
59.当然，在一些实施例中，检测平台70可以包括两个支架71，每个支架71跨越每条送检通道20，第一检测组件30、第一轨道72及第一驱动件74均设置于其中一个支架71上，第二检测组件40、第二轨道73及第二驱动件75均设置于另一个支架71上。
60.请参阅图1及图6，本技术实施例还提供一种用于上述任意一项实施例所述的检测系统100的检测方法，检测方法包括：
61.01：第一检测组件30对当前送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测以输出第一结果；
62.02：完成第一检测后的工件200沿第一方向d1运动至当前工作所在的送检通道20的第二工位202；
63.03：第一检测组件30沿第二方向d2运动并到达下一送检通道20的第一工位201，以对下一送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测；
64.04：第二检测组件40根据第一结果对当前送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测；
65.05：第二检测组件40沿第二方向d2运动并到达下一送检通道20的第二工位202，以对下一送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测。
66.需要说明的是，上述步骤01至步骤05中至少存在两个步骤均可以同时进行。例如，步骤01及步骤04可以同时进行，即第一检测组件30对当前送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测以输出第一结果，同时第二检测组件40根据第一结果对当前送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测。但需要注意的是第一检测组件30的当前通道20可以与第二检测组件40的当前通道20为同一通道，第一检测组件30的当前通道20也可以与第二检测组件40的当前通道20不为同一通道。
67.或者，步骤02、步骤03及步骤04可以同时进行，即第一检测组件30在完成对当前送
检通道20的第一工位201的工件200的第一检测后，完成第一检测的工件200沿第一方向d1向第二工位202运动，同时第一检测组件30沿第二方向d2运动并到达下一送检通道20的第一工位201，以对下一送检通道20的第一工位201的工件200进行第一检测，并且此时第二检测组件40正在根据第一结果对当前送检通道20的第二工位202的工件200进行第二检测。但需要注意的是，第一检测组件30的当前通道20与第二检测组件40的当前通道20不为同一通道，例如，如图1所示，检测系统100包括第一送检通道23及第二送检通道24，假设当前第一检测组件30正对第一送检通道23的第一工位201上的工件200进行第一检测，第二检测组件40正对第二送检通道24的第二工位202上的工件200进行第二检测。当第一检测组件30完成对第一送检通道23的第一工位201上的工件200的第一检测后，第一送检通道23上完成第一检测的工件200沿第一方向d1运动至第一送检通道23的第二工位202，同时第一检测组件30沿第二方向d2运动以与第二送检通道24的第一工位201对应，并且此时第二检测组件40正对第二送检通道24的第二工位202上的工件200进行第二检测。
68.在一些实施例中，至少存在一个时刻，第一检测与第二检测同时进行。如此至少存在一个时刻，检测系统100同时对多个工件200进行检测，从而能够提高检测系统100的检测效率。
69.请参阅图1及图7，在一些实施例中，检测方法还包括：
70.051：第二检测组件40对当前送检通道20上的工件200完成第二检测后，若与当前检测通道20相邻的送检通道20存在已经完成第一检测的工件200，第二检测组件40沿第二方向d2运动并到达相邻的送检通道20的第二工位202，以对第二工位202的工件200进行第二检测；
71.052：第二检测组件40对当前送检通道20上的工件200完成第二检测后，若与当前检测通道20相邻的送检通道20不存在已经完成第一检测的工件200，则第二检测组件40移动至存在完成第一检测的工件200的送检通道20的第二工位202，以对第二工位202的工件200进行第二检测；或第二检测组件40运动至第一检测组件30当前所在的送检通道20。
72.第二检测组件40对当前送检通道20上的工件200完成第二检测后，若与第二检测组件40此时对应的送检通道20相邻的送检通道20上存在已经完成第一检测的工件200，即与其相邻的送检通道20上存在等待进行第二检测的工件200时，第二检测组件40直接运动到相邻的送检通道20的第二工位202，以对相邻的送检通道20上的工件200进行第二检测。如此相较于第二检测组件40移动到，与其此时对应的送检通道20距离较远的送检通道20上进行第二检测，能够节约第二检测组件40的移动时间，缩短两次第二检测之间的间隔时间，从而提高检测系统100的检测效率。
73.第二检测组件40对当前送检通道20上的工件200完成第二检测后，若与第二检测组件40此时对应的送检通道20相邻的送检通道20上不存在已经完成第一检测的工件200，即与其相邻的送检通道20上不存在等待进行第二检测的工件200时，第二检测组件40直接运动到存在完成第一检测的工件200的送检通道20的第二工位202，以对第二工位202的工件200进行第二检测。如此相较于第二检测组件40按照送检通道20的排列顺序依次对其上的工件200进行第二检测，能够缩短第二检测组件40等待工件200进行第一检测的时间，缩短两次第二检测之间的间隔时间，从而提高检测系统100的检测效率。在一些实施例中，若所有送检通道20上均不存在已经完成第一检测的工件200，即所有送检通道20均存在等待
进行第二检测的工件200时，第二检测组件40运动至第一检测组件30当前所在的送检通道20。由于所有送检通道20上均不存在已经完成第一检测的工件200，第一检测组件30当前所在的送检通道20将会是所有送检通道20中最快有完成第一检测的工件200的送检通道20，二检测组件40运动至第一检测组件30当前所在的送检通道20，能够节约时间，从而提高检测系统100的检测效率。
74.在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
75.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
76.尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本技术的范围由权利要求及其等同物限定。