一种晶圆的外观检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种晶圆的外观检测设备。


背景技术：

2.硅晶圆就是指硅半导体电路制作所用的硅晶片，晶圆是制造ic的基本原料，生产硅晶圆的过程当中，良品率是很重要的条件，对于硅晶圆的品质要求极为严格，在大批量生产的时候，往往需要对硅晶圆进行外观检测，比如：尺寸，破损，裂粒，气孔，裂痕，镍层不良等等。
3.传统工艺中，往往是通过人工来手动进行硅晶圆的外观检测，费时费力，且易使得硅晶圆受到人为外力的作用而损坏，现有的硅晶圆外观检测设备较为匮乏，且结构复杂，往往通过机械手抓取硅晶圆，也易导致硅晶圆受到外力作用而损坏，导致次品率提高。
4.因此，急需设计一种晶圆的外观检测设备用于解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种晶圆的外观检测设备，用于解决现有的对晶圆检测的设备结构复杂，需要夹取晶圆进行检测，容易损坏晶圆的问题。
6.为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：晶圆的外观检测设备，包括底座，在底座上设有柜体，在柜体的一侧设有门体；
7.在所述底座内部设有x轴移动组件，在x轴移动组件上设置有载物板,在所述底座的上方设置有支撑架，在支撑架上设有y轴移动组件,在y轴移动组件连接有检测装置；
8.在所述检测装置内部设有z轴移动组件，在z轴移动组件上设置有相机。
9.进一步的，所述柜体的开口处设有滑动组件，所述门体通过滑动组件与所述柜体滑动连接。
10.进一步的，所述滑动组件为无杆气缸。
11.进一步的，所述门体处设有透明板。
12.进一步的，所述y轴移动组件包括外壳，在外壳处设有在y轴方向布置的滑台，所述滑台与所述检测装置通过连接块连接，所述连接块为u型板，u型板穿出外壳与检测装置连接。
13.进一步的，所述x轴移动组件、y轴移动组件和z轴移动组件均通过研磨丝杆驱动。
14.与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
15.本实用新型设置用于放置待测物料的的载物板，真空吸附，无需夹取物料，避免对物料造成损坏，并且通过x、y、z轴移动，对晶圆进行全方位的检测，通过滑动的门体，对检测设备的打开和闭合的操作方便。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；
18.图2是图1中内部结构示意图；
19.图3是y轴移动组件的内部结构示意图；
20.图4是本实用新型检测装置的内部结构示意图；
21.其中，1、柜体，11、滑动组件，2、门体，3、透明板，4、底座，41、x轴移动组件，42、载物板，5、y轴移动组件，51、外壳，52、滑台，53、连接块，6、检测装置，61、z轴移动组件，62、相机，7、支撑架。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。
23.需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件时，它可以是直接连接到另一个组件，或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
24.还需要说明的是，本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.请参阅图1至图4，包括底座4，在底座4上设有柜体1，在柜体1的一侧设有门体2；在本实施例中，柜体1的开口处设有滑动组件11，所述门体2通过滑动组件11与所述柜体1滑动连接，且滑动组件11为无杆气缸。本实施例中，门体2具有一定倾角设置，便于观察柜体1内部的情况，并且在门体2处设有透明板3。无杆气缸驱动门体的滑动，结构简单，占用空间小。
26.在所述底座4内部设有x轴移动组件41，在x轴移动组件41上设置有载物板42,在所述底座4的上方设置有支撑架7，在支撑架7上设有y轴移动组件5,在y轴移动组件5连接有检测装置6；载物板42用于放置带检测的晶圆，检测装置6用于对晶圆进行检测，载物板42带动晶圆在x轴方向上移动,检测装置6在y轴方向上移动。
27.在所述检测装置6内部设有z轴移动组件61，在z轴移动组件61上设置有相机62，因此，本设备可对晶圆进行多个位置的检测，避免了对晶圆的损坏。
28.如图2和图3所示，所述y轴移动组件5包括外壳51，在外壳51处设有在y轴方向布置的滑台52，所述滑台52与所述检测装置6通过连接块53连接，所述连接块53为u型板，u型板穿出外壳51与检测装置6连接。壳体51上设有与所述连接块53对应的开槽，连接块在开槽处移动，结构稳定可靠。
29.所述x轴移动组件41、y轴移动组件5和z轴移动组件61均通过研磨丝杆驱动。研磨丝杆的驱动方式噪音低、精度高。
30.本技术的说明书和权利要求书中，词语“包括/包含”和词语“具有/包括”及其变形，用于指定所陈述的特征、数值、步骤或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数值、步骤、部件或它们的组合。
31.本实用新型的一些特征，为阐述清晰，分别在不同的实施例中描述，然而，这些特征也可以结合于单一实施例中描述。相反，本实用新型的一些特征，为简要起见，仅在单一实施例中描述，然而，这些特征也可以单独或以任何合适的组合于不同的实施例中描述。
32.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。