一种半导体晶圆接触角测量设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体晶圆接触角测量设备。


背景技术：

2.所谓接触角，是指在一固体水平平面上滴一液滴，固体表面上的固—液—气三相交界点处，其气—液界面和固—液界面两切线把液相夹在其中所成的角即接触角。晶圆接触角测量仪用于测试液体对固体的接触角测量，即通过测量液体与固体间所形成接触角的大小，判断液体对固体的浸润性。广泛应用于硅晶、纤维、合成材料、油墨、涂料、农药等领域的测试与研究。
3.但是现有技术中，现有的某些半导体晶圆接触角测量设备在进行测量时，由于工作台不具备移动的能力，使得测量过程较为繁琐，也会导致测量结果不准确，同时某些具有移动能力的工作台，由于结构较为复杂，在工作台损坏时难以及时修理，会降低半导体晶圆接触角的测量效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，通过调节机构可使平板具备移动的能力，由于结构较为简单，在损坏时可以及时修复，避免降低测量效率。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种半导体晶圆接触角测量设备，包括基台，所述基台的底部焊接有多个底座，所述基台的顶部一侧焊接有固定板，所述固定板的一侧固定安装有夹扣，所述夹扣的内表面固定安装有滴管，所述基台的底部旋转连接有调节机构，所述基台的顶部另一侧焊接有支架，所述支架靠近固定板的一侧固定安装有转动机构；
6.所述调节机构包括转扭，所述转扭的外表面焊接有第一齿轮，所述第一齿轮的外表面啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的顶部固定贯穿有转轴，所述转轴的外表面焊接有第三齿轮，所述第三齿轮的外表面啮合连接有齿板，所述齿板的顶部焊接有两个支撑杆，两个所述支撑杆的顶端之间焊接有平板，所述平板的顶部固定安装有玻璃板。
7.作为一种优选的实施方式，所述转动机构包括固定台，所述固定台的顶部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端铰接有支座，所述支架的内表面通过轴承旋转连接有保护壳。
8.作为一种优选的实施方式，所述转扭的顶端与基台的底部旋转连接，所述基台的底部开设有内槽，且内槽的大小与第三齿轮的大小相适配，所述转轴的顶端与基台的内表面旋转连接。
9.作为一种优选的实施方式，所述基台的顶部开设有固定槽，且固定槽的大小与两个支撑杆的大小均相适配，所述齿板的后表面滑动连接在固定槽的内表面。
10.作为一种优选的实施方式，所述固定台的一侧固定安装在支架靠近固定板的一
侧，所述保护壳的内表面固定安装有影像采集装置，所述支座的顶部固定安装在影像采集装置的底部一侧。
11.作为一种优选的实施方式，所述支架的外表面呈凹型状，所述保护壳的大小与支架的大小相适配。
12.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：
13.1、本实用新型中，将晶圆放置在玻璃板的顶部，并与滴管保持在同一条线上，通过向滴管中滴入一液滴，使得液滴从滴管中缓慢滴下，浸润晶圆，避免了人工在滴液时因各种因素造成液滴偏离，保证了液滴可以完全浸润晶圆，此时启动影像采集装置，通过转动转扭，可带动齿板进行滑动，齿板进而会带动支撑杆进行移动，使得平板和玻璃板可以稳定移动，通过调节玻璃板的位置，可多处测量晶圆的接触角，保证了接触角测量的准确性，同时，由于结构较为简单，在损坏时也可以及时修复并使用，避免降低测量效率。
14.2、本实用新型中，在测量晶圆接触角时，若位置需要微调，可通过启动电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端会带动支座进行转动，支座会带动影像采集装置进行轻微转动，便于从不同位置进行影像采集，影像采集装置的转动也会带动保护壳转动，通过轴承的作用，保护壳可以正常转动，不会发生损坏的状况，同时，由于保护壳的保护作用，避免了影像采集装置受到磨损，可以正常使用。
附图说明
15.图1为本实用新型提出一种半导体晶圆接触角测量设备的正视图；
16.图2为本实用新型提出一种半导体晶圆接触角测量设备的侧视剖视图；
17.图3为本实用新型提出一种半导体晶圆接触角测量设备中部分调节机构的结构示意图；
18.图4为本实用新型提出一种半导体晶圆接触角测量设备中第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮的立体图。
19.图例说明：
20.1、基台；2、底座；3、固定板；4、夹扣；5、滴管；6、调节机构；601、转扭；602、第一齿轮；603、第二齿轮；604、转轴；605、第三齿轮；606、齿板；607、支撑杆；608、平板；609、玻璃板；7、支架；8、转动机构；801、固定台；802、电动伸缩杆；803、支座；804、保护壳；9、影像采集装置。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
‑
4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆接触角测量设备，包括基台1，基台1的底部焊接有多个底座2，基台1的顶部一侧焊接有固定板3，固定板3的一侧固定安装有夹扣4，夹扣4的内表面固定安装有滴管5，基台1的底部旋转连接有调节机构6，基台1的顶部另一侧焊接有支架7，支架7靠近固定板3的一侧固定安装有转动机构8；
23.调节机构6包括转扭601，转扭601的外表面焊接有第一齿轮602，第一齿轮602的外表面啮合连接有第二齿轮603，第二齿轮603的顶部固定贯穿有转轴604，转轴604的外表面焊接有第三齿轮605，第三齿轮605的外表面啮合连接有齿板606，齿板606的顶部焊接有两个支撑杆607，两个支撑杆607的顶端之间焊接有平板608，平板608的顶部固定安装有玻璃板609。
24.转动机构8包括固定台801，固定台801的顶部固定安装有电动伸缩杆802，电动伸缩杆802的输出端铰接有支座803，支架7的内表面通过轴承旋转连接有保护壳804，通过转动机构8，可在接触角测量时进行微调，保证测量结果的准确性。
25.转扭601的顶端与基台1的底部旋转连接，基台1的底部开设有内槽，且内槽的大小与第三齿轮605的大小相适配，转轴604的顶端与基台1的内表面旋转连接，使得转扭601和转轴604均可以稳定转动，同时也保证了第三齿轮605可以稳定转动。
26.基台1的顶部开设有固定槽，且固定槽的大小与两个支撑杆607的大小均相适配，齿板606的后表面滑动连接在固定槽的内表面，使得齿板606可以带动两个支撑杆607进行稳定滑动。
27.固定台801的一侧固定安装在支架7靠近固定板3的一侧，保护壳804的内表面固定安装有影像采集装置9，支座803的顶部固定安装在影像采集装置9的底部一侧，通过保护壳804的保护作用，可避免影像采集装置9受到磨损，同时可通过电动伸缩杆802的作用，对影像采集装置9进行微调。
28.支架7的外表面呈凹型状，保护壳804的大小与支架7的大小相适配，避免了保护壳804在转动的时候与支架7产生摩擦，避免磨损。
29.本实施例的工作原理：在使用该半导体晶圆接触角测量设备时，首先根据图1、图3和图4所示，首先将晶圆放置在玻璃板609的顶部，并与滴管5保持在同一条线上，通过向滴管5中滴入一液滴，使得液滴从滴管5中缓慢滴下，浸润晶圆，避免了人工在滴液时因各种因素造成液滴偏离，保证了液滴可以完全浸润晶圆，此时启动影像采集装置9，通过转动转扭601，转扭601带动第一齿轮602旋转，第一齿轮602带动第二齿轮603旋转，第二齿轮603带动转轴604进行转动，转轴604会带动第三齿轮605旋转，第三齿轮605会带动齿板606进行滑动，齿板606进而会带动支撑杆607进行移动，使得平板608和玻璃板609可以稳定移动，通过调节玻璃板609的位置，可多处测量晶圆的接触角，保证了接触角测量的准确性；
30.同时根据图1和图2所示，在测量晶圆接触角时，若位置需要微调，可通过启动电动伸缩杆802，电动伸缩杆802的输出端会带动支座803进行转动，支座803会带动影像采集装置9进行轻微转动，影像采集装置9的转动会带动保护壳804转动，通过轴承的作用，保护壳804可以正常转动，不会发生损坏的状况，同时，由于保护壳804的保护作用，避免了影像采集装置9受到磨损，可以正常使用。
31.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。