一种半导体器件双面检测探针安装架的制作方法

1.本实用新型涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种半导体器件双面检测探针安装架。


背景技术：

2.双面探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试，其目的在于保证质量及器件的可造性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，采用双面点针的设计方式，操作更为方便、灵活，目前具有上下点针和前后点针的双面点针设计结构，可根据测试样品的实际情况进行适应性的选择，不管是上下点针还是前后点针，均离不开对探针座的进行安装的安装架，目前，针对上下点针的安装架的安装结构设计较为复杂，成本较高。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种半导体器件双面检测探针安装架，解决了现有双面探针台用的安装架的结构较为复杂，成本较高的问题。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种半导体器件双面检测探针安装架，包括底座、设置在底座上的支撑座以及设置在支撑座上的上层安装板和下层安装板，所述上层安装板包括具有一敞口的圆形空间和分别位于圆形空间两侧的安装延伸板，所述上层安装板上设有上层探针座，所述下层安装板包括固定安装在支撑座上的左侧安装板和右侧安装板，所述左侧安装板和右侧安装板分别位于对应的安装延伸板的下方，所述左侧安装板和/或右侧安装板上设有下层探针座。
6.本技术方案中，底座提升了整个架体的稳定性，支撑座从垂直方向上支撑起上层安装板和下层安装板，在上层安装板和下层安装板之间形成检测操纵空间，而安装在上层安装板上的上层探针座能够对测试样品正面的进行检测，左侧安装板和/或右侧安装板上的下层探针座能够对测试样品的背面进行检测，本安装架通过合理的双层架体结构设计，能够实现对上层探针座和下层探针座在不同高度的分层安装，且圆形空间的设置以及左侧安装板和右侧安装板的设置，使得圆形空间和下层安装板之间形成了垂直方向上的连通空间，方便上层探针座和下层探针座对定位于该连通空间内的测试样品的正面和背面进行检测，从而为上下点针提供了便捷，本安装架体结构设计简单，成本低。
7.进一步的，为了实现对本安装架的模块化的安装，同时提供安装结构的稳定性，所述支撑座包括下层支撑座和上层支撑座，所述下层支撑座有两个且对称设置在底座的两侧，所述左侧安装板和右侧安装板分别固定在两个下层支撑座的上端，所述上层支撑座有两个且分别固定安装在左侧安装板和右侧安装板上，所述下层支撑座和上层支撑座在垂直方向上共面。
8.进一步的，为了提升上层安装板的稳定性，所述上层安装板与上层支撑座之间设有斜撑。
9.进一步的，为了提升安装架的稳定性，所述支撑座还包括顶板，所述顶板的两端分
别与两个上层支撑座的上端固定连接。
10.进一步的，为了提供合理的检测操作空间，为检测提供便捷，所述左侧安装板和右侧安装板之间的区域为下层检测操作空间，所述圆形空间与下层检测操作空间在垂直方向上连通。
11.进一步的，为了提升设备的支撑稳定性，所述底座为矩形底座，所述底座的四个边角位置均设有支脚。
12.进一步的，为了提升及设备外形结构的紧凑效果，所述底座、支撑座、下层安装板和上层安装板的外侧端均平齐。
13.进一步的，为了方便实现对上层探针座的安装，所述安装延伸板上分别设有安装垫板，所述上层探针座安装在安装垫板上。
14.进一步的，为了方便检测操作，所述敞口为由圆形空间向外延伸呈扩口状的扩张敞口。
15.进一步的，所述底座的前方设有向下延伸的u形围板，所述u形围板的高度不超过支脚的高度。
16.本实用新型的有益效果为：本技术方案中，底座提升了整个架体的稳定性，支撑座从垂直方向上支撑起上层安装板和下层安装板，在上层安装板和下层安装板之间形成检测操纵空间，而安装在上层安装板上的上层探针座能够对测试样品正面的进行检测，左侧安装板和/或右侧安装板上的下层探针座能够对测试样品的背面进行检测，本安装架通过合理的双层架体结构设计，能够实现对上层探针座和下层探针座在不同高度的分层安装，且圆形空间的设置以及左侧安装板和右侧安装板的设置，使得圆形空间和下层安装板之间形成了垂直方向上的连通空间，方便上层探针座和下层探针座对定位于该连通空间内的测试样品的正面和背面进行检测，从而为上下点针提供了便捷，本安装架体结构设计简单，成本低。
附图说明
17.图1是本实用新型第一视角的结构示意图；
18.图2是本实用新型第二视角的结构示意图；
19.图3是本实用新型的俯视结构示意图；
20.图4是本实用新型的侧视结构示意图。
21.图中：底座1；上层安装板2；敞口4；圆形空间5；安装延伸板6；上层探针座7；左侧安装板8；右侧安装板9；下层探针座10；下层支撑座11；上层支撑座12；斜撑13；顶板14；下层检测操作空间15；支脚16；安装垫板17；u形围板18。
具体实施方式
22.实施例1：
23.如图1
‑
图4所示，本实施例提供一种半导体器件双面检测探针安装架，包括底座1、设置在底座1上的支撑座以及设置在支撑座上的上层安装板2和下层安装板，上层安装板2包括具有一敞口4的圆形空间5和分别位于圆形空间5两侧的安装延伸板6，上层安装板2上设有上层探针座7，具体的，安装延伸板6上围绕圆形空间5设有多个上层探针座7，下层安装
板包括固定安装在支撑座上的左侧安装板8和右侧安装板9，左侧安装板8和右侧安装板9分别位于对应的安装延伸板6的下方，左侧安装板8和/或右侧安装板9上设有下层探针座10，具体的，左侧安装板8和右侧安装板9上设有多个下层探针座10。
24.本技术方案中，底座1提升了整个架体的稳定性，支撑座从垂直方向上支撑起上层安装板2和下层安装板，在上层安装板2和下层安装板之间形成检测操纵空间，而安装在上层安装板2上的上层探针座7能够对测试样品正面的进行检测，左侧安装板8和/或右侧安装板9上的下层探针座10能够对测试样品的背面进行检测，本安装架通过合理的双层架体结构设计，能够实现对上层探针座7和下层探针座10在不同高度的分层安装，且圆形空间5的设置以及左侧安装板8和右侧安装板9的设置，使得圆形空间5和下层安装板之间形成了垂直方向上的连通空间，方便上层探针座7和下层探针座10对定位于该连通空间内的测试样品的正面和背面进行检测，从而为上下点针提供了便捷，本安装架体结构设计简单，成本低。
25.实施例2：
26.本实施例是在上述实施例1的基础上进行优化。
27.为了实现对本安装架的模块化的安装，同时提供安装结构的稳定性，支撑座包括下层支撑座11和上层支撑座12，下层支撑座11有两个且对称设置在底座1的两侧，左侧安装板8和右侧安装板9分别固定在两个下层支撑座11的上端，上层支撑座12有两个且分别固定安装在左侧安装板8和右侧安装板9上，下层支撑座11和上层支撑座12在垂直方向上共面。
28.实施例3：
29.本实施例是在上述实施例2的基础上进行优化。
30.为了提升上层安装板2的稳定性，上层安装板2与上层支撑座12之间设有斜撑13。
31.实施例4：
32.本实施例是在上述实施例3的基础上进行优化。
33.为了提升安装架的稳定性，支撑座还包括顶板14，顶板14的两端分别与两个上层支撑座12的上端固定连接。
34.实施例5：
35.本实施例是在上述实施例4的基础上进行优化。
36.为了提供合理的检测操作空间，为检测提供便捷，左侧安装板8和右侧安装板9之间的区域为下层检测操作空间15，圆形空间5与下层检测操作空间15在垂直方向上连通。
37.实施例6：
38.本实施例是在上述实施例5的基础上进行优化。
39.为了提升设备的支撑稳定性，底座1为矩形底座1，底座1的四个边角位置均设有支脚16。
40.实施例7：
41.本实施例是在上述实施例6的基础上进行优化。
42.为了提升及设备外形结构的紧凑效果，底座1、支撑座、下层安装板和上层安装板2的外侧端均平齐。
43.实施例8：
44.本实施例是在上述实施例7的基础上进行优化。
45.为了方便实现对上层探针座7的安装，安装延伸板6上分别设有安装垫板17，上层探针座7安装在安装垫板17上。
46.实施例9：
47.本实施例是在上述实施例8的基础上进行优化。
48.为了方便检测操作，敞口4为由圆形空间5向外延伸呈扩口状的扩张敞口4。
49.底座1的前方设有向下延伸的u形围板18，u形围板18的高度不超过支脚16的高度。
50.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。