一种探针座的制作方法

1.本实用新型涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种探针座。


背景技术：

2.探针座主要应用于半导体器件的检测，实现对探针的位移微调操作，目前传统探针座调试过程的调试操作方式主要是实现多向调节，但是调试精度还有待提升，此外，安装结构方式较为复杂，结构的紧凑型还有待提升。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种探针座，解决了现有探针座调试精度不高，安装结构设计复杂的问题。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种探针座，包括基座，设置在基座上的x向移动机构、设置在x向移动机构上的y向移动机构和设置在y向移动机构上的z向移动机构，所述x向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，第一交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，所述第三交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直；
6.所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述侧座上设有安装座，所述安装座上安装有探针移动杆，所述探针移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上夹持有探针。
7.本技术方案中，由于底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，交叉滚子导轨为两根具有v形滚道的导轨，在v形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个v形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。
8.上述结构设计，在操作第一丝杆的过程中，第一螺母会在第一移动槽内移动，由于第一螺母与中座固定，且中座通过第一交叉滚子导轨与底座滑动连接，则第一螺母的移动实现对中座相对于底座进行位移，也即是对探针在x向的位移调整；在操作第二丝杆的过程
中，第二螺母会在第二移动槽内移动，由于第二螺母与上座固定，且上座通过第二交叉滚子导轨与中座滑动连接，则第二螺母的移动实现对上座相对于中座进行位移，也即是对探针在y向的位移调整；在操作第三丝杆的过程中，第三螺母会在第三移动槽内移动，由于第三螺母与侧座固定，且侧座通过第三交叉滚子导轨与上座滑动连接，则第三螺母的移动实现对侧座相对于上座进行位移，也即是对探针在z向的位移调整。
9.综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座、中座、上座以及侧座结构紧凑的同时，也提升了探针位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。
10.进一步的，为了更好的实现中座相对于底座、上座相对于中座、侧座相对于上座的稳定滑动配合关系，所述第一交叉滚子导轨包括两根对称设置在底座上端左右侧的第一静导轨和两根对称设置在中座下端左右侧的第一动导轨，所述第一静导轨与对应的第一动导轨滑动连接；
11.所述第二交叉滚子导轨包括两根对称设置在中座上端前后位置的第二静导轨和两根对称设置在上座下端前后位置的第二动导轨，所述第二静导轨与第二动导轨滑动连接；
12.所述第三交叉滚子导轨包括两根对称设置在上座一侧面的第三静导轨和两根对称设置在侧座上一侧面的第三动导轨，所述第三静导轨与第三动导轨滑动连接。
13.需要说明的是，第一移动槽位于两根第一静导轨之间，两根第一动导轨分别位于对应的第一静导轨的外侧，第二移动槽位于两根第二静导轨之间，两根第二动导轨分别位于对应的第二静导轨的外侧，第三移动槽位于两根第三静导轨之间，两根第三动导轨分别位于对应的第三静导轨的外侧。
14.进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一丝杆上设有第一操作旋钮，所述第二丝杆上设有第二操作旋钮，所述第三丝杆上设有第三操作旋钮。
15.进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮上均设有防滑纹。第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮采用螺纹连接的方式分别与第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的端部固定连接。
16.进一步的，为了更好的提升外形结构的紧凑性，所述底座和中座的长宽尺寸一致。
17.进一步的，为了方便实现对侧座的安装，所述上座的一侧具有朝向侧座延伸的凸起部，所述侧座通过第三交叉滚子导轨安装在凸起部上。
18.进一步的，为了给第一螺母、第二螺母和第三螺母提供合理的移动空间，所述第一移动槽的长度方向与第一丝杆的长度方向平行，所述第二移动槽的长度方向与第二丝杆的长度方向平行，所述第三移动槽的长度方向与第三丝杆的长度方向平行。
19.进一步的，为了方便对探针的位移调节，所述安装座通过螺钉安装在侧座的中间位置。
20.进一步的，为了方便实现与真空腔的密封连接且不影响探针的位移调节，所述侧座上设有波纹管，所述安装座位于波纹管内。
21.进一步的，为了方便实现对真空腔的密封连接，所述波纹管的外端设有连接法兰。
22.本实用新型的有益效果为：本技术方案中，由于底座与中座之间设有第一交叉滚
子导轨，中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，交叉滚子导轨为两根具有v形滚道的导轨，在v形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个v形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。
23.上述结构设计，在操作第一丝杆的过程中，第一螺母会在第一移动槽内移动，由于第一螺母与中座固定，且中座通过第一交叉滚子导轨与底座滑动连接，则第一螺母的移动实现对中座相对于底座进行位移，也即是对探针在x向的位移调整；在操作第二丝杆的过程中，第二螺母会在第二移动槽内移动，由于第二螺母与上座固定，且上座通过第二交叉滚子导轨与中座滑动连接，则第二螺母的移动实现对上座相对于中座进行位移，也即是对探针在y向的位移调整；在操作第三丝杆的过程中，第三螺母会在第三移动槽内移动，由于第三螺母与侧座固定，且侧座通过第三交叉滚子导轨与上座滑动连接，则第三螺母的移动实现对侧座相对于上座进行位移，也即是对探针在z向的位移调整。
24.综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座、中座、上座以及侧座结构紧凑的同时，也提升了探针位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。
附图说明
25.图1是本实用新型第一视角的结构示意图；
26.图2是本实用新型第二视角的结构示意图；
27.图3是本实用新型中底座的结构示意图；
28.图4是本实用新型中中座和上座的结构示意图；
29.图5是本实用新型中底座和中座的结构示意图；
30.图6是本实用新型中上座和侧座结构示意图；
31.图7是本实用新型中上座的结构示意图；
32.图8是本实用新型中侧座的结构示意图；
33.图9是本实用新型的剖视结构示意图。
34.图中：基座1；底座2；底座2；中座3；第一丝杆4；第一螺母5；上座6；第二丝杆7；第二螺母8；侧座9；第三丝杆10；第三螺母11；第一交叉滚子导轨12；第一静导轨12.1；第一动导轨12.2；第二交叉滚子导轨13；第二静导轨13.1；第二动导轨13.2；第三交叉滚子导轨14；第三静导轨14.1；第三动导轨14.2；第一移动槽15；第二移动槽16；第三移动槽17；安装座18；探针移动杆19；探针夹具20；探针21；第一操作旋钮22；第二操作旋钮23；第三操作旋钮24；凸起部25；波纹管26；连接法兰27。
具体实施方式
35.实施例1：
36.如图1
‑
图9所示，本实施例提供一种探针座，包括基座1，设置在基座1上的x向移动机构、设置在x向移动机构上的y向移动机构和设置在y向移动机构上的z向移动机构，所述x向移动机构包括设于基座1上的底座2、设于底座2上的中座3、与底座2转动连接的第一丝杆4和与第一丝杆4螺纹连接的第一螺母5，所述y向移动机构包括设于中座3上的上座6、与中
座3转动连接的第二丝杆7和与第二丝杆7螺纹连接的第二螺母8，所述z向移动机构包括设于上座6一侧的侧座9、与上座6转动连接的第三丝杆10和与第三丝杆10螺纹连接的第三螺母11，所述底座2与中座3之间设有第一交叉滚子导轨12，所述中座3与上座6之间设有第二交叉滚子导轨13，第一交叉滚子导轨12与第二交叉滚子导轨13的投影在同一平面内相互垂直，所述上座6与侧座9之间设有第三交叉滚子导轨14，所述第三交叉滚子导轨14与第二交叉滚子导轨13的投影在同一平面内相互垂直；
37.所述第一丝杆4的长度方向与第一交叉滚子导轨12的长度方向平行，所述底座2上设有第一移动槽15，所述第一螺母5位于第一移动槽15内，所述第一螺母5与中座3固定连接；所述第二丝杆7的长度方向与第二交叉滚子导轨13的长度方向平行，所述中座3上设有第二移动槽16，所述第二螺母8位于第二移动槽16内，所述第二螺母8与上座6固定连接；所述第三丝杆10的长度方向与第三交叉滚子导轨14的长度方向平行，所述上座6上设有第三移动槽17，所述第三螺母11位于第三移动槽17内，所述第三螺母11与侧座9固定连接，所述侧座9上设有安装座18，所述安装座18上安装有探针移动杆19，所述探针移动杆19上设有探针夹具20，所述探针夹具20上夹持有探针21。
38.本技术方案中，由于底座2与中座3之间设有第一交叉滚子导轨12，中座3与上座6之间设有第二交叉滚子导轨13，上座6与侧座9之间设有第三交叉滚子导轨14，第一交叉滚子导轨12与第二交叉滚子导轨13的投影在同一平面内相互垂直，第三交叉滚子导轨14与第二交叉滚子导轨13的投影在同一平面内相互垂直，交叉滚子导轨为两根具有v形滚道的导轨，在v形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个v形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。
39.上述结构设计，在操作第一丝杆4的过程中，第一螺母5会在第一移动槽15内移动，由于第一螺母5与中座3固定，且中座3通过第一交叉滚子导轨12与底座2滑动连接，则第一螺母5的移动实现对中座3相对于底座2进行位移，也即是对探针21在x向的位移调整；在操作第二丝杆7的过程中，第二螺母8会在第二移动槽16内移动，由于第二螺母8与上座6固定，且上座6通过第二交叉滚子导轨13与中座3滑动连接，则第二螺母8的移动实现对上座6相对于中座3进行位移，也即是对探针21在y向的位移调整；在操作第三丝杆10的过程中，第三螺母11会在第三移动槽17内移动，由于第三螺母11与侧座9固定，且侧座9通过第三交叉滚子导轨14与上座6滑动连接，则第三螺母11的移动实现对侧座9相对于上座6进行位移，也即是对探针21在z向的位移调整。
40.综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座2、中座3、上座6以及侧座9结构紧凑的同时，也提升了探针21位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。
41.实施例2：
42.本实施例是在上述实施例1的基础上进行优化。
43.为了更好的实现中座3相对于底座2、上座6相对于中座3、侧座9相对于上座6的稳定滑动配合关系，所述第一交叉滚子导轨12包括两根对称设置在底座2上端左右侧的第一静导轨12.1和两根对称设置在中座3下端左右侧的第一动导轨12.2，所述第一静导轨12.1与对应的第一动导轨12.2滑动连接；
44.所述第二交叉滚子导轨13包括两根对称设置在中座3上端前后位置的第二静导轨13.1和两根对称设置在上座6下端前后位置的第二动导轨13.2，所述第二静导轨13.1与第二动导轨13.2滑动连接；
45.所述第三交叉滚子导轨14包括两根对称设置在上座6一侧面的第三静导轨14.1和两根对称设置在侧座9上一侧面的第三动导轨14.2，所述第三静导轨14.1与第三动导轨14.2滑动连接。
46.需要说明的是，第一移动槽15位于两根第一静导轨12.1之间，两根第一动导轨12.2分别位于对应的第一静导轨12.1的外侧，第二移动槽16位于两根第二静导轨13.1之间，两根第二动导轨13.2分别位于对应的第二静导轨13.1的外侧，第三移动槽17位于两根第三静导轨14.1之间，两根第三动导轨14.2分别位于对应的第三静导轨14.1的外侧。
47.实施例3：
48.本实施例是在上述实施例2的基础上进行优化。
49.为了方便实现对第一丝杆4、第二丝杆7和第三丝杆10的操作，所述第一丝杆4上设有第一操作旋钮22，所述第二丝杆7上设有第二操作旋钮23，所述第三丝杆10上设有第三操作旋钮24。
50.实施例4：
51.本实施例是在上述实施例3的基础上进行优化。
52.为了方便实现对第一丝杆4、第二丝杆7和第三丝杆10的操作，所述第一操作旋钮22、第二操作旋钮23和第三操作旋钮24上均设有防滑纹。第一操作旋钮22、第二操作旋钮23和第三操作旋钮24采用螺纹连接的方式分别与第一丝杆4、第二丝杆7和第三丝杆10的端部固定连接。
53.实施例5：
54.本实施例是在上述实施例4的基础上进行优化。
55.为了更好的提升外形结构的紧凑性，所述底座2和中座3的长宽尺寸一致。
56.实施例6：
57.本实施例是在上述实施例5的基础上进行优化。
58.为了方便实现对侧座9的安装，所述上座6的一侧具有朝向侧座9延伸的凸起部25，所述侧座9通过第三交叉滚子导轨14安装在凸起部25上。
59.实施例7：
60.本实施例是在上述实施例6的基础上进行优化。
61.为了给第一螺母5、第二螺母8和第三螺母11提供合理的移动空间，所述第一移动槽15的长度方向与第一丝杆4的长度方向平行，所述第二移动槽16的长度方向与第二丝杆7的长度方向平行，所述第三移动槽17的长度方向与第三丝杆10的长度方向平行。
62.实施例8：
63.本实施例是在上述实施例7的基础上进行优化。
64.为了方便对探针21的位移调节，所述安装座18通过螺钉安装在侧座9的中间位置。
65.实施例9：
66.本实施例是在上述实施例8的基础上进行优化。
67.为了方便实现与真空腔的密封连接且不影响探针21的位移调节，所述侧座9上设
有波纹管26，所述安装座18位于波纹管26内。为了方便实现对真空腔的密封连接，所述波纹管26的外端设有连接法兰27。
68.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。