一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置的制作方法

文档序号:28281224发布日期:2021-12-31 21:34阅读:133来源:国知局
一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置的制作方法

1.本实用新型属于液面测温轴技术领域,特别是涉及一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置。


背景技术:

2.单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料,单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,单晶硅在生产时,单晶炉内部的温度需要监控,以便更好的形成产品,因此需要用到测温装置,但是,现有的单晶炉,不能有效的根据使用的需求适当的调整测温装置的位置,造成温度的测量产生误差,影响产品的形成,且现有的单晶炉,不能有效的对石英轴的高度进行调整,影响产品的质量,基于此,我们提出了一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置,以解决了现有的问题:现有的单晶炉,不能有效的根据使用的需求适当的调整测温装置的位置,造成温度的测量产生误差,影响产品的形成。
4.为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
5.本实用新型为一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体的下端固定有多个圆形支腿,所述单晶炉主体的上端固定有矩形支撑杆,所述矩形支撑杆的周侧面滑动连接有矩形滑块,所述矩形滑块的一端固定有第一电机,所述第一电机的输出端固定有蜗杆,所述蜗杆的底部啮合连接有蜗轮,且所述蜗轮与矩形滑块转动连接,所述矩形支撑杆的一侧且靠近蜗轮的位置处固定有齿条,且所述固定有齿条与蜗轮啮合连接,所述矩形滑块远离第一电机的一端转动连接有u形块,所述u形块的一侧固定有第二电机,所述第二电机的输出端固定有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮的一侧啮合连接有第二锥齿轮,且所述第二锥齿轮与矩形滑块固定连接,所述u形块的下端固定有红外测温器。
6.进一步地,所述单晶炉主体的上端还固定有矩形固定体,所述矩形固定体的一侧转动连接有旋块,所述旋块的一端固定有第三锥齿轮,所述第三锥齿轮的底部啮合连接有第四锥齿轮,且所述第四锥齿轮与矩形固定体转动连接,所述第四锥齿轮的上端固定有螺杆,且所述螺杆与矩形固定体转动连接,所述螺杆的周侧面螺纹连接有矩形固定杆,所述矩形固定杆的下端固定有石英轴固定杆主体,且所述石英轴固定杆主体与单晶炉主体滑动连接。
7.进一步地,所述圆形支腿的下端均固定有圆形垫。
8.进一步地,所述矩形支撑杆的上端固定有矩形挡板。
9.进一步地,所述矩形滑块的一端且位于第一电机的外侧固定有防护罩,所述u形块的一侧且位于第二电机的外侧也固定有防护罩。
10.进一步地,所述矩形固定体的内部且靠近螺杆的位置处固定有轴承,所述矩形固定体与螺杆之间通过轴承进行转动连接。
11.进一步地,所述螺杆的上端固定有圆形挡块。
12.本实用新型具有以下有益效果:
13.1、本实用新型通过红外测温器的位置调整机构的结构设计,能有效的根据使用的需求适当的调整红外测温器的位置,减少了温度测量时产生的误差,避免对产品的形成造成影响。
14.2、本实用新型通过旋块、第三锥齿轮、第四锥齿轮、螺杆、矩形固定杆和石英轴固定杆主体的相互配合,能有效的对石英轴的高度进行调整,进而能保证产品的质量。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的整体结构示意图;
17.图2为本实用新型位置调整机构的结构示意图;
18.图3为本实用新型矩形滑块的剖视图;
19.图4为本实用新型矩形固定体的剖视图。
20.附图中,各标号所代表的部件列表如下:
21.1、单晶炉主体;2、圆形支腿;3、圆形垫;4、矩形支撑杆;5、矩形滑块;6、第一电机;7、蜗杆;8、蜗轮;9、齿条;10、u形块;11、第二电机;12、第一锥齿轮;13、第二锥齿轮;14、红外测温器;15、矩形挡板;16、矩形固定体;17、旋块;18、第三锥齿轮;19、第四锥齿轮;20、螺杆;21、矩形固定杆;22、石英轴固定杆主体;23、圆形挡块。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1

4所示,本实用新型为一种用于精确测量液面温度的石英轴可调装置,包括单晶炉主体1,单晶炉主体1的下端固定有多个圆形支腿2,圆形支腿2的下端均固定有圆形垫3,增加结构的稳定性;
24.单晶炉主体1的上端固定有矩形支撑杆4,矩形支撑杆4的周侧面滑动连接有矩形滑块5,矩形滑块5的一端固定有第一电机6,第一电机6的输出端固定有蜗杆7,蜗杆7的底部啮合连接有蜗轮8,且蜗轮8与矩形滑块5转动连接,矩形支撑杆4的一侧且靠近蜗轮8的位置处固定有齿条9,且固定有齿条9与蜗轮8啮合连接,矩形滑块5远离第一电机6的一端转动连接有u形块10,u形块10的一侧固定有第二电机11,第二电机11的输出端固定有第一锥齿轮12,第一锥齿轮12的一侧啮合连接有第二锥齿轮13,且第二锥齿轮13与矩形滑块5固定连
接,u形块10的下端固定有红外测温器14,矩形支撑杆4的上端固定有矩形挡板15,限定矩形滑块5的移动距离,矩形滑块5的一端且位于第一电机6的外侧固定有防护罩,u形块10的一侧且位于第二电机11的外侧也固定有防护罩,提供防护;
25.单晶炉主体1的上端还固定有矩形固定体16,矩形固定体16的一侧转动连接有旋块17,旋块17的一端固定有第三锥齿轮18,第三锥齿轮18的底部啮合连接有第四锥齿轮19,且第四锥齿轮19与矩形固定体16转动连接,矩形固定体16的内部且靠近螺杆20的位置处固定有轴承,矩形固定体16与螺杆20之间通过轴承进行转动连接,便于螺杆20的转动,第四锥齿轮19的上端固定有螺杆20,且螺杆20与矩形固定体16转动连接,螺杆20的周侧面螺纹连接有矩形固定杆21,矩形固定杆21的下端固定有石英轴固定杆主体22,且石英轴固定杆主体22与单晶炉主体1滑动连接,螺杆20的上端固定有圆形挡块23,限定石英轴固定杆主体22的移动距离。
26.本实施例的一个具体应用为:使用时,将用电设备与外部电源电性连接,通过启动第一电机6,从而带动蜗杆7的转动,因蜗杆7与蜗轮8啮合连接,蜗轮8与矩形滑块5转动连接,蜗轮8与齿条9啮合连接,齿条9与矩形支撑杆4固定连接,矩形支撑杆4与单晶炉主体1固定连接,矩形支撑杆4与矩形滑块5滑动连接,从带动矩形滑块5的移动,通过启动第二电机11,从而带动第一锥齿轮12的转动,因第一锥齿轮12与第二锥齿轮13啮合连接,第一锥齿轮12与矩形滑块5固定连接,从而带动u形块10进行转动,能有效的根据使用的需求适当的调整红外测温器14的位置,减少了温度测量时产生的误差,避免对产品的形成造成影响;
27.通过转动旋块17,从而带动第三锥齿轮18的转动,因第三锥齿轮18与第四锥齿轮19啮合连接,第四锥齿轮19与矩形固定体16转动连接,第四锥齿轮19与螺杆20固定连接,螺杆20与矩形固定体16转动连接,螺杆20与矩形固定杆21螺纹连接,矩形固定杆21与石英轴固定杆主体22固定连接,石英轴固定杆主体22与单晶炉主体1滑动连接,从而带动石英轴固定杆主体22的移动,能有效的对石英轴的高度进行调整,进而能保证产品的质量。
28.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
29.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
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