一种镀膜机的真空度检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及测量设备技术领域，具体为一种镀膜机的真空度检测装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.真空镀膜机在使用时需要对其进行真空度检测，现有的真空度检测装置在与镀膜机进行抽真空管道连接时较为复杂，由于不具备方便拆卸结构，工作人员需要使用外置工具进行拆装，使得测量效率低下，故而提出一种镀膜机的真空度检测装置来解决上述所提出的问题。


技术实现要素：

4.（一）解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜机的真空度检测装置，具备方便安装拆卸等优点，解决了现有的真空度检测装置在与镀膜机进行抽真空管道连接时较为复杂，由于不具备方便拆卸结构，工作人员需要使用外置工具进行拆装，使得测量效率低下的问题。
6.（二）技术方案
7.为实现上述方便安装拆卸目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜机的真空度检测装置，包括测量机，所述测量机右侧固定安装有出气管，所述测量机左侧固定安装有放置块，所述放置块左侧开设有放置槽，所述放置槽内壁上下两侧均连通有开设在放置块上的放置空腔，所述测量机左侧活动安装有穿过放置槽并延伸至放置块左侧的进气管，所述进气管外侧固定安装有延伸至放置槽内部的固定块，所述固定块顶部与底部均开设有卡合槽，所述放置空腔内壁左右两侧之间活动安装有移动板，上下两个所述移动板相对一侧均固定安装有穿过放置空腔并延伸至卡合槽内部的卡合块，所述放置空腔内壁前后两侧之间活动安装有活动轴，所述活动轴外侧活动安装有转动杆，所述转动杆左侧活动安装有与移动板活动连接的推动杆，所述放置块上下两侧均活动安装有延伸至放置空腔内部的活动杆，上下两个所述活动杆相背一侧均固定安装有支撑块，上下两个所述支撑块相对一侧均固定安装有套在活动杆外侧并与放置块固定连接的弹簧，所述活动杆位于放置空腔内部一端左侧活动安装有与转动杆活动连接的连接杆。
8.优选的，所述固定块右侧固定安装有套在进气管外侧与放置槽内壁右侧贴合的橡胶密封圈。
9.优选的，所述检测机底部左右两侧均固定安装有数量为两个的支撑腿，左右两侧支撑腿呈对称分布。
10.优选的，所述放置空腔内壁左右两侧均连通有开设在放置块上的滑槽，移动板左
右两侧均延伸至滑槽内部。
11.优选的，所述放置空腔内壁前后两侧均固定安装有轴承，活动杆通过轴承与放置空腔内侧壁转动连接。
12.优选的，上下两个所述支撑块相背一侧均固定安装有按压防护垫，活动杆外侧为光滑设计。
13.（三）有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种镀膜机的真空度检测装置，具备以下有益效果：
15.该镀膜机的真空度检测装置，通过设置按压防护垫，工作人员推动按压防护垫使上下两个活动杆相向移动，带动连接杆偏转进而拉动转动杆绕活动轴摆动，从而转动杆拉动推动杆使上下两个移动板相背移动，带动上下两个卡合块分别与上下两个卡合槽分离，即可方便工作人员将进气管与检测机的拆除，实现了方便安装拆卸目的。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型图1中a部的放大图。
18.图中：1检测机、2出气管、3放置块、4放置槽、5放置空腔、6进气管、7固定块、8卡合槽、9移动板、10卡合块、11活动轴、12转动杆、13推动杆、14活动杆、15支撑块、16弹簧、17连接杆。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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2，一种镀膜机的真空度检测装置，包括测量机1，测量机1右侧固定安装有出气管2，测量机1左侧固定安装有放置块3，检测机1底部左右两侧均固定安装有数量为两个的支撑腿，左右两侧支撑腿呈对称分布，放置块3左侧开设有放置槽4，放置槽4内壁上下两侧均连通有开设在放置块3上的放置空腔5，测量机1左侧活动安装有穿过放置槽4并延伸至放置块3左侧的进气管6，进气管6外侧固定安装有延伸至放置槽4内部的固定块7，固定块7右侧固定安装有套在进气管6外侧与放置槽4内壁右侧贴合的橡胶密封圈，固定块7顶部与底部均开设有卡合槽8，放置空腔5内壁左右两侧之间活动安装有移动板9，放置空腔5内壁左右两侧均连通有开设在放置块3上的滑槽，移动板9左右两侧均延伸至滑槽内部，上下两个移动板9相对一侧均固定安装有穿过放置空腔5并延伸至卡合槽8内部的卡合块10，放置空腔5内壁前后两侧之间活动安装有活动轴11，放置空腔5内壁前后两侧均固定安装有轴承，活动杆11通过轴承与放置空腔5内侧壁转动连接，活动轴11外侧活动安装有转动杆12，转动杆12左侧活动安装有与移动板9活动连接的推动杆13，放置块3上下两侧均活动安装有延伸至放置空腔5内部的活动杆14，上下两个活动杆14相背一侧均固定安装有支撑块15，上下两个支撑块15相背一侧均固定安装有按压防护垫，活动杆14外侧为光滑设计，上下
两个支撑块15相对一侧均固定安装有套在活动杆14外侧并与放置块3固定连接的弹簧16，活动杆14位于放置空腔5内部一端左侧活动安装有与转动杆12活动连接的连接杆17，通过设置按压防护垫，工作人员推动按压防护垫使上下两个活动杆14相向移动，带动连接杆17偏转进而拉动转动杆12绕活动轴11摆动，从而转动杆12拉动推动杆13使上下两个移动板9相背移动，带动上下两个卡合块10分别与上下两个卡合槽8分离，即可方便工作人员将进气管6与检测机1的拆除，实现了方便安装拆卸目的。
21.综上所述，该镀膜机的真空度检测装置，通过设置按压防护垫，工作人员推动按压防护垫使上下两个活动杆14相向移动，带动连接杆17偏转进而拉动转动杆12绕活动轴11摆动，从而转动杆12拉动推动杆13使上下两个移动板9相背移动，带动上下两个卡合块10分别与上下两个卡合槽8分离，即可方便工作人员将进气管6与检测机1的拆除，实现了方便安装拆卸目的，解决了现有的真空度检测装置在与镀膜机进行抽真空管道连接时较为复杂，由于不具备方便拆卸结构，工作人员需要使用外置工具进行拆装，使得测量效率低下的问题。
22.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。