一种压力传感器泄漏测试装置的制作方法

1.本实用新型属于传感器测试技术领域，尤其涉及一种压力传感器泄漏测试装置。


背景技术：

2.压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，广泛应用于汽车、交通运输、智能建筑、机械设备、生产自控等众多行业。在压力传感器的封装过程中，需要确认其封装的密封性，以免在应用过程中被测压力介质经由传感器本体发生泄漏。泄漏测试时将传感器的压力介质接口通过密封螺纹或密封圈安装到标准氦质谱检测仪的测量接口，从而在传感器的压力介质接口和氦质谱仪的测量接口之间形成一个对外界密封的空间。氦质谱仪内置的真空泵会通过测量接口制造负压，使对外界密封空间处于负压状态。在测试过程中，在传感器外部四周“喷淋”氦气。如果传感器本身不密封，由于负压状态，外部的氦气会被吸入到氦质谱仪中。如果氦质谱仪探测到氦元素，就证明传感器发生了泄漏；反之，就证明传感器封装良好，并未发生泄漏,目前的压力传感器泄漏测试，通常利用标准氦质谱检测仪，通过手工装载被测产品，单件检测产品装载时间长，测试时间也长，故而效率低下，导致泄漏测试工位成为整个压力传感器制造过程中的“瓶颈”工位。因此，需要一种快速装载压力传感器、提高测试效率的一种压力传感器泄漏测试装置去解决这一缺陷。


技术实现要素：

3.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种压力传感器泄漏测试装置，具有快速装载压力传感器、提高测试效率有益效果。
4.本实用新型采用的技术方案如下：一种压力传感器泄漏测试装置，包括台架组件、氦气管道、氦质谱检测仪、氦气控制组件、氦气源、真空管道和真空泵，所述氦气管道一端设于氦气源上，所述台架组件设于氦气管道另一端、所述氦气控制组件设于氦气管道上，所述真空管道一端设于台架组件上，所述真空泵设于真空管道另一端，所述氦质谱检测仪设于真空管道上，所述台架组件包括氦气加压室、真空室、隔板、密封气囊、加压管道和加压泵，所述氦气加压室设于氦气管道上，所述真空室设于真空管道上，所述隔板设于氦气加压室与真空室之间，所述隔板之间设有开口，所述密封气囊设于开口内，所述加压管道一端设于密封气囊上，所述加压泵设于加压管道另一端上。
5.进一步地，所述氦气控制组件包括氦气电磁阀、流量计和缓冲罐，所述流量计设于氦气管道上，所述氦气电磁阀设于氦气管道上，所述氦气电磁阀设于流量计与氦气源之间，所述缓冲罐设于氦气管道上，所述缓冲罐设于氦气加压室与流量计之间。
6.进一步地，所述真空管道上设有真空电磁阀，所述真空电磁阀设于氦质谱检测仪与真空泵之间。
7.进一步地，所述加压管道上设有加压电磁阀和加压压力表，所述加压压力表设于加压电磁阀与加压气囊之间。
8.进一步地，所述氦气加压室上设有安全阀和氦气压力表。
9.进一步地，所述真空室上设有真空表。
10.进一步地，所述氦气压力表与氦气电磁阀建立电性连接，所述加压压力表与加压电磁阀建立电性连接。
11.采用上述结构后，本实用新型有益效果如下：本实用新型一种压力传感器泄漏测试装置，氦气控制组件的设置实现了进入氦气加压室内的氦气压力平稳，防止压力变化过大对测试结果产生影响，密封气囊的设置实现了对待测试压力传感器进行气囊密封，缩短了装载时间，提高了装载效率。
附图说明
12.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
13.图1为本实用新型一种压力传感器泄漏测试装置的整体结构示意图；
14.图2为本实用新型一种压力传感器泄漏测试装置的台架组件结构示意图。
15.在附图中：1、台架组件，2、氦气管道，3、氦质谱检测仪，4、氦气控制组件，5、氦气源，6、真空管道，7、真空泵，8、氦气加压室，9、真空室，10、隔板，11、密封气囊，12、加压管道，13、加压泵，14、开口，15、氦气电磁阀，16、流量计，17、缓冲罐，18、真空电磁阀，19、加压电磁阀，20、加压压力表，21、安全阀，22、氦气压力表，23、真空表。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
18.如图1
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2所示，一种压力传感器泄漏测试装置，包括台架组件1、氦气管道2、氦质谱检测仪3、氦气控制组件4、氦气源5、真空管道6和真空泵7，所述氦气管道2一端设于氦气源5上，所述台架组件1设于氦气管道2另一端、所述氦气控制组件4设于氦气管道2上，所述真空管道6一端设于台架组件1上，所述真空泵7设于真空管道6另一端，所述氦质谱检测仪3设于真空管道6上，所述台架组件1包括氦气加压室8、真空室9、隔板10、密封气囊11、加压管道12和加压泵13，所述氦气加压室8设于氦气管道2上，所述真空室9设于真空管道6上，所述隔板10设于氦气加压室8与真空室9之间，所述隔板10之间设有开口14，所述密封气囊11设于开口14内，所述加压管道12一端设于密封气囊11上，所述加压泵13设于加压管道12另一端上。
19.其中，所述氦气控制组件4包括氦气电磁阀15、流量计16和缓冲罐17，所述流量计16设于氦气管道2上，所述氦气电磁阀15设于氦气管道2上，所述氦气电磁阀15设于流量计
16与氦气源5之间，所述缓冲罐17设于氦气管道2上，所述缓冲罐17设于氦气加压室8与流量计16之间。
20.所述真空管道6上设有真空电磁阀18，所述真空电磁阀18设于氦质谱检测仪3与真空泵7之间。
21.所述加压管道12上设有加压电磁阀19和加压压力表20，所述加压压力表20设于加压电磁阀19与加压气囊之间。
22.所述氦气加压室8上设有安全阀21和氦气压力表22。
23.所述真空室9上设有真空表23。
24.所述氦气压力表22与氦气电磁阀15建立电性连接，所述加压压力表20与加压电磁阀19建立电性连接。
25.具体使用时，将待测试压力传感器放置于密封气囊11内，启动加压泵13，加压空气通过加压管道12输送至密封气囊11，进而加压电磁阀19通过加压压力表20控制进入密封气囊11内的空气压力，进而保证密封气囊11与待测试压力传感器之间密封性，氦气源5对氦气加压室8进行加压，安全阀21防止氦气加压室8压力过高，缓冲罐17对进入氦气加压室8内氦气进行压力缓冲，氦气电磁阀15通过氦气压力表22控制氦气量，真空泵7对真空室9进行抽真空，氦质谱检测仪3对抽真空气体进行氦气监测。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。