一种平面度测量装置的制作方法

1.本实用新型涉及测量技术领域，尤其涉及一种平面度测量装置。


背景技术：

2.平面度是指基片具有宏观回凸高度相对理想平面的偏差，平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。
3.目前常见的平面度测量方法是通过人工使用量具对工件进行多面检测，其测量精准度低，劳动强度大。现有技术中也有采用平面度测量设备对工件进行测量，但这种测量设备大都采用单测头测量，其测量速度慢，工作效率低。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种平面度测量装置，可实现高精度测量，且测量效率高。
5.本实用新型提供一种平面度测量装置，其特征在于，包括：
6.基座，其具有用于对待测量工件进行定位的定位机构；
7.测量机构，其具有支架和沿所述支架长度方向滑动设置的测量单元，所述支架设于所述基座上且可沿所述基座宽度方向移动，所述测量单元设有两个或两个以上且位于待测量工件的上方，用于测量待测量工件的平面度。
8.优选地，所述基座上设置有第一滑轨，所述第一滑轨沿所述基座宽度方向设置，所述支架上设置有与所述第一滑轨滑动配合的第一滑块。
9.优选地，还包括用于驱动所述第一滑块移动的第一驱动机构，所述第一驱动机构设于所述基座或所述第一滑轨上。
10.优选地，所述支架上设置有第二滑轨和与所述第二滑轨滑动连接的第二滑块，所述第二滑块与所述测量单元连接。
11.优选地，还包括用于驱动所述第二滑块滑动的第二驱动机构，所述第二驱动机构设置于所述支架上。
12.优选地，所述第二驱动机构包括：
13.驱动电机，设于所述支架上，所述驱动电机的输出端设有第一齿轮；
14.第二齿轮，设于所述第二滑块上，与所述第一齿轮啮合。
15.优选地，所述测量机构还包括设于所述支架上的位置传感器，所述位置传感器用于检测所述测量单元的位置。
16.优选地，所述定位机构包括：
17.底板；
18.支撑件，设于所述底板上，用于支撑在待测量工件底部；
19.定位件，设于所述底板上，用于对待测量工件进行定位。
20.优选地，还包括工作台，所述基座设于所述工作台上。
21.优选地，还包括用于控制所述测量机构动作的控制单元，所述控制单元设于所述工作台上方。
22.本实用新型提供的一种平面度测量装置，通过在支架上设置多个测量单元，可同时对工件表面的多个点进行测量，有效提高了作业效率，并通过将支架与基座滑动连接，将测量单元与支架滑动连接，使用时可控制测量单元相对于工件的长度方向和宽度方向移动，以实现对工件全方位的检测，不仅操作简单、方便，且测量精度高。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型实施方式的平面度测量装置立体结构示意图；
25.图2为本实用新型实施方式的平面度测量装置立体结构示意图(除去工作台)；
26.图3为本实用新型实施方式的平面度测量装置中基座立体结构示意图；
27.图4为本实用新型实施方式的平面度测量装置中定位机构立体结构示意图；
28.图5为本实用新型实施方式的平面度测量装置中测量机构立体结构示意图；
29.图6为本实用新型实施方式的平面度测量装置中测量机构内部结构示意图；
30.图7为本实用新型实施方式的平面度测量装置中第二驱动机构与第二滑块及测量单元连接结构示意图。
31.附图标记
32.1-基座；2-测量机构；3-工作台；4-控制单元；11-定位机构；12-第一滑轨；21-支架；22-测量单元；23-第一滑块；24-位置传感器；111-底板；112-支撑件；113-定位件；211-第二滑轨；212-第二滑块；213-第二驱动机构；2131-驱动电机；2132-第二齿轮。
具体实施方式
33.为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。
34.应注意到：相似的标号在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
36.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构
一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
37.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.如图1-7所示，本实施方式提供的一种平面度测量装置，包括：
39.基座1，其具有用于对待测量工件进行定位的定位机构11；
40.测量机构2，其具有支架21和沿支架21长度方向滑动设置的测量单元22，支架21设于基座1上且可沿基座1宽度方向移动，测量单元22设有两个或两个以上且位于待测量工件的上方，用于测量待测量工件的平面度。
41.本实施方式的基座1主要用于承载待测量工件，以及用于安装测量机构2。基座1可以安装于作业平台上，或者安装在地面上。
42.参见图3-图4所示，基座1可以包括底座和设于底座上的定位机构11，定位机构11可以包括底板111、支撑件112和定位件113，底板111可以通过螺栓固定于底座上，支撑件112可以是设置在底板111上的多个支撑柱，用于支撑于待测量工件的底部，定位件113可以是沿底板111长度方向和宽度方向设置的两块定位板，两块定位板分别抵接于待测量工件相邻的两个侧边，以对待测量工件进行定位。
43.本实施方式的测量机构2用于对工件进行平面度测量，测量机构2包括支架21和设置于支架21上的多个测量单元22。
44.支架21设置于基座1上。具体地，在基座1上设置有第一滑轨12，第一滑轨12沿基座1宽度方向设置，第一滑轨12可以分别设于定位机构11的左右两侧，支架21包括有支板，在支板底部设置有与第一滑轨12滑动配合的第一滑块23，通过第一滑块23带动支架21及测量单元22沿基座1的宽度方向移动，以对待测量工件宽度方向的各点进行平面度测量。当然，为方便控制第一滑块23动作，可以在基座1或第一滑轨12端部设有用于驱动第一滑块23移动的第一驱动机构，第一驱动机构可以是电动推杆或者各种形式的缸体，在本实施方式中，第一驱动机构可以包括固定于第一滑轨12端部的丝杆电机，丝杆电机上的丝杆与第一滑块23螺纹连接，通过丝杆电机驱动第一滑块23带动支架21及测量单元22沿基座1的宽度方向移动。
45.同理，在支架21上部设置有第二滑轨211和与第二滑轨211滑动连接的第二滑块212，第二滑轨211沿支架21长度方向设置，为便于分别控制各测量单元22移动，第二滑块212的数量与测量单元22的数量相同，测量单元22一端可以通过螺栓固定于第二滑块212的侧边，另一端向下延伸靠近待测量工件，通过第二滑块212可带动测量单元22沿支架21长度方向移动，以对待测量工件长度方向的各点进行平面度的测量。为方便控制第二滑块212动作，可以在支架21上设有用于驱动第二滑块212滑动的第二驱动机构213，第二驱动机构213可以是电动推杆或者各种形式的缸体，在本实施方式中，第二驱动机构213包括驱动电机2131和第二齿轮2132，驱动电机2131可以通过螺栓固定于支架21上，驱动电机2131的输出端设有第一齿轮，第二齿轮2132可以固定于第二滑块212上并与第一齿轮啮合，通过驱动电机2131驱动齿轮动作，进而使第二滑块212带动测量单元22沿支架21的长度方向移动。
46.测量单元22可以设为激光传感器，其可沿支架21长度方向并列设置多个，通过设置多个测量单元22可同时对工件多个点进行测量，可有效提高测量速度，节省测量时间。
47.请参见图5所示，支架21还可以包括设于支板上方的罩体，通过罩体可对安装于支架21上的测量单元22进行保护，避免因外界碰撞或灰尘落入，对测量单元22造成损伤，进而影响测量精度。
48.其中，测量机构2还可以包括用于检测测量单元22所在位置的位置传感器24，位置传感器24可以固定于支架21底部，且位于相邻两个测量单元22之间及多个测量单元22的两端，位置传感器24可以是接近式传感器，用于感知各测量单元2移动的距离并输出相应开关信号，通过设置位置传感器24可精准控制各测量单元2移动的距离，以确保对工件整个表面的平面度进行测量，提高了测量精度，同时也能够避免多个测量单元22在移动过程中发生碰撞。
49.为便于测量人员作业，该平面度测量装置还可以包括工作台3，工作台3可以是与人们身高相适配的柜体，基座1设于工作台3上，工作台3底部四角可以设置行走轮，以便于将该平面度测量装置移动至不同的工作场地。
50.进一步地，该平面度测量装置还可以包括用于控制测量机构2动作的控制单元4，控制单元4设于工作台3上方，控制单元4可以包括与第一驱动机构、第二驱动机构连接的主控制单元以及与测量单元22连接的数据处理模块，主控制单元用于控制第一驱动机构和第二驱动机构动作，数据处理模块用于接收测量单元22测量的数据并进行处理保存，然后通过数据显示模块将测量结构显示出来。
51.本实施方式的工作原理如下：
52.使用时，将待测量的工件放置在定位机构11上，调节测量机构2纵向移动至工件的前端，控制各测量单元22横向移动，对待测量工件长度方向的各点进行平面度测量，控制测量机构2沿基座1纵向移动一定的距离，再控制各测量单元22横向移动，继续对工件进行测量，依次重复上述步骤，直至完成对工件整体平面度的测量。
53.可见，本实用新型提供的一种平面度测量装置，通过在支架上设置多个测量单元，可同时对工件表面的多个点进行测量，有效提高了作业效率，并通过将支架与基座滑动连接，将测量单元与支架滑动连接，使用时可控制测量单元相对于工件的长度方向和宽度方向移动，以实现对工件全方位的检测，不仅操作简单、方便，且测量精度高。
54.需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
55.本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。