一种蒸镀原料加热设备测试炉的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀设备的蒸发源检测技术领域，尤其涉及一种蒸镀原料加热设备测试炉。


背景技术：

2.目前，蒸镀工艺被广泛应用于电子器件的镀膜生产过程中，其原理是将待成膜的原材料放置于真空环境中，将原材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的原材料凝结沉积在待成膜的基板表面而完成镀膜。用于加热原材料的蒸镀原料加热设备(即蒸发源)是蒸镀设备上最重要的部件之一，蒸发源通过设置在其底部的装配法兰盘安装在蒸镀设备上，其性能决定了蒸镀设备的性能。蒸发源装配前需进行密闭及温度性能测试，蒸发源根据加热材料的需求，设置有多种尺寸规格，现有的测试设备大都只能对一种规格的蒸发源进行性能测试，适用性不足。


技术实现要素：

3.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可对各种尺寸规格的蒸发源进行性能测试，适用性高，有效降低了测试成本的蒸镀原料加热设备测试炉。
4.本实用新型提供的一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括支架、炉体、承接法兰盘、抽真空泵和控制柜；其中；
5.所述炉体，固定设置于所述支架上，其底部敞开，所述炉体的底端外周上固定设置有安装法兰盘；
6.所述承接法兰盘，设置有多片，各片所述承接法兰盘的外径尺寸相同，各片所述承接法兰盘上分别设置有尺寸不同的法兰接口，所述承接法兰盘通过第一螺栓与所述安装法兰盘固定连接，所述法兰接口的底面沿周向均布有若干第二螺栓；
7.所述抽真空泵，通过高压管路与所述炉体的侧壁连通设置；
8.所述控制柜，与所述抽真空泵相连接，所述控制柜上安装有与所述抽真空泵相连接的真空计。
9.进一步的，所述炉体的顶部连通的设置有泄压阀。
10.进一步的，所述炉体的侧壁上连通的设置有压力表。
11.进一步的，所述安装法兰盘与承接法兰盘之间设置有密封圈。
12.相对于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型的测试炉包括多片设置有不同尺寸法兰接口的承接法兰盘，根据待检测的蒸发源的尺寸规格，将与之相匹配的承接法兰盘固定安装在炉体的底部，然后将蒸发源经底部的法兰接口插入炉体内，将蒸发源上的装配法兰盘与法兰接口固定安装。蒸发源安装完成后，将其与控制柜相连，通过控制柜给蒸发源供电，控制蒸发源加热至预设温度值，查看蒸发源的温度性能；同时，启动抽真空泵对炉体内进行抽真空，查看蒸发源的密封性能。本技术的测试炉通过一套设备实现了对多种尺寸规格的蒸发源的性能测试，操作简
便，适用性高，有效的降低了蒸发源的测试成本。
14.应当理解，实用新型内容部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本实用新型的范围。
15.本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
16.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
17.图1为测试炉的结构示意图；
18.图2为蒸发源的结构示意图；
19.图3为蒸发源安装于测试炉的结构示意图。
20.图中标号：11、支架；12、炉体；13、承接法兰盘；14、抽真空泵；15、蒸发源；
21.21、安装法兰盘；22、泄压阀；23、压力表；24、密封圈；
22.31、法兰接口；32、第一螺栓；33、第二螺栓；
23.41、高压管路；
24.51、装配法兰盘。
具体实施方式
25.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。
26.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
27.请参考图1～图3，本实用新型的实施例提供了一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括支架11、炉体12、承接法兰盘13、抽真空泵14和控制柜；其中；
28.炉体12，固定设置于支架11上，其底部敞开，炉体12的底端外周上固定设置有安装法兰盘21；
29.承接法兰盘13，设置有多片，各片承接法兰盘13的外径尺寸相同，各片承接法兰盘13上分别设置有尺寸不同的法兰接口31，承接法兰盘13通过第一螺栓32与安装法兰盘21固定连接，法兰接口31的底面沿周向均布有若干第二螺栓33；
30.抽真空泵14，通过高压管路41与炉体12的侧壁连通设置；
31.控制柜，与抽真空泵14相连接，控制柜上安装有与抽真空泵14相连接的真空计。
32.在本实施例中，炉体12安装在支架11上，距地面的距离不小于80cm，留有足够的空间方便炉体12底部构件的安装与拆卸。
33.进行蒸发源15的测试时，根据待测试批次的蒸发源15的规格尺寸，选取与之相匹配的承接法兰盘13，将其固定安装在炉体12的底部。然后安装待检测的蒸发源进行检测。
34.通过控制柜启动抽真空泵14对炉体12内进行抽真空。抽真空泵14保持在预设的功率下运行，通过控制柜上的真空计查看炉体12内压力值，看其在预设时间内是否能够达到10-4
pa的压力值，能则认定该蒸发源15的密闭性能测试合格；
35.炉体12内抽真空后，通过控制柜控制蒸发源15加热至预设温度值，达到预设时长后，观察蒸发源15是否有变色、变形等情况，无上述情况则认定该蒸发源15的温度性能测试合格。
36.完成一个批次的蒸发源15测试后，进行另一批次的蒸发源15测试时，更换对应的承接法兰盘13即可。本技术的测试炉通过一套设备实现了对多种尺寸规格的蒸发源的性能测试，操作简便，适用性高，有效的降低了蒸发源的测试成本。
37.在一优选实施例中，如图1所示，炉体12的顶部连通的设置有泄压阀22，蒸发源15的性能测试完成后，通过泄压阀22调节炉体12内的压力值，恢复至常压状态后，拆除蒸发源15，完成测试。
38.在一优选实施例中，如图1所示，炉体12的侧壁上连通的设置有压力表23，炉体12泄压过程中，通过压力表23可方便测试人员获悉炉体12内的压力变化。
39.在一优选实施例中，如图1所示，安装法兰盘21与承接法兰盘13之间设置有密封圈24，确保了安装法兰盘21与承接法兰盘13之间的密封性。
40.在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
41.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
42.以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。