一种用于晶圆级探针卡的高速模块及使用该模块的探针卡的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆生产检测技术领域，尤其涉及一种用于晶圆级探针卡的高速模块及使用该模块的探针卡。


背景技术：

2.随着电子产品渐趋高速运行的需求，电子产品内部的集成电路元件在晶圆测试时，测试用的探针卡需针对个别电子元件的测试特性而在探针卡电路板上设计有能配合其操作条件的高速测试电路，以对集成电路晶圆进行完整的测试，确保产品质量，然而，探针卡制造商普遍可快速量产制作的测试公板仅适用于一般中、低频段的讯号传输测试，除非所有传输结构完全针对特定的高频测试条件而设计，包括顾及高频测试中特定的讯号传输阻抗或特定的传输路径等条件，否则以测试公板组装的探针卡通常无法提供为混合有一般中、低频段及高频测试需求的待测物所用。
3.用于高频测试的高速模块与探针焊接的部分必须有一定的高度与角度以利焊接作业或衔接探针，而为调整高速模块探针焊接部分的高度与角度，往往需在该高速模块与该电路基板之间多次填充快干胶，以获得所需的高度及角度，此种调整方式可谓相当不便，为此，提出一种用于晶圆级探针卡的高速模块及使用该模块的探针卡。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于晶圆级探针卡的高速模块及使用该模块的探针卡。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于晶圆级探针卡的高速模块，包括高速模块主体，所述高速模块主体包括柔性pcb板前段和柔性pcb板后段，所述柔性pcb板前段和柔性pcb板后段上分别设有高频信号连接部一和高频信号连接部二，所述柔性pcb板后段上设有架设安装高速模块主体的架设组件，所述架设组件包括有对高速模块主体进行定位的凹形框和压板，所述压板内转动安装有调整高速模块主体安装角度的夹板一和夹板二，所述高速模块主体位于夹板一和夹板二之间。
6.优选的，所述凹形框远离压板的一侧固定安装有两个绝缘座。
7.优选的，所述压板内设有四个连杆一，所述四个连杆一均与夹板一和夹板二转动连接在一起，相邻的两个连杆一之间转动安装有同一个连杆二，所述连杆二的中心处固定安装有转轴，所述转轴和压板转动连接在一起。
8.优选的，所述凹形框上设有螺栓，所述螺栓贯穿凹形框并和凹形框螺纹连接在一起。
9.优选的，所述夹板二远离夹板一的一侧固定安装有四个呈矩形分布的阻尼杆，四个阻尼杆均和凹形框活动连接在一起。
10.优选的，所述夹板一和夹板二相互靠近的一侧均均匀的分布的防滑颗粒凸起。
11.一种探针卡，适用于上述任意一条所述的一种用于晶圆级探针卡的高速模块，包
括有电路基板，所述电路基板包括上表面和下表面，所述电路基板上开设有安装孔，所述高速模块主体贯穿安装孔，且柔性pcb板前段和电路基板的上表面固定连接在一起，所述压板远离凹形框的一侧电路基板的下表面固定连接在一起，所述电路基板上固定安装有多个呈环形分布并贯穿电路基板的测试探针，所述高频信号连接部二和相邻的测试探针连接在一起。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在对高速模块主体上高频信号连接部二的安装角度进行调整的时候，可以拧转螺栓，螺栓与夹板二接触之后将带动着夹板二发生偏转，通过四个连杆一的联动，夹板一将于夹板二同步发生偏转，原本固定在夹板一和夹板二之间的高频信号连接部二也会出现偏转，使得夹板二和电路基板之间的间距发生变化，确保高频信号连接部二始终能与不同的测试探针接触在一起，确保连接的稳定效果；而当高速模块主体出现损坏或故障的时候，可以直接将高频信号连接部二从夹板一与夹板二之间抽出，之后再将高速模块主体从安装孔内抽出，然后反向重复上述步骤，便可以将新的高速模块主体和电路基板连接在一起。
13.本实用新型能够通过可偏转的夹板一与夹板一对高速模块的安装高度和角度进行调整，确保高速模块和不同形态下的探针电性衔接在一起，适用于不同高频状态下的测试工作。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型中架设组件和电路基板的整体结构示意图；
16.图3为本实用新型中架设组件的爆炸图；
17.图4为图3中a部分的放大结构示意图；
18.图5为本实用新型中电路基板的侧剖图；
19.图6为本实用新型的局部剖视图。
20.图中：1、高速模块主体；11、柔性pcb板前段；12、柔性pcb板后段；13、高频信号连接部一；14、高频信号连接部二；2、架设组件；21、凹形框；22、压板；23、夹板一；24、夹板二；25、阻尼杆；26、绝缘座；27、螺栓；28、连杆一；29、连杆二；210、转轴；3、电路基板；31、安装孔；32、测试探针。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参照图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆级探针卡的高速模块，包括高速模块主体1，高速模块主体1包括柔性pcb板前段11和柔性pcb板后段12，柔性pcb板前段11和柔性pcb板后段12上分别设有高频信号连接部一13和高频信号连接部二14，柔性pcb板后段12上设有架设安装高速模块主体1的架设组件2，架设组件2包括有对高速模块主体1进行定位的凹形框21和压板22，压板22内转动安装有调整高速模块主体1安装角度
的夹板一23和夹板二24，高速模块主体1位于夹板一23和夹板二24之间。
23.凹形框21远离压板22的一侧固定安装有两个绝缘座26。
24.具体的，两个绝缘座26能够在凹形框21和待检测的元器件之间起到柔性连接的作用，能够对待检测的元器件起到保护作用。
25.压板22内设有四个连杆一28，四个连杆一28均与夹板一23和夹板二24转动连接在一起，相邻的两个连杆一28之间转动安装有同一个连杆二29，连杆二29的中心处固定安装有转轴210，转轴210和压板22转动连接在一起。
26.具体的，同一个连杆二29上的两个连杆一28均能够同步移以转轴210为圆心进行转动，使得夹板一23和夹板二24能够同步偏转，对于固定在夹板一23和夹板二24之间的高频信号连接部二14安装角度进行调整。
27.凹形框21上设有螺栓27，螺栓27贯穿凹形框21并和凹形框21螺纹连接在一起。
28.具体的，通过拧转螺栓27，能够带动夹板二24发生偏转，从而调整夹板一23和夹板二24之间高频信号连接部二14的倾斜角度。
29.夹板二24远离夹板一23的一侧固定安装有四个呈矩形分布的阻尼杆25，四个阻尼杆25均和凹形框21活动连接在一起。
30.具体的，四个矩形分布的阻尼杆25能够确保凹形框21始终抵住夹板二24，能够防止夹板二24出现晃动和偏转的情况。
31.夹板一23和夹板二24相互靠近的一侧均均匀的分布的防滑颗粒凸起。
32.具体的，防滑颗粒凸起能够增大高频信号连接部二14与夹板一23和夹板二24之间的摩擦，确保高频信号连接部二14能够稳稳的固定在夹板一23和夹板二24之间。
33.一种探针卡，适用于上述任意一条的一种用于晶圆级探针卡的高速模块，包括有电路基板3，电路基板3包括上表面和下表面，电路基板3上开设有安装孔31，高速模块主体1贯穿安装孔31，且柔性pcb板前段11和电路基板3的上表面固定连接在一起，压板22远离凹形框21的一侧电路基板3的下表面固定连接在一起，电路基板3上固定安装有多个呈环形分布并贯穿电路基板3的测试探针32，高频信号连接部二14和相邻的测试探针32连接在一起。
34.工作原理：在对高速模块主体1上高频信号连接部二14的安装角度进行调整的时候，可以拧转螺栓27，螺栓27与夹板二24接触之后将带动着夹板二24发生偏转，通过四个连杆一28的联动，夹板一23将于夹板二24同步发生偏转，原本固定在夹板一23和夹板二24之间的高频信号连接部二14也会出现偏转，使得夹板二24和电路基板3之间的间距发生变化，确保高频信号连接部二14始终能与不同的测试探针32接触在一起，确保连接的稳定效果；而当高速模块主体1出现损坏或故障的时候，可以直接将高频信号连接部二14从夹板一23与夹板二24之间抽出，之后再将高速模块主体1从安装孔31内抽出，然后反向重复上述步骤，便可以将新的高速模块主体1和电路基板3连接在一起。
35.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。