供液装置的制作方法

1.本实用新型涉及供液技术领域，尤其涉及一种供液装置。


背景技术：

2.一般湿法设备会用到指定温度、指定组份、指定浓度的单一药液或混合液，而化学品来源一般不满足设备要求，需要设备内部使用容器对来源化学品进行处理后，泵送供给到工艺处理单元进行喷洒。
3.泵送供给可以实现液体的输送，但是很难保证输出液体压力、流量的稳定性。一旦增压泵产生压力波动，或者泵送输出端流量产生大幅变化，很难实现化学品在工艺供给单元喷洒的流量稳定性。
4.因此，有必要提供一种新型的供液装置以解决现有技术中存在的上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种供液装置，保证供液流量的稳定性。
6.为实现上述目的，本实用新型的所述供液装置，包括储液单元、泵送单元、输送管路、至少两个分流单元、回流管路和流量调节单元，所述储液单元用于储存溶液，所述泵送单元连接所述储液单元和所述输送管路，所述泵送单元用于将所述储液单元内的溶液输送到所述输送管路内，所述分流单元与所述输送管路连接，所述分流单元用于将所述输送管路内的溶液分流输送到目标位置，所述回流管路连通所述输送管路和所述储液单元，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元，所述流量调节单元包括压力检测单元和第一流量调节子单元，所述压力检测单元用于检测所述输送管路内的压力，所述第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量。
7.所述供液装置的有益效果在于：所述回流管路连通所述输送管路和所述储液单元，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元，所述流量调节单元包括压力检测单元和第一流量调节子单元，所述压力检测单元用于检测所述输送管路内的压力，所述第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量，通过回流管与所述第一流量调节子单元的配合，能够调控所述输送管路内的液体压力及流量，避免所述输送管路内的药液流量受到泵送单元的影响，从而保证所述输送管路流向所述分流单元的流量稳定性。
8.可选地，所述分流单元包括分流支路和第二流量调节子单元，所述分流支路与所述输送管路连通，所述第二流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于调节所述分流支路内的液体流量。其有益效果在于：便于辅助调节分流支路内的液体流量。
9.可选地，所述分流单元还包括开关单元，所述开关单元设置于所述分流支路上，用于控制所述分流支路关断和导通，且所述第二流量调节子单元设置于所述输送管路与所述开关单元之间的分流支路上。其有益效果在于：便于关闭分流支路，减少对第二流量调节子
单元的控制。
10.可选地，所述分流单元还包括第三流量调节子单元，所述第三流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于辅助调节所述分流支路内的液体流量，且所述开关单元设置于所述第二流量调节子单元和所述第三流量调节子单元之间的分流支路上。
11.可选地，所述流量调节单元还包括第四流量调节子单元，所述第四流量调节子单元设置于所述输送管路上，用于调节所述输送管路内的液体流量。其有益效果在于：便于辅助所述第一流量调节子单元，更高的调控所述输送管路内的药液流量。
12.可选地，所述压力检测单元设置于所述第四流量调节子单元和所述回流管之间的输送管路上。
13.可选地，所述输送管路包括相互连接的主输送管路和接口管路，所述主输送管路的一端与所述泵送单元连接，所述接口管路上设有与至少一个接口，所述接口与所述分流单元一一对应连接。
14.可选地，所述供液装置还包括控制单元，与所述压力检测单元和所述第一流量调节子单元连接，用于通过所述压力检测单元检测到的压力，控制所述第一流量调节子单元。其有益效果在于：便于实现自动化控制。
附图说明
15.图1为本实用新型一些实施例中供液装置的结构框图；
16.图2为本实用新型又一些实施例中供液装置的结构框图；
17.图3为本实用新型一些实施例中输送管路的结构示意图。
具体实施方式
18.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
19.针对现有技术存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种供液装置。参照图1，所述供液装置100包括储液单元101、泵送单元102、输送管路103、至少两个分流单元104、回流管路105和流量调节单元106，所述流量调节单元106包括压力检测单元1061和第一流量调节子单元1062。
20.参照图1，所述储液单元101用于储存溶液，所述泵送单元102连接所述储液单元101和所述输送管路103，所述泵送单元102用于将所述储液单元101内的溶液输送到所述输送管路103内，所述分流单元104与所述输送管路103连接，所述分流单元104用于将所述输送管路103内的溶液分流输送到目标位置，所述回流管路105连通所述输送管路103和所述储液单元101，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元101，所述
压力检测单元1061用于检测所述输送管路103内的压力，所述第一流量调节子单元1062设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元1062用于调节所述回流管路105内的液体流量。具体地，所述第一流量调节子单元1062为流量调节阀。
21.一些实施例中，所述分流单元包括分流支路和第二流量调节子单元，所述分流支路与所述输送管路连通，所述第二流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于调节所述分流支路内的液体流量。具体地，所述第二流量调节子单元为流量调节阀。
22.一些实施例中，所述分流单元还包括开关单元，所述开关单元设置于所述分流支路上，用于控制所述分流支路关断和导通，且所述第二流量调节子单元设置于所述输送管路与所述开关单元之间的分流支路上。
23.一些实施例中，所述分流单元还包括第三流量调节子单元，所述第三流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于辅助调节所述分流支路内的液体流量，且所述开关单元设置于所述第二流量调节子单元和所述第三流量调节子单元之间的分流支路上。具体地，所述第三流量调节子单元为流量调节阀。
24.图2为本实用新型又一些实施例中供液装置的结构框图。图2与图1的区别在于：所述流量调节单元106还包括第四流量调节子单元1062，所述第四流量调节子单元1062设置于所述输送管路103上，用于调节所述输送管路103内的液体流量，所述压力检测单元1061设置于所述第四流量调节子单元1062和所述回流管105之间的输送管路103上。
25.图3为本实用新型一些实施例中输送管路的结构示意图。参照图3，所述输送管路103包括相互连接的主输送管路1031和接口管路1032，所述主输送管路1031的一端与所述泵送单元连接，所述接口管路1032上设有与至少一个接口1033，所述接口1033与所述分流单元一一对应连接。
26.一些实施例中，所述供液装置还包括控制单元，与所述压力检测单元和所述第一流量调节子单元连接，用于通过所述压力检测单元检测到的压力，控制所述第一流量调节子单元。具体地，所述控制单元为中央处理器(central processing unit，cpu)或微控制单元(microcontroller unit，mcu)。
27.虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。