技术特征：
1.一种校准装置，其特征在于，包括：位置校准件(1)，所述位置校准件(1)设置有多个，至少一个所述位置校准件(1)用于校准位于所述位置校准件(1)上方的探头(200)的探针，至少一个所述位置校准件(1)用于校准位于所述位置校准件(1)下方的所述探头(200)的探针；阻抗校准组件(2)，包括校准板(21)、设置在所述校准板(21)上的测量点(22)、以及电连接所述测量点(22)的校准件(23)，位于所述校准板(21)的上方或者下方的所述探头(200)能够抵接于所述测量点(22)。2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述校准板(21)具有上表面和下表面，所述上表面上设置有多个所述测量点(22)，所述下表面设置有多个所述测量点(22)。3.根据权利要求2所述的校准装置，其特征在于，所述阻抗校准组件(2)还包括射频连接器(24)，所述校准件(23)通过所述射频连接器(24)电连接所述测量点(22)，所述校准件(23)设置有多个，多个所述校准件(23)的阻抗值至少部分不同，每个所述射频连接器(24)电连接所述上表面的一个所述测量点(22)、所述下表面的一个所述测量点(22)、以及一个所述校准件(23)。4.根据权利要求3所述的校准装置，其特征在于，所述上表面设置有六个所述测量点(22)，所述下表面设置有六个所述测量点(22)，所述射频连接器(24)设置有六个，所述校准件(23)设置有六个。5.根据权利要求1-4任意一项所述的校准装置，其特征在于，所述校准件(23)沿垂直于所述校准板(21)的厚度方向的方向布置。6.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述位置校准件(1)包括玻璃板(11)和设于所述玻璃板(11)表面的刻度线(12)，至少一个所述位置校准件(1)的所述刻度线(12)朝向位于所述位置校准件(1)上方的所述探头(200)，至少一个所述位置校准件(1)的所述刻度线(12)朝向位于所述位置校准件(1)下方的所述探头(200)。7.根据权利要求6所述的校准装置，其特征在于，所述刻度线(12)包括横向刻度线和纵向刻度线，所述横向刻度线和所述纵向刻度线相互垂直。8.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述位置校准件(1)设置有两个，两个所述位置校准件(1)和所述阻抗校准组件(2)沿同一方向间隔分布。9.一种测试机，包括机体(100)和权利要求1-8任一项所述的校准装置，其特征在于，还包括多个探头(200)，多个所述探头(200)均活动设置在所述机体(100)上，且多个所述探头(200)位于不同平面，多个所述探头(200)能够分布在所述位置校准件(1)和所述阻抗校准组件(2)的上方和下方。10.根据权利要求9所述的测试机，其特征在于，所述机体(100)上设置有安装板(300)，所述位置校准件(1)和所述阻抗校准组件(2)可拆卸连接于所述安装板(300)。
技术总结
本实用新型属于校准技术领域，公开了一种校准装置及测试机，校准装置包括位置校准件和阻抗校准组件，位置校准件设置有多个，至少一个位置校准件用于校准位于位置校准件上方的探头的探针，至少一个位置校准件用于校准位于位置校准件下方的探头的探针；阻抗校准组件包括校准板、设置在校准板上的测量点、以及电连接测量点的校准件，位于校准板的上方或者下方的探头均能够抵接于测量点。设置有多个位置校准件，当需要校准位于位置校准件上方或者下方的探头时，将镜头与探头设置在位置校准件的同一侧，位置校准件测量探头的两个探针之间的间距，从而校准了探头。从而校准了探头。从而校准了探头。
技术研发人员：袁绩 常远
受保护的技术使用者：苏州维嘉科技股份有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/5/17