一种固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体工艺设备领域，具体涉及一种固定装置。


背景技术：

2.在半导体检测设备中，多轴精密运动平台已经成为不可或缺的关键设备之一，它作为检测设备的载体有着很高的精度要求，为了降低工作过程中震动的影响，往往需要对多轴精密运动平台进行减震处理；最为常见的一种减震方式就是在多轴精密运动平台的底部与检测设备主体（如设备基座）之间加装一定厚度的减震垫。在检测设备转运过程中，若遇到急刹车、道路颠簸、反复上下坡等状况时，减震垫不但需要承担多轴精密运动平台的所有重量，还要承担外部环境传递过来的震动或冲击载荷，从而很容易造成减震垫、甚至多轴精密运动平台受损。


技术实现要素：

3.本实用新型主要解决的技术问题是提供一种固定装置，以减小或消除设备转运过程中损坏部件的隐患。
4.一种实施例中提供一种固定装置，用于将第一设备以悬挂的方式固定于第二设备，所述固定装置包括：
5.限位件，包括相连的支承部和承载部；
6.第一固定件，装设于所述支承部，所述第一固定件用于以可拆卸的方式将所述支承部固定于第一设备；以及
7.第二固定件，装设于所述承载部，所述第二固定件用于以可拆卸的方式将所述承载部固定于第二设备。
8.一个实施例中，还包括定位连接件，所述定位连接件用于装设在第二设备内，所述第二固定件能够与所述定位连接件连接，以将所述承载部固定于第二设备。
9.一个实施例中，所述定位连接件包括：
10.主体部，用于以可拆卸的方式装设于第二设备内，所述第二固定件能够与所述主体部连接；以及
11.弹性部，具有相对的两端，所述弹性部的一端与所述主体部固定，所述弹性部的另一端用于抵接第二设备，以使得所述弹性部为所述第二固定件提供预紧力。
12.一个实施例中，所述第二固定件具有相对的第二螺纹端和第二限位端，所述第二固定件贯穿所述承载部设置，以使得所述第二螺纹端与所述第二限位端分别位于所述承载部的两侧；所述第二螺纹端用于螺接所述定位连接件，所述第二限位端用于将所述承载部压紧并固定于第二设备。
13.一个实施例中，所述第二固定件和所述定位连接件的数量为多个，所述第二固定件与所述定位连接件一一对位配合。
14.一个实施例中，所述第一固定件具有相对的第一螺纹端和第一限位端，所述第一
固定件贯穿所述支承部设置，以使得所述第一螺纹端与所述第一限位端分别位于所述支承部的两侧；所述第一螺纹端用于螺接第一设备，所述第一限位端用于将所述支承部压紧并固定于第一设备。
15.一个实施例中，还包括弹性垫圈，套置于所述第一固定件，并位于所述第一限位端与所述支承部之间；所述弹性垫圈用于在所述第一限位端与所述支承部的挤压作用下产生变形，以为所述第一固定件提供预紧力。
16.一个实施例中，所述限位件还包括限位部，所述限位部由所述支承部自所述承载部的一侧朝向所述承载部的另一侧延伸成型，所述限位部用于以被夹持的方式布置在第一设备与第二设备之间。
17.一个实施例中，所述限位件为一体式结构。
18.一种实施例中提供一种固定装置，用于将检测设备以悬挂的方式固定于设备型材外框架内，所述检测设备的外侧壁具有悬挂孔位，所述固定装置包括：
19.限位件，包括相连的支承部和承载部；
20.第一固定件，装设于所述支承部，所述第一固定件用于与所述悬挂孔位配合，所述第一固定件以可拆卸的方式将所述支承部固定于所述检测设备的外侧壁；以及
21.第二固定件，装设于所述承载部，所述第二固定件用于以可拆卸的方式将所述承载部固定于设备型材外框架。
22.依据上述实施例的固定装置，可用于将半导体检测设备中的多轴精密运动平台以悬挂的方式固定于设备型材外框架内，其包括限位件、第一固定件和第二固定件；其中，限位件包括相连的支承部和承载部，第一固定件装设于支承部，用于与多轴精密运动平台的悬挂孔位配合，以将支承部固定于多轴精密运动平台的纵向壁；第二固定件装设于承载部，用于将承载部固定于设备型材外框架的横向梁。利用限位件将多轴精密运动平台与设备型材外框架连为一体；一方面，在转运运输过程中，多轴精密运动平台的重量以及外部环境所产生的冲击载荷全部由设备型材外框架承担，可彻底消除损坏减震部件的隐患；另一方面，充分利用多轴精密运动平台和设备型材外框架本身的结构特点，无需在两者本体额外增设与固定装置配套的安装结构，即可对固定装置、设备型材外框架以及包含多轴精密运动平台在内的检测设备主体进行方便快捷的拆装。
附图说明
23.图1为一种实施例的固定装置在应用状态下的截面结构示意图。
24.图2为一种实施例的固定装置在应用状态下的立体结构示意图。
25.图3为一种实施例的固定装置中限位件的结构示意图。
26.图4为一种实施例的固定装置中定位连接件的结构示意图。
27.图5为一种实施例的固定装置中弹性垫圈的结构示意图。
28.图6为现有技术中的一种半导体检测设备的平面结构示意图。
29.图7为图6中半导体检测设备的内部主体部分的平面结构示意图。
具体实施方式
30.其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方
式中，很多细节描述是为了使得本技术能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本技术相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本技术的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。
31.另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式接合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。
32.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。
33.本技术实施例提供的一种固定装置，可用于将一个设备（定义为第一设备）以悬挂的方式与另一个设备（定义为第二设备）固定连接为一体，以在设备转运运输过程中，借助第二设备来承载第一设备的重量以及外部环境传递的冲击载荷，从而起到保护第一设备的作用。为更清楚详细地描述该固定装置的结构，下文主要以半导体检测设备中的多轴精密运动平台（即相当于第一设备）和设备型材外框架（即相当于第二设备）为例进行说明；但需要说明的是，多轴精密运动平台和设备型材外框架仅是该固定装置的一种具体应用，其还可应用到其他装备中。
34.请参阅图1、图6和图7，半导体检测设备通常包括多轴精密运动平台a、设备型材外框架b、设备基座c和减震装置d（如减震垫）；其中，多轴精密运动平台a通过减震装置d装设于设备基座c的上方，以共同组成半导体检测设备的内部主体部分，在半导体检测设备使用时，利用减震装置d来承担多轴精密运动平台a的重量以及工作载荷；而设备型材外框架b则作为检测设备的外部防护部分，罩设在内部主体部分的外侧，以为内部主体部分提供相对封闭的作业空间。同时，为便于对检测设备进行现场安装，通常在多轴精密运动平台a的纵向侧壁上设置有悬挂孔位a1；而为简化外围防护部分的结构，设备型材外框架b则大多采用多根金属型材按横向和纵向的方位关系组合搭建而成的框体结构，由于金属型材本身的结构特点，也使得设备型材外框架b的横向梁（当然，也包括纵向梁）内自然形成有或具有型材槽腔b1（请参阅图1）。
35.请参阅图1至图5并结合图6和图7，一种实施例提供的一种固定装置，包括限位件10、第一固定件20、第二固定件30和定位连接件40；下面分别说明。
36.请参阅图1、图2和图3，限位件10的整体轮廓形态大致为“t”字形的块状结构，其具有三个分支端部，为便于描述，根据限位件10应用时的功能状态，将三个分支端部分别定义为支承部11、承载部12和限位部13；其中，承载部12沿横向方向延伸分布，而支承部11和限位部13则沿纵向方向呈直线排布，并且分别位于承载部12的两侧；亦可理解为：限位部13是由支承部11自承载部12的一侧朝向承载部12的另一侧延伸成型的。在支承部11上沿横向方向贯通地设置有第一安装孔10a，当支承部11叠置紧贴多轴精密运动平台a的纵向壁时，该第一安装孔10a用于与多轴精密运动平台a上的悬挂孔位a1相对位；同时，在承载部12上则
沿纵向方向贯通地设置有第二安装孔10b，当承载部12叠置紧贴设备型材外框架b的横向梁的表面时，该第二安装孔10b用于与设备型材外框架b的横向梁上的型材槽腔b1相对位。
37.请参阅图1和图2，第一固定件20主要用于将支承部11以可拆卸的方式叠置固定在多轴精密运动平台a的纵向壁上。该第一固定件20采用螺栓结构，如内六角螺丝等，其具有相对的螺纹部分和螺帽部分；为便于描述，将第一固定件20的螺纹部分定义为第一螺纹端，将第一固定件20的螺帽部分定义为第一限位端；具体实施时，第一固定件20贯穿第一安装孔10a设置，借助第一安装孔10a与悬挂孔位a1之间的对位关系，使得第一螺纹端能够以螺纹连接的方式螺接在悬挂孔位a1内，并利用第一限位端抵贴支承部11背向多轴精密运动平台a的一侧表面，从而将支承部11以叠置紧贴多轴精密运动平台a的纵向壁的方式，实现支承部11（或者限位件10）与多轴精密运动平台a的固定连接。
38.请参阅图1，第二固定件30与第一固定件20的结构近似或相同，主要用于在定位连接件40的配合下，将承载部12以可拆卸的方式叠置固定在设备型材外框架b的横向梁上。其中，定位连接件40以可拆卸的方式装设于设备型材外框架b的型材槽腔b1内，其外轮廓的纵向截面形状与型材槽腔b1的槽体空间的纵向截面形状相近或大致相同；同时，为便于描述，将第二固定件30的螺纹部分定义为第二螺纹端、将第二固定件30的螺帽部分定义为第二限位端；具体实施时，第二固定件30贯穿第二安装孔10b设置，以使得第二螺纹端能够深入型材槽腔b1内并以螺纹连接的方式螺接所述定位连接件40，而利用第二限位端抵贴承载部12背向定位连接件10的一侧表面，则可最终将承载部12以叠置紧贴设备型材外框架b的横向梁表面的方式，实现承载部12（或限位件10）与设备型材外框架b的固定连接。与此同时，限位部13则以被多轴精密运动平台a和设备型材外框架b夹持的方式分布在两者之间，一方面可以起到增强限位件10本身的结构强度的作用，另一方面还可辅助支承部11和承载部12，以能够将限位件10稳固地固定在多轴精密运动平台a与设备型材外框架b之间。
39.基于此，利用第一固定件20及第二固定件30与定位连接件40的配合，可将限位件10锁固在多轴精密运动平台a与设备型材外框架b之间，使检测设备的内部主体部分以悬挂的方式被固定在检测设备的外部防护部分内；在检测设备转运运输的过程中，内部主体部分自身的所有重量（包含多轴精密运动平台a的重量）以及因外部环境而产生的冲击载荷均可由外部防护部分（即：设备型材外框架b）承担，在遇到急刹车、反复上下坡、道路颠簸等状况时，可彻底消除损坏减震装置d的隐患，对减震装置d、乃至内部主体部分形成有效的防护和保护。同时，借助多轴精密运动平台a和设备型材外框架b本身的结构构造（即：悬挂孔位a1和型材槽腔b1），无需在半导体检测设备的内部主体部分和外部防护部分上额外增设与该固定装置相适配的安装结构，即可方便快捷地对固定装置以及检测设备的内部主体部分和外部防护部分进行组合装配或者拆解分离。
40.需要说明的是，具体实施时，该固定装置的数量可依据悬挂孔位a1的数量进行选择配置；请参阅图2并结合图6和图7，通常，在多轴精密运动平台a的纵向壁上设置有四个悬挂孔位a1，故该固定装置也可设置为四个，以借助悬挂孔位a1及与其对位配置的固定装置，将多轴精密运动平台a与设备型材外框架b连接为一体。
41.其他实施例中，依据第一设备和第二设备的结构形态，第一固定件20和第二固定件30也可采用其他结构形式，如以卡接、挂装等方式将限位件10的支承部11和承载部12分别固定在第一设备和第二设备上。当然，也可省略定位连接件40，直接借助第二固定件30将
承载部12固定在第二设备上。要点在于：利用限位件10可使得第一设备以悬挂于第二设备内的方式与第二设备连接为一体，确保第一设备的重量以及外部环境所产生的冲击载荷能够经限位件10传递至第二设备，使第二设备能够承担所有重量和冲击荷载，实现对第一设备的保护。
42.一个实施例中，请参阅图1和图4，定位连接件40包括主体部41和弹性部42；其中，主体部41被构造成与型材槽腔b1相适配，即：主体部41的纵向截面形状及大小与型材槽腔b1的槽体空间的纵向截面形状及大小相近或大致相同，在主体部41面向第二固定件30的一侧（或者面向型材槽腔b1的槽口的一侧）设置有可与第二固定件30的第二螺纹端进行螺接的螺纹孔40a；弹性部42采用弯折式片状结构，其具有相对的两端，弹性部42的一端与主体部41固定连接，弹性部42的另一端则与主体部41呈分离设置；在将定位连接件40装设于型材槽腔b1内后，弹性部42与主体部41分离的一端抵接型材槽腔b1的腔壁上（该腔壁包括与第二固定件30相对或者与其槽口相对的侧壁）。
43.一方面，借助弹性部42使得定位连接件40以弹性体的结构形式被装设于型材槽腔b1内，不但能够确保定位连接件40被定位放置在设备型材外框架b的横向梁内的预设位置，而且便于对定位连接件40的具体位置进行调节；另一方面，也能够为第二固定件30提供预紧力，不但使承载部12能够紧贴固定于设备型材外框架b的横向梁表面，而且能够在一定程度上抵消因振动等因素而产生的冲击力，防止第二固定件30与定位连接件40发生松动。
44.以设备型材外框架b所采用的金属型材的结构特点，就每个固定装置而言，其可包括两个第二固定件30和两个与各第二固定件30一一对位配合的定位连接件40；具体实施时，可将两个定位连接件40间隔排布在型材槽腔b1内；相适应地，在承载部12上设置有两个间隔排布的第二安装孔10b，从而在两个第二固定件30的配合下，实现对限位件10双位置锁定，确保限位件10能够被稳固地固定在设备型材外框架b的横向梁上。
45.其他实施例中，根据承载部12和横向梁的尺寸特点，也可设置三个、四个或其他更多数量的第二固定件30和定位连接件40，亦或者在一个定位连接件40上设置多个供第二固定件30一一对位螺接配合的螺纹孔40a。
46.一个实施例中，请参阅图1，为避免第一固定件20和第二固定件30在调节或拆装的过程中出现相互干涉的问题，可将第一安装孔10a面向第一固定件20的第一限位端的一端和/或第二安装孔10b面向第二固定件30的第二限位端的一端设置为沉头孔结构；以第二固定件30为例，当将其与定位连接件40完成锁紧后，第二限位端可完全被收容在第二安装孔10b的沉头孔结构内，从而为方便且互不干涉地调节第一固定件20和第二固定件30创造了有利的结构条件。
47.请参阅图1和图5，一种实施例提供的一种固定装置，还包括弹性垫圈50，该弹性垫圈50可以采用金属材料制成的开口式环片结构，也可采用橡塑材料制成的闭口式环片结构，以使得弹性垫圈50在压力作用下具有一定的弹性变形能力；具体地，该弹性垫圈50套置在第一固定件20上，并位于支承部11与第一限位端之间；当将第一固定件20螺接并拧紧于悬挂孔位a1时，在多轴精密运动平台a的纵向壁、支承部11与第一限位端的挤压作用下，使得弹性垫圈50发生弹性变形，从而为第一固定件20提供一定的预紧力，一方面确保支承部11能够稳固地紧贴固定在多轴精密运动平台a的纵向壁，另一方面防止第二固定件20发生松动。基于相同的原理，也可在第二固定件20与承载部12之间设置弹性垫圈50，尤其是在省
略定位连接件40的实施例下，弹性垫圈50的存在，可有效防止部件发生松动。
48.一个实施例中，请参阅图1，限位件10为高强度金属材料制成的一体式结构，如采用中碳钢、铝合金、镍基合金钢等材料经机加工等工艺手段制作而成，从而确保限位件10具有足够的结构强度，使多轴精密运动平台a能够稳固地与设备型材外框架b连接为一体。其他实施例中，依据固定装置的实际应用场景，限位件10也可由支承部11与承载部12两者，或者支承部11、承载部12与限位部13三者组合拼装而成；如，采用焊接工艺焊接为一体；又如，采用榫卯结构可拆卸的拼接为一体。凡此种种，不作赘述。
49.以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。