一种多芯片测试探针卡的制作方法

1.本实用新型属于芯片探针技术领域，具体为一种多芯片测试探针卡。


背景技术：

2.近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7奈米以下挺进，产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等，上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。
3.但是目前市场上的多芯片测试探针卡在日常的工作时，由于芯片在包装之前，需要使用探针卡对芯片进行性能的检测，为此对检测时的环境把控十分严格，但环境中的灰尘与颗粒物会在该芯片检测机工作时对芯片产生威胁，降低了测试时的精准度，同时该器械为精密仪器，在工作时受到震动时或人为的碰撞会导致内部的电路产生损耗，影响了检测的精确度，同时在该装置工作时产生的震动会导致噪音较大，降低了使用寿命，为此这里提出了一种多芯片测试探针卡。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种多芯片测试探针卡，有效的解决了目前市场上的多芯片测试探针卡使用时受到环境中的灰尘与颗粒物的影响会导致精准度下降，同时在工作时受到震动时或人为的碰撞会导致内部的电路产生损耗，影响了检测的精确度的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多芯片测试探针卡，包括芯片检测机，所述芯片检测机的底部固定连接有支撑垫，所述芯片检测机的顶部设置有活动摇臂，所述活动摇臂的一端活动连接有探针卡检测器，所述芯片检测机的顶部固定连接有显示屏，所述芯片检测机的一侧设置有集尘机构，所述集尘机构包括风箱、传动风扇和动力管，所述芯片检测机的一侧固定连接有除尘箱，所述除尘箱内腔的一侧固定连接有机箱，所述机箱内腔的底部固定连接有电机，所述电机的顶部固定连接有动力管，所述动力管的一侧固定连接有风箱，所述风箱的一侧固定连接有传动风扇，所述支撑垫的内腔设置有缓冲机构，所述缓冲机构包括传动弹簧、传动杆和减震杆。
6.优选的，所述支撑垫内腔的顶部固定连接有传动弹簧，所述传动弹簧的底部固定连接有传动杆，所述传动杆的一侧活动连接有减震杆，所述减震杆的一侧固定连接有减震弹簧，所述减震弹簧的一侧固定连接有支撑板。
7.优选的，所述传动风扇一侧的表面与电机一侧的表面分别与动力管的两端固定连接，且所述传动风扇的数量为两个，且两个所述传动风扇均活动连接在风箱一侧的表面。
8.优选的，所述传动弹簧的顶部与支撑板的顶部均固定连接在芯片检测机的底部。
9.优选的，所述除尘箱的底部分别与支撑垫的顶部呈垂直设置，且所述除尘箱的上下两侧分别与风箱的底部与支撑垫的顶部固定连接。
10.优选的，所述活动摇臂的底部与显示屏的底部均固定连接在芯片检测机的顶部，且所述显示屏与活动摇臂沿着芯片检测机的顶部呈平行并列设置。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1)、在该多芯片测试探针卡工作中，通过集尘机构的设置，在进行芯片检测时，通过由机箱内部的电机的设置，通过电机顶部的动力管驱动其一端的传动风扇进行工作，通过风箱表面传动风扇的旋转将该多芯片测试探针卡工作时周围环境中的灰尘颗粒进行吸入处理，将吸入的灰尘导入除尘箱，除尘箱可以对灰尘进行集中处理，防止在对多芯片测试探针卡的检测时灰尘颗粒覆盖在芯片的表面降低芯片检测的精准度，提高了多芯片测试探针卡的实用性；
13.2)、在该多芯片测试探针卡工作中，通过缓冲机构的设置，通过由芯片检测机底部支撑垫的设置，可以对该芯片检测机进行稳固的支撑，在支撑的同时若因工作或人为的碰撞受到震动时，通过支撑垫内腔顶部的传动弹簧，将震动的力由传动弹簧底部的传动杆传导至减震杆，通过减震杆与减震弹簧的相互连接，可以将震动的力通过减震弹簧进行抵消，同时减震弹簧一侧的支撑板对减震弹簧与减震杆进行稳固的支撑，将震动抵消提高了该芯片测试的精确度，同时震动的减少降低了该装置在工作时产生的噪音，延长了该装置的使用寿命，提高了实用性。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
15.图1为本实用新型的外观结构示意图；
16.图2为本实用新型的除尘机构剖视图；
17.图3为本实用新型的传动风扇结构示意图；
18.图4为本实用新型的支撑垫结构剖视图；
19.图中：1、芯片检测机；2、支撑垫；3、显示屏；4、探针卡检测器；5、集尘机构；501、风箱；502、传动风扇；503、动力管；504、电机；505、机箱；506、除尘箱；6、活动摇臂；7、缓冲机构；701、传动弹簧；702、传动杆；703、减震杆；704、减震弹簧；705、支撑板。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.本实施例，由图1-4给出，本实用新型提供如下技术方案：一种多芯片测试探针卡，包括芯片检测机1，芯片检测机1的底部固定连接有支撑垫2，芯片检测机1的顶部设置有活动摇臂6，活动摇臂6的一端活动连接有探针卡检测器4，将需要检测的芯片通过活动摇臂6一端的探针卡检测器4进行检测，芯片检测机1的顶部固定连接有显示屏3，通过显示屏3对
该装置进行数据的调控，活动摇臂6的底部与显示屏3的底部均固定连接在芯片检测机1的顶部，且显示屏3与活动摇臂6沿着芯片检测机1的顶部呈平行并列设置，芯片检测机1的一侧设置有集尘机构5，集尘机构5包括风箱501、传动风扇502和动力管503，芯片检测机1的一侧固定连接有除尘箱506，除尘箱506的底部分别与支撑垫2的顶部呈垂直设置，且除尘箱506的上下两侧分别与风箱501的底部与支撑垫2的顶部固定连接，除尘箱506内腔的一侧固定连接有机箱505，通过风箱501表面传动风扇502的旋转将该多芯片测试探针卡工作时周围环境中的灰尘颗粒进行吸入处理，将吸入的灰尘导入除尘箱506，除尘箱506可以对灰尘进行集中处理，机箱505内腔的底部固定连接有电机504，通过由机箱505内部的电机504的设置，通过电机504顶部的动力管503驱动其一端的传动风扇502进行工作，电机504的顶部固定连接有动力管503，动力管503的一侧固定连接有风箱501，风箱501的一侧固定连接有传动风扇502，传动风扇502一侧的表面与电机504一侧的表面分别与动力管503的两端固定连接，且传动风扇502的数量为两个，且两个传动风扇502均活动连接在风箱501一侧的表面，对灰尘进行集中处理，提高了多芯片测试探针卡的实用性；
22.通过由芯片检测机1底部支撑垫2的设置，可以对该芯片检测机1进行稳固的支撑，支撑垫2的内腔设置有缓冲机构7，缓冲机构7包括传动弹簧701、传动杆702和减震杆703，支撑垫2内腔的顶部固定连接有传动弹簧701，传动弹簧701的底部固定连接有传动杆702，传动杆702的一侧活动连接有减震杆703，在支撑的同时若因工作或人为的碰撞受到震动时，通过支撑垫2内腔顶部的传动弹簧701，将震动的力由传动弹簧701底部的传动杆702传导至减震杆703，减震杆703的一侧固定连接有减震弹簧704，减震弹簧704的一侧固定连接有支撑板705，传动弹簧701的顶部与支撑板705的顶部均固定连接在芯片检测机1的底部，将震动的力通过减震弹簧704进行抵消，同时减震弹簧704一侧的支撑板705对减震弹簧704与减震杆703进行稳固的支撑，将震动抵消提高了该芯片测试的精确度。
23.工作原理：在该多芯片测试探针卡的检测时，首先将显示屏3对该装置进行数据的调控，同时需要检测的芯片通过活动摇臂6一端的探针卡检测器4进行检测，在进行芯片检测时，通过由机箱505内部的电机504的设置，通过电机504顶部的动力管503驱动其一端的传动风扇502进行工作，通过风箱501表面传动风扇502的旋转将该多芯片测试探针卡工作时周围环境中的灰尘颗粒进行吸入处理，将吸入的灰尘导入除尘箱506，除尘箱506可以对灰尘进行集中处理，防止在对多芯片测试探针卡的检测时灰尘颗粒覆盖在芯片的表面降低芯片检测的精准度，提高了多芯片测试探针卡的实用性；
24.同时在该多芯片测试探针卡的检测时，通过由芯片检测机1底部支撑垫2的设置，可以对该芯片检测机1进行稳固的支撑，在支撑的同时若因工作或人为的碰撞受到震动时，通过支撑垫2内腔顶部的传动弹簧701，将震动的力由传动弹簧701底部的传动杆702传导至减震杆703，通过减震杆703与减震弹簧704的相互连接，可以将震动的力通过减震弹簧704进行抵消，同时减震弹簧704一侧的支撑板705对减震弹簧704与减震杆703进行稳固的支撑，将震动抵消提高了该芯片测试的精确度，同时震动的减少降低了该装置在工作时产生的噪音，延长了该装置的使用寿命，提高了实用性。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。