多通道MEMS开关寿命测试系统的制作方法

文档序号:30479165发布日期:2022-06-21 22:27阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种多通道mems开关寿命测试系统,其特征在于,包括主控板、脉冲电源模块、射频模块和多路射频检测模块;主控板分别与脉冲电源模块、检波器和射频模块相连;用于接收上位机的控制信号,输出电源控制信号设置脉冲电源模块的驱动电源参数,包括电压、电流和脉冲频率,输出射频控制信号设置射频模块的射频参数,包括射频频率、功率和通断;还用于接收射频检测模块的检波电压,计算检测结果;脉冲电源模块分别与主控板、射频检测模块和射频模块相连;用于接收主控板的电源控制信号,并输入系统电源转化成测试需要的高频脉冲电信号和直流电信号,为整个系统供电;射频检测模块分别与主控板和脉冲电源模块;用于接收通过mems开关之后的射频信号,产生检波电压输出给主控板;射频模块分别与脉冲电源模块和主控板相连;用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号,并进行分路和功率调整,输出至mems开关。2.根据权利要求1所述的多通道mems开关寿命测试系统,其特征在于,射频模块包括射频源和射频分路模块;射频源和射频分路模块均与主控板和脉冲电源模块相连;射频源用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号,输出至射频分路模块;射频分路模块用于根据主控板的射频控制信号对射频信号进行分路和功率调整,输出至mems开关。

技术总结
本实用新型提供了一种多通道MEMS开关寿命测试系统,该系统属于射频MEMS开关测试领域。包括主控板、脉冲电源模块、射频检测模块和射频模块;主控板用于设置射频信号参数,设置脉冲电源参数和采集检波信号。脉冲电源模块用于产生高频驱动电源信号和直流电源信号。射频检测模块用与检测被测射频信号,上报检测结果。射频模块用于产生射频信号以测试被测开关状态。本发明提供的多通道MEMS开关寿命测试系统能实现多通道测试要求。实现MEMS开关测试系统的高度集成,使得测试操作简单高效。使得测试操作简单高效。使得测试操作简单高效。


技术研发人员:白鸿轩
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第五十四研究所
技术研发日:2021.12.20
技术公布日:2022/6/20
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