双面基板、雷达装置、传输部件以及传输部件的制造方法与流程

双面基板、雷达装置、传输部件以及传输部件的制造方法
1.相关申请的交叉引用
2.本技术基于在2020年3月6日申请的日本技术编号2020-038397号，在此引用其记载内容。
技术领域
3.本公开涉及双面基板、雷达装置、传输部件以及传输部件的制造方法。


背景技术：

4.例如，在下述专利文献1中记载了从双面基板的两个面的一个向另一个，经由截面形状为大致长方形的波导管传输信号的双面基板。
5.专利文献1：日本特开2019-180020号公报
6.在降低使用波导管传输信号时的损失的方面，需要将波导管的长边方向的长度延长某种程度，这可能成为使双面基板小型化方面的制约。


技术实现要素：

7.解决上述课题的双面基板具备：第一种导体层(l1、l8)；第二种导体层(l1、l8)；波导管填充电介质层(p3～p5)，是设置在上述第一种导体层以及上述第二种导体层之间的电介质层；以及波导管(36)，在从上述第一种导体层以及上述第二种导体层的两个导体层中的任意一个向另一个前进的方向上贯通上述波导管填充电介质层而设置，与上述第一种导体层平行的平面上的上述波导管的截面具有长边方向和与该长边方向正交的短边方向，上述波导管的截面被划分为沿着上述长边方向的中央部和分别位于该中央部的两侧的端部，上述端部的上述短边方向的长度比上述中央部的上述短边方向的长度长。
8.存在波导管的长边方向的长度越长，波导管的传输损失变小的频率越低的趋势。此处，根据上述结构，通过将波导管的截面形成为在长边方向上，端部的短边方向的长度比中央部的短边方向的长度长的形状，在使长边方向的长度相同的条件下，与在两端部和中央部使短边方向的长度相等的情况相比，能够降低传输损失变小的频率。因此，在上述结构中，与在两端部和中央部使短边方向的长度相等的情况相比，能够缩短长边方向的长度，因此能够实现降低使用波导管传输信号时的损失和使双面基板小型化的适宜的兼顾。
附图说明
9.参照附图并通过下述的详细的描述，关于本公开的上述目的以及其它的目的、特征、优点变得更加明确。
10.图1是表示一个实施方式的雷达装置的结构的分解立体图。
11.图2是例示上述实施方式的雷达装置的配置的图。
12.图3是表示上述实施方式的双面基板的截面结构的剖视图。
13.图4是表示上述实施方式的双面基板的结构的分解立体图。
14.图5是表示上述实施方式的与第一侧转换部连接的部件的图。
15.图6是表示上述实施方式的第八侧转换部以及天线的俯视图。
16.图7是表示上述实施方式的波导管的截面构造的剖视图。
17.图8的(a)～图8的(c)是用于说明上述实施方式的波导管的技术意义的图。
18.图9的(a)～图9的(d)是表示上述实施方式的波导管的形成工序的剖视图。
19.图10是表示上述实施方式的缝隙的形状的俯视图。
20.图11的(a)表示上述实施方式的波导管的布局，图11的(b)以及图11的(c)表示比较例中的波导管的布局。
21.图12的(a)以及图12的(b)是表示上述实施方式以及比较例中的电场分布的俯视图。
具体实施方式
22.以下，参照附图对双面基板的一个实施方式进行说明。
23.图1表示本实施方式的雷达装置10的结构。雷达装置10是在由雷达罩12和下壳体20划分的空间内收容屏蔽板14、电波吸收体16以及双面基板18，在下壳体20安装有连接器22的装置。此处，屏蔽板14是用于抑制来自外侧的无用的噪声电波进入双面基板18的金属板。另外，电波吸收体16是为了抑制电波在双面基板18的被屏蔽板14覆盖的部分漫反射而吸收电磁波的部件。
24.图2例示雷达装置10的配置。在图2中，记载了在车辆vc的前部中央配置一个、在后部左右各配置一个雷达装置10的例子。
25.图3表示双面基板18的截面结构。双面基板18是将第一导体层l1、第一电介质层p1、第二导体层l2、第二电介质层p2、第三导体层l3、第三电介质层p3、第四导体层l4、第四电介质层p4、第五导体层l5、第五电介质层p5、第六导体层l6、第六电介质层p6、第七导体层l7、第七电介质层p7以及第八导体层l8依次层叠而成的基板。第一导体层l1以及第八导体层l8中的任意一个作为第一种导体层发挥功能，并且任意另一个作为第二种导体层发挥功能。此外，如图8所示，在以下，将层叠方向设为z方向。换言之，将从第一导体层l1以及第八导体层l8的两个导体层中的任意一个向另一个前进的方向(第一方向)设为z方向。特别是，将从第一导体层l1向第八导体层l8前进的方向设为正的z方向。
26.此处，第一电介质层p1、第二电介质层p2、第三电介质层p3、第四电介质层p4、第五电介质层p5、第六电介质层p6以及第七电介质层p7均由树脂材料构成。详细而言，在本实施方式中，作为第二电介质层p2、第三电介质层p3、第四电介质层p4、第五电介质层p5以及第六电介质层p6的材料，例示了玻璃布基材环氧基树脂。另外，作为第一电介质层p1以及第七电介质层p7的材料，例示了聚苯醚树脂。
27.在以下，为了方便起见，将双面基板18分类为第一外层部30、内层部32以及第二外层部34。第一外层部30具备第一导体层l1、第一电介质层p1、第二导体层l2以及第二电介质层p2。内层部32具备第三导体层l3、第三电介质层p3、第四导体层l4、第四电介质层p4、第五导体层l5、第五电介质层p5以及第六导体层l6。第二外层部34具备第六电介质层p6、第七导体层l7、第七电介质层p7以及第八导体层l8。
28.在内层部32以贯通内层部32的方式设置有波导管36。另外，构成内层部32的第三
导体层l3、第四导体层l4、第五导体层l5以及第六导体层l6均接地，构成接地面。
29.图4表示双面基板18的分解立体图。
30.如图4所示，在第一导体层l1形成有微带线路52、和转换从波导管36及微带线路52中的任意一个向另一个传输的信号的第一侧转换部50。
31.如图5所示，第一侧转换部50在与微带线路52连接的部位形成有具有大于微带线路52的线宽的宽度的凸部cp，在凸部cp的两端设置有切口部sl。凸部cp具有使微带线路52和第一侧转换部50的连接路径中的阻抗缓慢变化的功能。此外，在后面详述切口部sl的功能。在第一侧转换部50经由微带线路52连接有单片微波集成电路(mmic54)。
32.本实施方式的mmic54具备发送用的两个通道端子和接收用的三个通道端子。因此，在第一导体层l1实际上针对这些各个通道分别形成第一侧转换部50。此外，发送用的第一侧转换部50成为用于将来自mmic54的高频信号转换为电磁波并输出到波导管36的部件。另外，接收用的第一侧转换部50成为将来自波导管36的电磁波转换为向微带线路52输出的高频信号的部件。
33.mmic54执行生成76～77ghz的高频信号并发送到微带线路52的发送处理、和接收经由微带线路52输入的76～77ghz的高频信号的接收处理。另外，mmic54具备合成通过发送处理发送的高频信号和通过接收处理接收的高频信号的混频器等。
34.mmic54与微型计算机(微机56)连接。微机56具备cpu56a以及存储器56b，cpu56a执行存储于存储器56b的程序。此处，cpu56a执行的处理包括控制基于mmic54的高频信号的发送处理及接收处理的处理。另外，cpu56a执行的处理包括：基于由上述混频器合成的信号来计算反射从雷达装置10发送的高频信号的物体与雷达装置10的相对距离、相对速度的处理、将计算结果经由连接器22向雷达装置10的外部发送的处理。
35.返回到图4，在第八导体层l8形成有天线62、和转换从天线62及波导管36中的任意一个向另一个传输的信号的第八侧转换部60。
36.如图6所示，第八侧转换部60在与天线62连接的部位形成有具有大于微带线路52的线宽的宽度的凸部cp，在凸部cp的两端设置有切口部sl。凸部cp具有使天线62和第八侧转换部60的连接路径中的阻抗缓慢变化的功能。此外，在后面详述切口部sl的功能。
37.如图3以及图4所示，在第二导体层l2形成有第二侧缝隙38。另外，在第二电介质层p2设置有导通孔42。详细而言，在包含第二导体层l2且与z方向正交的平面垂直投影导通孔42而得到的图形成为包围第二侧缝隙38的图形。此外，多个导通孔42分别沿z方向延伸，从而连接第二导体层l2和第三导体层l3。因此，第二导体层l2接地，构成接地面。
38.另外，在第一电介质层p1设置有导通孔44。详细而言，在包含第一导体层l1且与z方向正交的平面垂直投影导通孔44而得到的图形除了与微带线路52的连接部位附近之外沿着第一侧转换部50的边缘形成在其内侧。另外，在包含第一导体层l1且与z方向正交的平面垂直投影导通孔44而得到的图形成为除了上述连接部位附近之外，包围在该平面垂直投影第二侧缝隙38而得到的图形的图形。这是用于减少微带线路52以及第一侧转换部50间的信号的传输损失的设定。特别是，在本实施方式中，在该平面垂直投影导通孔44而得到的图形不包含在一对切口部sl、由同一对切口部sl夹着的区域中。此外，多个导通孔44分别沿z方向延伸，从而连接第二导体层l2和第一导体层l1。
39.在第七导体层l7形成有第七侧缝隙40。另外，在第六电介质层p6设置有导通孔46。
详细而言，在包含第七导体层l7且与z方向正交的平面垂直投影导通孔46而得到的图形成为包围第七侧缝隙40的图形。此外，多个导通孔46分别沿z方向延伸，从而连接第七导体层l7以及第六导体层l6。由此，第七导体层l7接地，构成接地面。
40.另外，在第七电介质层p7设置有导通孔48。详细而言，在包含第八导体层l8且与z方向正交的平面垂直投影导通孔44而得到的图形除了与天线62的连接部位附近沿着第八侧转换部60的边缘形成在其内侧。另外，在包含第八导体层l8且与z方向正交的平面垂直投影导通孔44而得到的图形成为包围在该平面垂直投影第七侧缝隙40而得到的图形的图形。这是用于减少第八侧转换部60以及天线62间的信号的传输损失的设定。特别是，在本实施方式中，在包含第八导体层l8且与z方向正交的平面垂直投影导通孔48而得到的图形不包含在一对切口部sl、由同一对切口部sl夹着的区域中。此外，多个导通孔48分别沿z方向延伸，从而连接第七导体层l7和第八导体层l8。
41.在本实施方式中，将基于波导管36的作为传输对象的信号设为te模式中的基模式的信号。这是因为，与将多个模式的信号作为传输对象的情况相比，容易进行信号处理等。
42.图7表示与z方向正交的平面即xy平面上的波导管36的截面形状。
43.如图7所示，波导管36在xy平面上，包括以短边方向为x方向且以长边方向为y方向的长方形、和分别与该长方形的y方向的两端重叠的圆形。圆具有相当于长度wl的直径，直径的长度wl比长方形的短边的长度ws长。此处，连接两端的各个圆的中心po1、po2的直线lim与y方向平行。另外，直线lim位于波导管36的x方向两端的中央。
44.因此，xy平面上的波导管36的截面形状相对于直线lim成为线对称。另外，xy平面上的波导管36的截面形状在直线lim中的中心po1、po2间的中央pc相对于与直线lim正交的直线ln成为线对称。即，波导管36的截面形状具有相对于与长边方向平行的线线对称且相对于与短边方向平行的线线对称的形状。
45.详细而言，在本实施方式中，在将波导管36沿y方向划分为中央部36a以及分别位于中央部36a的两端的端部36b的情况下，波导管36的端部36b的y方向的长度ln1e小于波导管36的y方向上的长度ln1的“1/3”。此外，端部36b是波导管36的x方向的长度比长度ws长的部分。
46.波导管36的这样的设定是用于在本实施方式中经由波导管36减少作为传输对象的信号的传输损失的设定。以下，对此进行说明。
47.图8的(a)例示了在作为长边方向的y方向的两端部，作为短边方向的x方向的长度不变长的波导管。这相当于矩形波导管，在基板上用具有比长度h稍小的刃径的钻孔器开孔而确定波导管的外周的外形，因此xy平面上的截面形状在长边方向的两端部成为半圆形状。使用图8的(a)所示的形状的波导管，为了使传输损失成为允许范围，长边方向的长度比图7所示的波导管36的长边方向的长度ln1长。推测这是因为矩形波导管的屏蔽频率与矩形波导管的长边方向的长度成反比。
48.即，如公知那样，基于矩形波导管的成为传输对象的信号中的屏蔽频率成为最低的信号是te模式中的基模式的信号。详细而言，在满足在矩形波导管的长边方向的两端部电场的振幅成为零的边界条件中，电场的y方向的波长成为矩形波导管的内周的长边方向的长度的2倍。在本实施方式中，将基于矩形波导管的成为传输对象的信号设为该单一模式的信号，从而实现控制的简单化。因此，优选相对于该单一模式的信号的屏蔽频率设定为比
作为使用频率的76～77ghx低。另一方面，相对于该单一模式的信号的屏蔽频率与矩形波导管的内周面的长边方向的长度成反比。因此，在矩形波导管的内周面的长边方向的长度的最小值产生由屏蔽频率引起的制约，进而在矩形波导管的外周面的长边方向的长度也产生制约。
49.此处，在图8的(a)所记载的波导管的情况下，虽然与矩形波导管严格来说不同，但认为与矩形波导管大致等同，因此推测在将te模式中的基模式的信号作为比屏蔽频率高的信号进行传输的方面，需要确保内周面的长边方向的长度。
50.为了缓和长边方向的长度的制约，如图8的(b)所示，发明人研究了在波导管的长边方向的两端部，使短边方向的长度比中央部长。即，研究了形成为使长边方向的两端部的短边方向的长度h比中央部的短边方向的长度h长的h形状。详细而言，研究了形成为具有两端部的各自的向正x方向以及负x方向分别突出的部分的长度lh1、lh2、lh3、lh4相互相等的对称性的截面形状。此外，在图8的(b)所示的波导管中，y方向两端部的各自的x方向的端部成为半圆形状是因为用钻孔器在基板上开孔而确定波导管的外周的外形。
51.图8的(c)表示将图8的(b)中的波导管的长边方向两端部的短边方向的长度h进行各种改变时的传输损失loss。传输损失loss表示在负值下绝对值越大，损失越大。如图8的(c)所示，通过使长度h变长，能够减少作为使用频率的76～77ghz中的传输损失loss。推测这是因为通过使长度h变长，从而屏蔽频率降低。
52.此外，在该研究过程中，不使图8的(a)所示的波导管中的短边方向的长度一律伸长是因为在该情况下，相当于短边方向的长度变长后的矩形波导管，另一方面，理论上已知使矩形波导管的短边方向的长度变长不会有助于降低对上述单一模式的信号的屏蔽频率。
53.鉴于通过图8所示的研究，得到使波导管的长边方向的两端部的短边方向的长度变长是有效的这样的见解，在本实施方式中，采用具有图7所示的截面形状的波导管36。此处，不采用图8的(b)所示的截面形状是因为与多次使用用于在两端部开设长度h的孔的钻孔器来使短边方向的长度伸长相比，采用图9所示的制造工序更容易提高加工精度。
54.图9表示波导管36的制造工序。
55.图9的(a)表示在第四电介质层p4的两侧分别层叠有第四导体层l4、第三电介质层p3及第三导体层l3、和第五导体层l5、第五电介质层p5及第六导体层l6，从而形成作为内层部32的原型的原型部件32a的时刻的截面结构。
56.作为图9的(a)之后的工序，图9的(b)表示利用用于开设长度wl的孔的大刃径钻孔器70，在z方向上贯通原型部件32a的工序。大刃径钻孔器70的刃径比长度wl稍小。在本实施方式中，使用相同的大刃径钻孔器70，在原型部件32a开设两处孔而形成空洞部hl。
57.作为图9的(b)之后的工序，图9的(c)表示利用用于开设长度ws的孔的小刃径钻孔器72，在z方向上贯通原型部件32a的工序。小刃径钻孔器72的刃径比长度ws稍小。在本实施方式中，为了使在图9的(b)所示的工序中形成的一对空洞部hl相连，使用小刃径钻孔器72多次在原型部件32a上开孔。
58.作为图9的(c)之后的工序，图9的(d)表示在划分所形成的空洞部的原型部件32a的内周面实施镀覆，从而形成波导管36的工序。
59.如图9所示，在本实施方式中，通过在原型部件32a上使用大刃径钻孔器70开孔来形成波导管36的长边方向两端部的外周面的外形。此外，在图9的(d)的工序之后，在层叠第
二电介质层p2、第六电介质层p6的工序中，在波导管36内也填充电介质。
60.图10表示xy平面上的第二侧缝隙38以及第七侧缝隙40的形状。在图10中，用虚线一并示出波导管36的外周面的截面形状。这相当于表示在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面垂直投影波导管36及第二侧缝隙38而得到的图形。另外，这相当于表示在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面垂直投影波导管36及第七侧缝隙40而得到的图形。
61.如图10所示，在本实施方式中，第二侧缝隙38以及第七侧缝隙40均是作为y方向的长边方向的两端部的作为x方向的短边方向的长度变长。详细而言，短边方向的长度比中央部长的部分的长度ln2e比长边方向的长度ln2的“1/3”短。
62.进而，如图10所示，在本实施方式中，在与z方向正交且包含第一导体层l1或第八导体层l8的平面垂直投影第二侧缝隙38及第七侧缝隙40而得到的图形包含于在该平面垂直投影波导管36而得到的图形中。即，第二侧缝隙38以及第七侧缝隙40的长边方向的长度ln2比波导管36的长边方向的长度ln1短。另外，在第二侧缝隙38以及第七侧缝隙40的长边方向的两端部与中央部相比短边方向的长度长的部分的长度ln2e比在波导管36的长边方向的两端部与中央部相比短边方向的长度长的部分的长度ln1e短。
63.此处，对本实施方式的作用以及效果进行说明。
64.图11的(a)例示了第八侧转换部60以及天线62的配置的一部分。如图11的(a)所示，在本实施方式中，通过将波导管36在y方向上相邻地配置，从而减少y方向的配置空间。
65.图11的(b)表示使用具有图8的(a)所示的截面形状的波导管80进行相同的配置的比较例。该情况下，如图11的(b)所示，波导管80彼此相互干扰。
66.图11的(c)表示配置为使具有图8的(a)所示的截面形状的一对波导管80不相互干扰的例子。该情况下，如图11的(c)所示，与本实施方式相比，在x方向上需要更宽的空间。
67.这样，根据本实施方式，通过钻研波导管36的截面形状，容易将波导管36在y方向上相邻地配置，因此容易使双面基板18小型化。
68.根据以上说明的本实施方式，进一步得到以下所记载的作用以及效果。
69.(1)通过在原型部件32a上利用刃径较大的大刃径钻孔器70在z方向上平行地开设两处孔的工序、和利用刃径较小的小刃径钻孔器72在z方向上平行地开孔的工序，确定波导管36的外周的外形。由此，与具有图8的(b)所示的截面形状的波导管相比，容易提高加工精度，因此能够实现量产性优异的波导管36。
70.(2)在利用刃径较小的小刃径钻孔器72使两处空洞部hl连通的工序即图9的(c)所示的工序之前执行利用刃径较大的大刃径钻孔器70在z方向上开设两处孔而形成空洞部hl的工序即图9的(b)所示的工序，从而与将两个工序颠倒的情况相比，容易提高加工精度。
71.(3)在第一侧转换部50中的与微带线路52的连接部位的两端设置有切口部sl。由此，能够抑制图12的(a)中由点表示的电场集中在第一侧转换部50的x方向端部中的靠近微带线路52的部位处的y方向的两端部产生，因此能够减少电场损失。与此相对，如图12的(b)所示，在不设置切口部sl的情况下，由于在x方向端部中的靠近微带线路52的部位处的y方向的两端部产生电场集中，因此传输损失变大。
72.(4)通过多个导通孔44连接第一侧转换部50以及第二导体层l2之间，在与z方向正交且包含第一侧转换部50的平面垂直投影导通孔44而得到的图形包围在该平面垂直投影波导管36而得到的图形中的除由一对切口部sl夹着的区域以外的部分。在形成有切口部sl
的区域不易形成导通孔44，因此在不易形成导通孔44的部分设置切口部sl，从而能够补偿由于不设置导通孔44而产生电场泄漏的情况。
73.(5)在第八侧转换部60中的与天线62的连接部位的两端设置有切口部sl。由此，能够抑制图12的(a)中由点表示电场集中在第八侧转换部60的x方向端部中的靠近天线62的部位处的y方向的两端部产生，因此能够减少电场损失。与此相对，如图12的(b)所示，在不设置切口部sl的情况下，由于在x方向端部中的靠近天线62的部位处的y方向的两端部产生电场集中，因此传输损失变大。
74.(6)通过多个导通孔48连接第八侧转换部60以及第七导体层l7之间，在与z方向正交且包含第八侧转换部60的平面垂直投影导通孔48而得到的图形包围在该平面垂直投影波导管36而得到的图形中的除由一对切口部sl夹着的区域以外的部分。在形成有切口部sl的区域不易形成导通孔48，因此在不易形成导通孔48的部分设置切口部sl，从而能够补偿由于不设置导通孔48而产生电场泄漏的情况。
75.(7)在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面垂直投影第二侧缝隙38而得到的图形包含于在该平面垂直投影波导管36而得到的图形中。这样，减小与第二侧缝隙38对应的图形的尺寸，从而即使在产生制造工序中的位置偏移的情况下，也能够充分抑制在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面垂直投影第二侧缝隙38而得到的图形从在该平面垂直投影波导管36而得到的图形露出。因此，即使在产生制造工序中的位置偏移的情况下，也能够抑制波导管36以及第一侧转换部50之间的电场泄漏，因此能够减少波导管36以及第一侧转换部50之间的传输损失。
76.(8)通过多个导通孔42连接第二导体层l2以及第三导体层l3之间，并且在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面垂直投影这些导通孔42而得到的图形包围在该平面垂直投影波导管36而得到的图形。由此，能够抑制波导管36以及第一侧转换部50之间的电场泄漏，因此能够减少波导管36以及第一侧转换部50之间的传输损失。
77.(9)在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面垂直投影第七侧缝隙40而得到的图形包含于在该平面垂直投影波导管36而得到的图形中。这样，减小与第七侧缝隙40对应的图形的尺寸，从而即使在产生制造工序中的位置偏移的情况下，也能够充分抑制在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面垂直投影第七侧缝隙40而得到的图形从在该平面垂直投影波导管36而得到的图形露出。因此，即使在产生制造工序中的位置偏移的情况下，也能够抑制波导管36以及第八侧转换部60之间的电场泄漏，因此能够减少波导管36以及第八侧转换部60之间的传输损失。
78.(10)通过多个导通孔46连接第六导体层l6以及第七导体层l7之间，并且在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面垂直投影这些导通孔46而得到的图形包围在该平面垂直投影波导管36而得到的图形。由此，能够抑制波导管36以及第八侧转换部60之间的电场泄漏，因此能够减少波导管36以及第八侧转换部60之间的传输损失。
79.＜其它实施方式＞
80.此外，本实施方式能够如以下那样进行变更来实施。本实施方式以及以下的变更例能够在技术上不矛盾的范围内相互组合来实施。
[0081]“关于波导管的截面形状”[0082]
·
在上述实施方式中，通过相同的钻孔器形成确定波导管36的外周的空洞部的长
边方向的一对两端部，从而使这些截面形状形成为相同的圆形，但并不限于此。例如，也可以通过相互不同的一对钻孔器的一方形成两端部的一个空洞部，通过另一方形成两端部的另一个空洞部。此处，如果一对钻孔器的规格相同，那么能够使两端部的截面形状成为相同的圆形。但是，此处的相同的圆形允许一对钻孔器的直径的公差。
[0083]
·
在上述实施方式中，将确定波导管36的外周的空洞部的长边方向的一对两端部的圆的中心po1、po2连接的直线lim在允许制造时的公差的条件下与长边方向平行，但不限于此，也可以有意地从平行稍微偏移。
[0084]
·
作为与波导管的xy平面平行的截面形状，不限于圆分别与长方形的两端重叠的形状。例如，也可以如图8所例示那样是h形状。即使在该情况下，为了明确与扩大了x方向的长度后的矩形波导管的不同，对于x方向的长度较长的两端部，也优选使y方向的长度小于整体的“1/3”。
[0085]
另外，作为h形状，不限于其端部成为半圆形状。例如，也可以使用刃径较小的钻孔器形成成为波导管的外形的空洞部，从而使端部的形状尽量平坦。
[0086]
并且，作为h形状，不限于图8的长度lh1、lh2、lh3、lh4相互相等。例如，也可以使长度lh2及长度lh3相等，使长度lh1及长度lh4相等，并且有意地使长度lh2及长度lh3比长度lh1及长度lh4长。此外，此处，所谓的相等，是指允许制造公差。
[0087]
·
作为波导管的轴向的波导管的延伸方向也不必须与作为层叠方向的z方向平行，也可以在这一对方向上存在偏移。
[0088]“关于缝隙”[0089]
·
通过与作为波导管的轴向的波导管的延伸方向平行的光线，在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面投影第二侧缝隙38而得到的图形包含于在该平面投影波导管36而得到的图形中不是必须的。例如，在该平面垂直投影第二侧缝隙38而得到的图形的长边方向上的端部也可以与在该平面垂直投影波导管36而得到的图形的长边方向上的端部重叠。
[0090]
·
作为xy平面上的第二侧缝隙38的截面形状，不限于在长边方向的两端部，短边方向的长度比中央部长的形状。
[0091]
·
通过与作为波导管的轴向的波导管的延伸方向平行的光线，在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面投影第七侧缝隙40而得到的图形包含于在该平面投影波导管36而得到的图形中不是必须的。例如，在该平面垂直投影第七侧缝隙40而得到的图形的长边方向上的端部也可以与在该平面垂直投影波导管36而得到的图形的长边方向上的端部重叠。
[0092]
·
作为xy平面上的第七侧缝隙40的截面形状，不限于在长边方向的两端部，短边方向的长度比中央部长的形状。
[0093]
·
在上述实施方式中，将第二侧缝隙38和第七侧缝隙40的截面形状设为相同，但并不限于此。特别是，例如在夹着第二导体层l2的电介质层和夹着第七导体层l7的电介质层的材质不同的情况下等，在构造上具有某种非对称性的情况下等，也可以有意地将截面形状设为不同的设计。
[0094]
·
即使在设置第二导体层l2的情况下，设置第二侧缝隙38也不是必须的。例如，作为第二导体层l2，也可以在第二侧缝隙38内设置不与第二导体层l2的接地面接触的导体。
[0095]
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即使在设置第七导体层l7的情况下，设置第七侧缝隙40也不是必须的。例如，作为第七导体层l7，也可以在第七侧缝隙40内设置不与第七导体层l7的接地面接触的导体。
[0096]“关于转换部”[0097]
·
作为在第一侧转换部50中的与微带线路52的连接部位设置的凸部cp，不限于y方向的长度恒定，例如也可以具有随着接近微带线路52而y方向的长度变短的形状。话虽如此，在第一侧转换部50设置凸部cp本身不是必须的。
[0098]
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在第一侧转换部50形成切口部sl本身不是必须的。例如即使仅设置导通孔44，也能够抑制电场的泄漏。
[0099]
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作为在第八侧转换部60中的与天线62的连接部位设置的凸部cp，不限于y方向的长度恒定，例如也可以具有随着接近天线62而y方向的长度变短的形状。话虽如此，在第八侧转换部60设置凸部cp本身不是必须的。
[0100]
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在第八侧转换部60形成切口部sl本身不是必须的。例如即使仅设置导通孔48，也能够抑制电场的泄漏。
[0101]“关于包围导体”[0102]
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导通孔42与第二导体层l2接触不是必须的。这能够通过例如在第二导体层l2层叠形成有第二电介质层p2之后，以不贯通第二电介质层p2的方式开孔，并向该孔填充导体来实现。
[0103]
·
导通孔42与第三导体层l3接触不是必须的。这能够通过例如在第三导体层l3层叠形成有第二电介质层p2之后，以不贯通第二电介质层p2的方式开孔，并向该孔填充导体来实现。
[0104]
·
作为包围导体，也可以在第二电介质层p2形成筒状的槽，并向槽内填充导体，从而设置筒状的导体，来代替设置导通孔42。
[0105]
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例如，在将第一外层部30粘到内层部32的情况下等，如果难以在第二电介质层p2形成导通孔46，则也可以不设置导通孔42等包围导体。
[0106]
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导通孔46与第七导体层l7接触不是必须的。
[0107]
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导通孔46与第六导体层l6接触不是必须的。
[0108]
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作为包围导体，也可以在第六电介质层p6形成筒状的槽，并向槽内填充导体，从而设置筒状的导体，来代替设置导通孔46。
[0109]
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例如，在将第二外层部34粘到内层部32的情况下等，如果难以在第六电介质层p6形成导通孔46，则也可以不设置导通孔46等包围导体。
[0110]“关于保护用导体”[0111]
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导通孔44也可以不与第二导体层l2接触。
[0112]
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导通孔44也可以不与第一侧转换部50接触。
[0113]
·
作为设置于第一电介质层p1的保护用导体，不限于由多个导通孔44构成。例如，也可以对于与和微带线路52的连接部位最接近的两个导通孔44之间以外，设置将相互最接近的导通孔彼此连接的形状的导体。
[0114]
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在与z方向正交且包含第一导体层l1的平面垂直投影导通孔44而得到的图形不包含在切口部sl、由一对切口部sl夹着的区域中不是必须的。
[0115]
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在第一电介质层p1设置导通孔44等保护用导体也不是必须的。
[0116]
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导通孔48也可以不与第七导体层l7接触。
[0117]
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导通孔48也可以不与第八侧转换部60接触。
[0118]
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作为设置于第七电介质层p7的保护用导体，不限于由多个导通孔48构成。例如，也可以对于与和天线62的连接部位最接近的两个导通孔48之间以外，设置将相互最接近的导通孔彼此连接的形状的导体。
[0119]
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在与z方向正交且包含第八导体层l8的平面垂直投影导通孔48而得到的图形不包含在切口部sl、由一对切口部sl夹着的区域中不是必须的。
[0120]
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在第七电介质层p7设置导通孔48等保护用导体也不是必须的。
[0121]“关于双面基板”[0122]
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例如也可以从内层部32删除第五导体层l5，由三个导体层以及两个电介质层构成内层部32。另外，例如，也可以从内层部32删除第四导体层l4及第五导体层l5，由两个导体层以及一个电介质层构成内层部32。并且，例如，也可以构成为从内层部32删除第三导体层l3、第四导体层l4、第五导体层l5以及第六导体层l6，在电介质层埋入波导管36。
[0123]
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也可以从第一外层部30删除第二导体层l2，由一个导体层和一个电介质层构成第一外层部30。
[0124]
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也可以从第二外层部34删除第七导体层l7，由一个导体层和一个电介质层构成第二外层部34。
[0125]
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在波导管36的内部填充电介质不是必须的。
[0126]
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连接第一侧转换部50和mmic54的微带线路52形成于第一导体层l1不是必须的。例如，也可以在第一侧转换部50直接连接mmic54。
[0127]
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不限于mmic54仅连接于第一导体层l1的结构。例如，也可以将发送用的mmic54与第一导体层l1连接，并且将接收用的mmic54与第八导体层l8连接。换言之，也可以将接收用的mmic54与天线62连接，从而将由天线62接收到的信号不经由波导管36地发送到mmic54。
[0128]“关于波导管的制造工序”[0129]
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在上述实施方式中，在利用大刃径钻孔器70使原型部件32a贯通的第一贯通工序之后，执行利用小刃径钻孔器72使原型部件32a贯通的第二贯通工序，但对于第一贯通工序和第二贯通工序的顺序，并不限于此。
[0130]
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作为形成规定波导管的外周的电介质内的空洞部的方法，不限于使用钻孔器的方法，也可以是使用激光的方法。
[0131]“关于波导管”[0132]
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在上述实施方式中，例示了比屏蔽频率高频的信号即成为传输对象的信号仅成为te模式中的基模式的波导管，但并不限于此。
[0133]
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在上述实施方式中，使发送用的波导管和接收用的波导管不同，但并不限于此。
[0134]“关于波导管的配置”[0135]
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以在长边方向上相邻的方式配置多个波导管不是必须的。即使在不以在长边方向上相邻的方式配置多个波导管的情况下，在满足各种配置的制约的基础上，使用上述实施方式、其变更例所例示的波导管来缩短长边方向的长度也是有效的。此外，这样的情况在双面基板18、雷达装置10仅具备单一的波导管的情况下也是同样的。
[0136]“关于处理电路”[0137]
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在上述实施方式中，mmic54具有多个通道，但并不限于此。例如，也可以为多个通道的每一个各设置一个mmic。
[0138]
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在上述实施方式中，将mmic54和执行基于mmic54的收发处理的控制以及mmic54输出的信号的解析处理的微机56设为不同的部件，但它们也可以成为一体。
[0139]“关于雷达装置”[0140]
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发送用的天线62的数量、接收用的天线62的数量并不限于上述实施方式中例示的情况。例如，在不进行相控阵处理的情况下等，对于发送用的天线62，也可以仅具备一个。
[0141]
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不限于在单一的双面基板18安装有mmic54以及微机56。例如，也可以将安装有mmic54的双面基板和安装有微机56的基板设为不同的基板。
[0142]
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作为雷达装置，不限于输出信号包含与车辆的外部的物体的相对速度以及距离的检测结果信号。例如，也可以将在雷达装置的外部为了计算与车辆的外部的物体的相对速度以及距离而利用的信号设为输出信号。
[0143]
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作为车辆用的雷达装置，不限于收发76～77ghz的雷达的装置。例如，也可以是收发76～80ghz的雷达的装置，另外，例如，也可以是收发24ghz频带的雷达的装置。话虽如此，也不限于收发毫米波的雷达的装置。
[0144]“其它”[0145]
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作为电介质层的材质，不限于在上述实施方式中例示的内容。
[0146]
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作为导体层的材质，不限于在上述实施方式中例示的内容。
[0147]
本公开以实施例为基准进行了描述，但应理解为本公开并不限定于该实施例、构造。本公开也包含各种变形例、等同范围内的变形。其中，各种组合、方式，进一步仅包含它们中一个要素、一个以上、或一个以下的其它组合、方式也纳入到本公开的范畴、思想范围。