异物检查装置的制作方法

1.本发明涉及一种异物检查装置。


背景技术：

2.当前，例如在食品制造的领域中，利用金属探测器或x射线检查装置进行非破坏性异物检查。例如专利文献1中记载的包装体的检查装置被构成为包括使在外装体收纳有内容物的包装体移动的移动机构、对包装体照射x射线的照射部、检知透过了包装体的x射线的检知部、对包装体进行照明的照明部和取得包装体的光学图像的光学检知部。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：国际公开第2015/049765号


技术实现要素：

6.发明所要解决的问题
7.上述那样的x射线检查装置擅长发现源自金属、石头、玻璃之类的硬物质的异物。另一方面，x射线检查装置不擅长发现源自塑料、虫子、毛发、霉菌之类的软物质的异物。作为用于源自软物质的异物的发现的装置，例如可列举利用红外线的红外线检查装置。但是，以x射线检查装置的制造者与红外线检查装置的制造者全然不同为背景，双方的技术取得了不同的进步。因此，为了实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查，需要分别配备x射线检查装置和红外线检查装置，期待出现紧凑的异物检查装置。
8.本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供能够紧凑地实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查的异物检查装置。
9.解决问题的技术手段
10.本发明的一个方面所涉及的异物检查装置，是检查检查对象物中的异物的有无的异物检查装置，包括：将检查对象物沿规定的搬送方向搬送的搬送部；对由搬送部搬送的检查对象物照射x射线的x射线照射部；检测透过了检查对象物的x射线，输出基于检测结果的x射线图像数据的x射线检测部；对由搬送部搬送的检查对象物照射红外线的红外线照射部；检测来自检查对象物的红外线，输出基于检测结果的红外线图像数据的红外线检测部；具有遮蔽x射线且使红外线透过的部件，以覆盖红外线照射部和红外线检测部的方式设置的保护部；和生成基于x射线图像数据的检查对象物的x射线图像，且生成基于红外线图像数据的检查对象物的红外图像的图像生成部。
11.在该异物检查装置中，对由检查对象物搬送的检查对象物依次实施利用x射线的照射的异物的检查和利用红外线的照射的异物的检查。因此，与分别配备x射线检查装置和红外线检查装置的情况相比，能够紧凑地实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查。此外，在使用x射线和红外线双方时，以覆盖红外线照射部和红外线检测部的方式设置具有遮蔽x射线且使红外线透过的部件的保护部。因此，能够防止由于x射线的辐射而
在红外线照射部和红外线检测部产生不良状况，能够高精度地实施异物的检查。
12.也可以是向检查对象物的x射线的照射位置与红外线的照射位置相对于搬送方向为不同的位置，x射线检测部的x射线的检测时机与红外线检测部的红外线的检测时机同步。这样，通过使x射线的照射位置与红外线的照射位置不同，且使x射线的检测时机与红外线的检测时机同步，即使在检查对象物具有一定的厚度的情况下，也能够使利用x射线的检查位置与利用红外线的检查位置一致。
13.x射线检测部也可以与x射线的检测时机相应地向红外线检测部输出同步信号。由此，能够使x射线检测部的x射线的检测时机与红外线检测部的红外线的检测时机适当地同步。
14.红外线检测部也可以与红外线的检测时机相应地向x射线检测部输出同步信号。由此，能够使x射线检测部的x射线的检测时机与红外线检测部的红外线的检测时机适当地同步。
15.异物检查装置也可以进一步包括使x射线检测部的x射线的检测时机与红外线检测部的红外线的检测时机同步的同步部。由此，能够使x射线检测部的x射线的检测时机与红外线检测部的红外线的检测时机适当地同步。
16.同步部也可以由脉冲发生器构成。在这种情况下，能够利用脉冲发生器高精度地生成同步信号。
17.同步部也可以由检测搬送部的检查对象物的移动量的编码器构成。在这种情况下，能够利用编码器高精度地生成同步信号。
18.红外线检测部也可以检测在检查对象物反射的红外线和透过检查对象物的红外线的至少一者。由此，能够适当地实施从检查对象物的一面侧起的检查或者另一面侧的检查。
19.红外线检测部也可以具有与来自检查对象物的红外线的光路对应地配置的狭缝。由此，能够降低从红外线的光路外向红外线检测部的x射线的入射。
20.图像生成部也可以生成将x射线图像与红外图像重叠的重叠图像。由此，能够在重叠图像中一次性地确认利用x射线的检查结果和利用红外线的检查结果。
21.图像生成部也可以在以x射线图像的像素数与红外图像的像素数一致的方式对x射线图像和红外图像的一者进行修正之后，将x射线图像与红外图像重叠。由此，能够提高使用了重叠图像的异物的检测精度。
22.也可以还包括：对由搬送部搬送的检查对象物照射紫外线的紫外线照射部；检测来自检查对象物的紫外线，输出基于检测结果的紫外线图像数据的紫外线检测部；和具有遮蔽x射线且使紫外线透过的部件，以覆盖紫外线照射部和紫外线检测部的方式设置的保护部。在这种情况下，例如能够进行检查对象物的自体荧光的检测等，能够进行更广泛种类的异物的检查。
23.发明的效果
24.根据本发明，能够紧凑地实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查。
附图说明
25.图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。
26.图2是表示图1所示的异物检查装置的功能性结构要素的框图。
27.图3是表示修正图表(chart)的一个例子的俯视图。
28.图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。
29.图5是表示本发明的第3实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。
30.图6是表示图5所示的异物检查装置的功能性结构要素的框图。
31.图7是表示检查方式与可检查的异物的对应关系的图。
32.图8(a)和(b)是表示保护部的变形例的概略图。
33.图9(a)和(b)是表示红外线线传感器的另一个例子的概略的图。
34.图10(a)和(b)是表示红外线线传感器的又一个例子的概略的图。
具体实施方式
35.以下，参照附图，详细地说明本发明的一个方面所涉及的异物检查装置的优选实施方式。
36.图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。此外，图2是表示图1所示的异物检查装置的功能性结构要素的框图。该异物检查装置1是使用x射线l1和红外线l2双方连续地检查检查对象物s中的异物的混入的有无的装置。作为检查对象物s，例如可列举包装食品的包装体等。异物检查装置1中作为检查对象的异物是硬物质和软物质双方。硬物质例如是金属、石头、玻璃之类密度比较高的物质。软物质例如是塑料、虫子、毛发、霉菌之类密度比较低的物质。
37.如图1所示，异物检查装置1包括遮蔽箱2。遮蔽箱2以检查中使用的x射线l1不漏出到遮蔽箱2的外部的方式，利用能够遮蔽x射线l1的铅等材料形成。在遮蔽箱2中彼此相对的侧面部分2a、2a，分别设置有将检查对象物s导入遮蔽箱2的导入口3和用于将检查对象物s从遮蔽箱2排出的排出口4。
38.如图1和图2所示，异物检查装置1包括搬送部5、x射线照射部6、x射线检测部7、红外线照射部8、红外线检测部9、同步部10、图像生成部11、判定部12和显示部13。搬送部5是将检查对象物s沿规定的搬送方向搬送的部分。在图1的例子中，搬送部5由与遮蔽箱2的导入口3和排出口4的位置对应地水平配置的多个传送带14构成。通过多个传送带14，多个检查对象物s以一定的速度且一定的间隔从图1的纸面右侧向纸面左侧搬送。从导入口3导入遮蔽箱2内的检查对象物s，在遮蔽箱2内接受x射线l1和红外线l2的检查后，从排出口4排出至遮蔽箱2外。
39.x射线照射部6是对由搬送部5搬送的检查对象物s照射x射线l1的部分。在本实施方式中，x射线照射部6例如由x射线管15构成，在遮蔽箱2内的排出口4侧配置在搬送部5的上方。在x射线管15的x射线焦点(点光源)产生的x射线l1，从x射线管15向下方出射。x射线l1在透过搬送部5上的检查对象物s后，向x射线检测部7入射。在本实施方式中，在向检查对象物s的x射线l1的照射位置上存在传送带14、14间的间隙。由此，透过了检查对象物s的x射线l1不照射到传送带14而朝向x射线检测部7。
40.x射线检测部7是检测透过了检查对象物s的x射线l1并输出基于检测结果的x射线
图像数据的部分。x射线检测部7例如由x射线线传感器18构成，配置在作为x射线照射部6的正下方的位置且搬送部5的下方。x射线检测部7检测透过了检查对象物s的x射线l1，生成基于检测结果的x射线图像数据。然后，x射线检测部7将所生成的x射线图像数据向图像生成部11输出(参照图2)。构成x射线检测部7的x射线线传感器既可以是单线传感器，也可以是多线传感器。x射线检测部7也可以由tdi(time delay integration(时间延迟积分))传感器构成。x射线检测部7也可以是双能量x射线线传感器等与多能量对应的检测器。检测方式既可以为使用闪烁器的间接转换方式，也可以为不使用闪烁器的直接转换方式。
41.在图1的例子中，成为x射线l1通过传送带14、14间的间隙的方式，但也可以为通过由具有相对于x射线的透过性的材料构成传送带14，在传送带14不产生间隙的方式。此外，也可以在x射线管15与检查对象物s之间设置由遮蔽x射线的部件构成的狭缝，减轻x射线l向检查对象物s以外的照射。在这种情况下，狭缝能够由能够遮蔽x射线l1的铅、钨、铁、不锈钢、铜等形成。
42.红外线照射部8是对由搬送部5搬送的检查对象物s照射红外线l2的部分。红外线照射部8例如由一对红外光源16、16构成。作为红外光源16，例如可使用发光二极管、卤素灯、激光光源等。红外线检测部9是检测来自检查对象物s的红外线l2，并将基于检测结果的红外线图像数据输出的部分。红外线检测部9例如由ingaas线传感器等红外线线传感器17构成。此处，红外线检测部9检测在检查对象物s反射的红外线l2的一部分成分，生成基于检测结果的红外线图像数据。然后，红外线检测部9将所生成的红外线图像数据向图像生成部11输出(参照图2)。构成红外线检测部9的红外线线传感器17与x射线检测部7一样，既可以是单线传感器，也可以是具有多个线传感器的多线传感器。多线传感器也可以按每个线传感器具有不同的灵敏度波长。红外线线传感器17也可以由tdi传感器构成。作为红外线检测部9，除红外线线传感器17以外，例如还能够使用组合能够从可见波长至红外波长进行分光的成像分光光学系统和二维的检测元件而得的成像分光相机。
43.在本实施方式中，向检查对象物s的x射线l1的照射位置与红外线l2的照射位置，相对于搬送方向为不同的位置。在图1的例子中，向检查对象物s的红外线l2的照射位置为搬送方向的前级侧，向检查对象物s的x射线l1的照射位置为搬送方向的后级侧。相对于检查对象物s的搬送方向的向检查对象物s的x射线l1的照射位置与红外线l2的照射位置的前后关系也可以与图1的例子相反。即，向检查对象物s的红外线l2的照射位置为搬送方向的后级侧，向检查对象物s的x射线l1的照射位置为搬送方向的前级侧。
44.在本实施方式中，如图1和图2所示，红外线照射部8和红外线检测部9由检查检查对象物s的一面侧的红外线照射部8a和红外线检测部9a以及检查检查对象物s的另一面侧的红外线照射部8b和红外线检测部9b构成。红外线照射部8a和红外线检测部9a在遮蔽箱2内的导入口3侧配置在搬送部5的下方。从红外线照射部8a向上方出射的红外线l2的一部分成分，在搬送部5上的检查对象物s的一面侧反射后，向红外线检测部9a入射。
45.在本实施方式中，在向检查对象物s的一面侧的红外线l2的照射位置上存在传送带14、14间的间隙，朝向检查对象物s的红外线l2和在检查对象物s的一面侧反射后的红外线l2不照射到传送带14而朝向红外线检测部9a。此外，红外线照射部8b和红外线检测部9b在红外线照射部8a和红外线检测部9b的后级侧配置在搬送部5的上方。从红外线照射部8b向下方出射的红外线l2的一部分成分，在搬送部5上的检查对象物s的另一面侧反射后，向
红外线检测部9b入射。在图1的例子中，使红外线l2通过传送带14、14间的间隙，但也可以设为通过由具有相对于红外线的透过性的材料构成传送带14，不使传送带14产生间隙的方式。
46.如图1所示，红外线照射部8和红外线检测部9配置在保护部21内。该保护部21以覆盖红外线照射部8和红外线检测部9的方式设置。保护部21的主体部分21a例如与遮蔽箱2一样，由能够遮蔽x射线l1的铅、钨、铁、不锈钢、铜等材料形成。在保护部21的前表面部分(位于来自红外线照射部8的红外线l2和来自检查对象物s的红外线l2的光路上的部分)，设置有由遮蔽x射线l1且使红外线l2透过的部件形成的窗口部21b。作为窗口部21b的形成材料，例如可列举铅玻璃。此外，作为窗口部21b的形成材料，还能够使用无铅的放射线遮蔽玻璃。无铅的放射线遮蔽玻璃例如也可以含有sr、ba、ti、b、w、si、gd、zr等重元素。窗口部21b的形成材料并不限定于玻璃，也可以是丙烯等树脂。
47.此外，红外线检测部9如图1所示具有与来自检查对象物s的红外线l2的光路对应地配置的狭缝22。狭缝22例如与遮蔽箱2一样，由能够遮蔽x射线l1的铅、钨、铁、不锈钢、铜等材料形成。狭缝22既可以具有一定的厚度，也可以为筒状。通过增加狭缝22的厚度，能够防止散射x射线和红外杂光的入射，能够降低起因于散射x射线和红外杂光的噪声。由此提高sn比，实现检查精度的提高。狭缝22的形成材料也可以与窗口部21b一样，为铅玻璃或无铅的放射线遮蔽玻璃。在本实施方式中，狭缝22在保护部21的内部，配置在红外线检测部9的检测面的附近。狭缝22的前端部也可以位于保护部21(窗口部21b)的外侧。此外，狭缝22的后端部也可以位于保护部21(窗口部21b)的外侧。即，也可以是狭缝22的整体位于保护部21(窗口部21b)的外侧。
48.同步部10、图像生成部11和判定部12由在物理上包含例如处理器、存储器等的计算机系统构成。作为计算机系统，例如可列举个人计算机、微型计算机、云服务器、智能设备(智能手机、平板终端等)等。图像生成部11既可以由pld(programmable logic device(可编程逻辑器件))构成，也可以由fpga(field-programmable gate array(现场可编程门阵列))等集成电路构成。
49.同步部10是使x射线检测部7的x射线l1的检测时机与红外线检测部9的红外线l2的检测时机同步的部分。在本实施方式中，同步部10由脉冲发生器构成，与x射线检测部7和红外线检测部9(9a、9b)可通信地连接。在这种情况下，同步部10以检查对象物s从红外线l2的照射位置至被搬送至x射线l1的照射位置所需的时间为延迟时间。同步部10在向红外线检测部9输出同步信号后，从红外线检测部9的红外线l2的检测时刻起经过延迟时间之时向x射线检测部7输出同步信号。
50.图像生成部11是生成检查对象物s的检查图像的部分。图像生成部11从x射线检测部7接受x射线图像数据，从红外线检测部9(9a、9b)接受红外线图像数据。图像生成部11基于x射线图像数据生成检查对象物s的x射线图像，基于红外线图像数据生成检查对象物s的红外图像。然后，图像生成部11生成将x射线图像与红外图像重叠的重叠图像，并将该重叠图像作为检查图像向判定部12输出。在生成重叠图像时，图像生成部11在以x射线图像的像素数与红外图像的像素数一致的方式对x射线图像和红外图像的一者进行修正后，将x射线图像与红外图像重叠。
51.在进行x射线图像与红外图像的重叠时，需要使x射线图像的像素位置与红外线图
像的像素位置对准。关于这一点，在本实施方式中，例如使用图3所示那样的修正图表25。修正图表25例如是在矩形的不锈钢板设置了矩阵状的细孔25a的表。作为实施检查对象物s的检查时的事前准备，利用搬送部5搬送该修正图表25，取得修正图表25的x射线图像和红外图像。通过变换所取得的修正图表25的x射线图像和红外图像，能够使x射线图像的像素位置与红外线图像的像素位置对准。作为图像变换方法，例如可列举仿射变换和投影变换等。
52.判定部12是基于检查图像判定检查对象物s中的异物的有无的部分。判定部12如果从图像生成部11接受检查对象物s的检查图像，则对该检查图像实施规定的图像处理等，判定异物的有无。判定部12将表示判定结果的信息与检查图像一起向显示部13输出。显示部13例如是显示器，将表示判定结果的信息与检查图像一起进行显示。异物检查装置1也可以除了显示部13以外，包括在判定为在检查对象物s存在异物的情况下以警告音等报知该信息的报知部。
53.在具有以上的结构的异物检查装置1中，对由检查对象物s搬送的检查对象物s，依次实施利用x射线l1的照射的异物的检查和利用红外线l2的照射的异物的检查。因此，与分别配备x射线检查装置和红外线检查装置的情况相比，能够紧凑地实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查。此外，与分别配置x射线检查装置和红外线检查装置的情况相比，由于装置间的检查对象物s的交接等而产生的搬送物的偏差变少，能够提高检查精度。此外，在异物检查装置1中，在使用x射线l1和红外线l2双方时，以覆盖红外线照射部8和红外线检测部9的方式设置有具有遮蔽x射线l1且使红外线l2透过的部件的保护部21。因此，能够防止由于x射线l1的辐射而在红外线照射部8和红外线检测部9产生不良状况，能够高精度地实施异物的检查。
54.此外，在异物检查装置1中，向检查对象物s的x射线l1的照射位置与红外线l2的照射位置相对于搬送方向为不同的位置，x射线检测部7的x射线l1的检测时机与红外线检测部9的红外线l2的检测时机通过同步部10同步。在相对于搬送方向在同一位置上将x射线l1和红外线l2照射于检查对象物s的情况下，例如需要从检查对象物s的正上方照射红外线l2，另一方面，从检查对象物s的斜上方照射x射线。在这种情况下，如果在检查对象物s具有一定的厚度，则考虑利用x射线的检查位置与利用红外线的检查位置会发生偏离。与此相对，在异物检查装置1中，通过使x射线l1的照射位置与红外线l2的照射位置不同，且使x射线l1的检测时机与红外线l2的检测时机同步，即使在检查对象物s具有一定的厚度的情况下，也能够使利用x射线l1的检查位置与利用红外线l2的检查位置一致。
55.此外，在异物检查装置1中，同步部10由脉冲发生器构成。由此，能够利用脉冲发生器高精度地生成同步信号。
56.此外，在异物检查装置1中，红外线检测部9(9a、9b)分别检测在检查对象物s的一面侧和另一面侧反射的红外线l2。由此，能够适当地实施来自检查对象物s的一面侧的检查和来自另一面侧的检查。
57.此外，在异物检查装置1中，红外线检测部9具有与来自检查对象物s的红外线l2的光路对应地配置的狭缝22。通过这样的狭缝22的配置，能够降低来自红外线l2的光路外的向红外线检测部9的x射线l1的入射。狭缝22既可以具有一定的厚度，也可以为筒状。通过增加狭缝22的厚度，能够防止散射x射线和红外杂光的入射，能够降低起因于散射x射线和红外杂光的噪声。由此提高sn比，实现检查精度的提高。
58.此外，在异物检查装置1中，图像生成部11生成将x射线图像与红外图像重叠的重叠图像。通过使用这样的重叠图像作为检查对象物s的检查图像，能够在重叠图像中一次性地确认x射线l1的检查结果和红外线l2的检查结果。
59.图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。如该图所示，第2实施方式所涉及的异物检查装置31在红外线检测部9b成为检测透过了检查对象物s的红外线l2的结构的方面，与第1实施方式不同。更具体而言，在异物检查装置31中，构成搬送部5的传送带14由具有相对于红外线l2的透过性的材料构成。此外，红外线照射部8b配置在该传送带14的内侧(搬送面的下侧)。红外线照射部8b也可以被遮蔽x射线l的材料防护。从红外线照射部8b出射的红外线l2在透过传送带14之后，从搬送部5上的检查对象物s的一面侧透过至另一面侧，向红外线检测部9b入射。
60.在这样的异物检查装置31中，也与第1实施方式一样，能够紧凑地实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查。此外，能够防止由于x射线l1的辐射而在红外线照射部8和红外线检测部9产生不良状况，能够高精度地实施异物的检查。在异物检查装置31中，由于组合透过检查对象物s的红外线l2与在检查对象物s的一面侧反射的红外线l2来检查异物的有无，所以能够实现异物的检查精度的提高。
61.在图4的方式中，传送带14由具有相对于红外线l2的透过性的材料构成，红外线照射部8b配置在该传送带14的内侧，但也可以设为在红外线照射部8b的红外线l2的照射位置上存在传送带14、14间的间隙，使来自红外线照射部8b的红外线l2不照射到传送带14而朝向检查对象物s的结构。此外，在图4的方式中，红外线照射部8b从检查对象物s的下侧照射红外线l2，但也可以设为红外线照射部8b从检查对象物s的上侧照射红外线l2的结构。
62.图5是表示本发明的第3实施方式所涉及的异物检查装置的结构的概略图。此外，图6是表示图5所示的异物检查装置的功能性结构要素的框图。如该图所示，第3实施方式所涉及的异物检查装置41在进一步组合利用紫外线l3的检查的方面，与第1实施方式不同。更具体而言，在异物检查装置41中，取代红外线照射部8a和红外线检测部9a，设置有紫外线照射部42和紫外线检测部43。紫外线检测部43在检测紫外线l3所引起的检查对象物s的自体荧光的情况下，也可以由能够检测该荧光(例如可见光)的单线传感器、多线传感器、tdi传感器等构成。
63.紫外线照射部42和紫外线检测部43配置在保护部44内。此处，保护部44的主体部分44a由能够遮蔽x射线l1的铅等材料形成，保护部44的窗口部44b由遮蔽x射线l1且使紫外线l3透过的部件形成。此外，在保护部44的内部，在紫外线检测部43的检测面的附近，配置有狭缝45。狭缝45与狭缝22一样，既可以具有一定的厚度，也可以为筒状。狭缝45的前端部也可以位于保护部44(窗口部44b)的外侧。此外，狭缝45的后端部也可以位于保护部44(窗口部44b)的外侧。即，也可以是狭缝45的整体位于保护部44(窗口部44b)的外侧。
64.从紫外线照射部42向上方出射的紫外线l3的一部分成分在搬送部5上的检查对象物s的一面侧反射后，向紫外线检测部43入射。紫外线检测部43输出基于检测结果的紫外线图像数据。图像生成部11生成将基于x射线图像数据的x射线图像、基于红外线图像数据的红外图像与基于紫外线图像数据的紫外线图像重叠的重叠图像，将该重叠图像作为检查对象物s的检查图像向判定部12输出。
65.在这样的异物检查装置41中，也与第1实施方式一样，能够紧凑地实施包括硬物质
和软物质在内的广泛种类的异物的检查。此外，能够防止由于x射线l1的辐射而在红外线照射部8、红外线检测部9、紫外线照射部42和紫外线检测部43产生不良状况，能够高精度地实施异物的检查。通过使用紫外线l3，例如能够进行检查对象物s的自体荧光的检测等，能够进行更广泛种类的异物的检查。
66.图7是表示检查方式与可检查的异物的对应关系的图。在该图中，针对金属探测器、x射线检测装置、红外线检测装置、紫外线(自体荧光)检测装置这4个检查方式，总结了可检查的异物。金属探测器是参考例。图中的“a”是指可检查，“b(b1～b3)”是指可在一定条件下检查，“c”是指检查困难。在金属探测器中，能够进行铁/sus的检测。在x射线检测装置中，能够进行铁/sus、石头、玻璃、橡胶和孔隙的检测。
67.在红外线检测装置中，能够进行铁/sus、石头、橡胶、塑料、水分、霉菌、毛发的检测。对于玻璃，透明的玻璃难以检测，但只要是半透明的玻璃就能够检测(图7的b1)。此外，对于气泡，在检查对象物的包装体透明的情况下能够检测(图7的b2)。在紫外线(自体荧光)检测装置中，能够进行灰尘、羽毛的检测，还考虑对鸡等的软骨的检测的应用。此外，根据种类还能够进行霉菌的检测(图7的b3)。因此可知，通过如上述的第1实施方式～第3实施方式那样，进行组合x射线l1与红外线l2的检查或者进一步组合紫外线l3的检查，能够实施包括硬物质和软物质在内的广泛种类的异物的检查。
68.本发明并不限定于上述实施方式。例如在上述实施方式中，同步部10由脉冲发生器构成，但同步部10也可以由编码器构成。在这种情况下，编码器检测搬送部5的检查对象物s的移动量，在检查对象物s从红外线l2的照射位置被搬送至x射线l1的照射位置时向x射线检测部7输出同步信号。此外，也可以不使用脉冲发生器和编码器，而从x射线检测部7向红外线检测部9输出同步信号，还可以从红外线检测部9向x射线检测部7输出同步信号。配置紫外线检测部43时也一样。
69.在上述各实施方式中，对于从搬送部5上的检查对象物s的哪个面照射x射线l1、红外线l2和紫外线l3，能够根据检查对象物s的种类、形状等适当变更。例如在上述各实施方式中，检测从检查对象物s的另一面侧透过至一面侧的x射线l1，但也可以设为检测从检查对象物s的一面侧透过至另一面侧的x射线l1的方式。
70.红外线检测部9的配置数并不限定于2个，既可以为1个，也可以为3个以上。在配置多个红外线检测部9的情况下，也可以从一个红外线检测部9向其它红外线检测部9输出同步信号以取得同步。图像生成部11除进行使检查对象物s的各检查图像的像素数一致的处理以外，也可以进行将各检查图像无量纲化而使比率彼此一致的处理。
71.此外，例如在图4所示的第2实施方式中，检测在检查对象物s的一面侧反射的红外线l2和从检查对象物s的一面侧透过至另一面侧的红外线l2，但也可以设为检测在检查对象物s的另一面侧反射的红外线l2和从检查对象物s的一面侧透过至另一面侧的红外线l2的方式，还可以设为检测从检查对象物s的另一面侧透过至一面侧的红外线的方式。紫外线l3的检测也一样。此外，例如在图4所示的第2实施方式中，也可以追加检测在检查对象物s的一面侧反射的红外线l2的结构。
72.在上述各实施方式中，例示了对检查对象物s从上侧或下侧照射x射线l1、红外线l2、紫外线l3的方式(所谓纵型照射)，但检查方向并不限定于此。例如也可以为对检查对象物s从侧面侧照射x射线l1、红外线l2、紫外线l3的方式(所谓横型照射)。
73.在上述实施方式中，保护部21以覆盖红外线照射部8和红外线检测部9的方式构成，但也可以如图8(a)所示，由覆盖红外线照射部8的保护部21a和覆盖红外线检测部9的保护部21b构成保护部21。根据这样的结构，能够防止从红外线照射部8出射的红外线l2在保护部21内反射而被红外线检测部9直接检测到。保护部44也一样，也可以如图8(b)所示，由覆盖紫外线照射部42的保护部44a和覆盖紫外线检测部43的保护部44b保护部44构成。根据这样的结构，能够防止从紫外线照射部42出射的紫外线l3在保护部44内反射而被紫外线检测部43直接检测到。
74.作为构成红外线检测部9的红外线线传感器17，也可以使用在不同的波长区域具有灵敏度的红外线多线传感器17a。如图9(a)所示，红外线多线传感器17a具有利用无感带以规定的间隔配置的红外线线传感器171a和红外线线传感器172a。红外线多线传感器17a以红外线线传感器171a和红外线线传感器172a的延伸方向与检查对象物s的搬送方向正交的方式配置。
75.如图9(b)所示，在红外线线传感器171a上配置有透过第一红外波长区域的红外线的光学滤波器171b，在红外线线传感器172a上配置有透过第二红外波长区域的红外线的光学滤波器172b。第一红外波长区域例如为900nm以上1400nm以下。第二红外波长区域例如为1400nm以上1700nm以下。
76.在红外线多线传感器17a中，例如作为异物检测食品内的虫子、塑料、木片、橡胶等的情况下，通过取得波长900nm以上1400nm以下的红外线的图像与波长1400nm以上1700nm以下的红外线的图像之比或差，容易进行食品与异物(虫子、塑料、橡胶等)的辨别。这是因为，相对于食品的红外线的吸光度在波长1400nm以上的区域大幅变化，异物的吸光度在同一区域不大幅变化。另外，第一红外波长区域与第二红外波长区域的一部分彼此也可以重叠。
77.在红外线多线传感器17a中，也可以基于无感带的宽度和检查对象物s的搬送速度设定控制红外线线传感器17a进行的摄像的第一控制脉冲和控制红外线线传感器172a进行的摄像的第二控制脉冲。在这种情况下，既可以基于无感带的宽度和检查对象物s的搬送速度设定第一控制脉冲的频率和第二控制脉冲的频率，也可以基于无感带的宽度和检查对象物s的搬送速度设定第一控制脉冲的上升沿相对于第二控制脉冲的上升沿的延迟时间。由此，还能够根据不同的波长取得检查对象物s的相同位置处的红外线图像。
78.此外，作为构成红外线检测部9的红外线线传感器17，也可以使用在不同的波长区域具有灵敏度的红外线多线传感器17b。如图10(a)所示，红外线多线传感器17b具有利用无感带以规定的间隔配置的红外线线传感器171a、红外线线传感器172a和红外线线传感器173a。红外线多线传感器17a以红外线线传感器171a、红外线线传感器172a和红外线线传感器173a的延伸方向与检查对象物s的搬送方向正交的方式配置。
79.如图10(b)所示，在红外线线传感器171a上配置有透过第一红外波长区域的红外线的光学滤波器171b，在红外线线传感器172a上配置有透过第二红外波长区域的红外线的光学滤波器172b，在红外线线传感器173a上配置有透过第三红外波长区域的红外线的光学滤波器173b。第一红外波长区域例如为900nm以上1200nm以下。第二红外波长区域例如为1200nm以上1400nm以下。第三红外波长区域例如为1400nm以上1700nm以下。
80.在红外线多线传感器17b中，例如作为异物检测食品内的虫子、多个种类的塑料、
木片、橡胶等的情况下，通过取得波长900nm以上1200nm以下的红外线的图像、波长1200nm以上1400nm以下的红外线的图像、和波长1400nm以上1700nm以下的红外线的图像之比或差，容易进行食品与异物(虫子、塑料、橡胶等)的辨别，此外，能够进行食品内的虫子、多个种类的塑料、木片、橡胶等的种类的辨别。另外，既可以使第一红外波长区域与第二红外波长区域的一部分彼此重叠，也可以使第二红外波长区域与第三红外波长区域的一部分彼此重叠。
81.符号的说明
82.1、31、41
…
异物检查装置、5
…
搬送部、6
…
x射线照射部、7
…
x射线检测部、8(8a，8b)
…
红外线照射部、9(9a，9b)
…
红外线检测部、10
…
同步部、11
…
图像生成部、21(21a，21b)、44(44a，44b)
…
保护部、22
…
狭缝、42
…
紫外线照射部、43
…
紫外线检测部、l1
…
x射线、l2
…
红外线、l3
…
紫外线、s
…
检查对象物。