1.一种执行量测的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述测量数据的所述处理使用机器学习模型以根据所检测的在所述光瞳平面中的辐射的分布获得所述量测信息。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，对所述机器学习模型的训练方法包括：
4.一种训练机器学习模型的方法，包括：
5.根据权利要求3或4所述的方法，其中，获得所述训练数据集还包括对所述目标部分中的每个目标部分执行第二测量过程。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一测量过程和所述第二测量过程中的任一种或两者包括利用非相干辐射束照射所述层的每个目标部分和检测由所述目标部分重新引导的辐射。
7.根据权利要求6所述的方法，其中：
8.根据权利要求3至7中任一项所述的方法，其中，所述第一测量过程包括获得所检测的在光瞳平面中的辐射的分布。
9.根据权利要求3至8中任一项所述的方法，其中，用于获得所述训练数据集的包括所述二维材料的所述层被支撑在非平面支撑表面上，所述非平面支撑表面的表面形貌被配置成在所述层中提供预定缺陷分布。
10.根据权利要求3至9中任一项所述的方法，其中，用于获得所述训练数据集的包括所述二维材料的所述层被支撑在具有非均匀组分的支撑表面上，所述支撑表面中的所述组分的空间变化被配置成在所述层中提供预定缺陷分布。
11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述机器学习模型是监督式机器学习模型，并且所述预定缺陷分布直接地用于为所述训练数据集中来自所述第一测量过程的所述测量数据提供标记。
12.一种用于在衬底上提供包括二维材料的层的方法，包括：
13.一种被配置成在衬底上执行量测的量测设备，所述量测设备包括：
14.一种被配置成训练机器学习模型的量测设备，所述量测设备包括：
15.根据权利要求14所述的量测设备，其中：