1.一种用于检测样本上的缺陷的方法，所述方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的方法，其中所述样本是图案化的晶片。
3.如权利要求1所述的方法，其中所述多重视角包括以下项目中的两者或更多者：一个或多个照射射束的一个或多个入射角、一个或多个收集的射束的一个或多个收集角、所述一个或多个照射射束的至少一个强度、以及所述一个或多个收集的射束的至少一个强度，以及上述项目的兼容组合。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述方法是基于光学的，并且其中所述多重视角包括以下项目中的两者或更多者：一个或多个照明角、所述照明辐射的强度、照明偏振、照明波前、照明光谱、所述照明光束的一个或多个焦点偏移、一个或多个收集角、所述收集的辐射的强度、收集偏振、所述一个或多个收集的射束的相位、亮场通道、灰场通道、返回的光的傅里叶滤波、以及选自强度、相位或偏振的感测类型，以及上述项目的兼容组合。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述整合分析包括：
6.如权利要求5所述的方法，进一步包括以下步骤：基于获得的所述扫描数据和所述参考数据来产生所述多重视角中的每一者中的所述第一区域的差异图像，并且其中与来自所述多个子区域的每个子区域相对应的所述差异值是从所述差异图像的与所述子区域相对应的子图像导出的和/或表征所述子图像。
7.如权利要求5所述的方法，其中所述噪声值是至少基于所述差异值来计算的。
8.如权利要求5所述的方法，其中所述确定所述多个子区域中的每一者是否有缺陷的步骤包括：
9.如权利要求5所述的方法，其中所述多个子区域中的至少一者具有与单个像素相对应的尺寸。
10.如权利要求1所述的方法，其中所述跨视角协方差是至少基于在所述样本的初步扫描时获得的扫描数据来估计的，在所述初步扫描中对所述样本的区域进行取样，每个取样的区域代表所述样本的区域群组，其中取样的所述区域中的至少一者代表所述第一区域。
11.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：在确定了缺陷的存在时，确定所述缺陷是否是感兴趣的缺陷，并且可选地，在所述缺陷被确定为是感兴趣的时候，对所述缺陷进行分类。
12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，关于多个附加区域中的每一者进行重复，以便扫描由所述第一区域和所述附加区域形成的所述样本的较大的区域。
13.一种用于获得和分析样本的多视角扫描数据的计算机化系统，所述系统包括：
14.如权利要求13所述的系统，其中所述扫描设备包括基于光学的成像器，并且其中所述多重视角包括以下项目中的两者或更多者：一个或多个照明角、所述照明辐射的强度、照明偏振、照明波前、照明光谱、所述照明光束的一个或多个焦点偏移、一个或多个收集角、所述收集的辐射的强度、收集偏振、所述一个或多个收集的射束的相位、亮场通道、灰场通道、返回的光的傅里叶滤波、以及选自强度、相位或偏振的感测类型，以及上述项目的兼容组合。
15.如权利要求13所述的系统，其中所述整合分析包括：
16.如权利要求15所述的系统，其中所述扫描数据分析模块被进一步配置为：基于获得的所述扫描数据和所述参考数据来产生所述多重视角中的每一者中的所述区域的差异图像，并且其中与来自所述多个子区域的每个子区域相对应的所述差异值是从所述差异图像的与所述子区域相对应的子图像导出的和/或表征所述子图像。
17.如权利要求15所述的系统，其中所述确定所述多个子区域中的每一者是否有缺陷的步骤包括：
18.一种存储指令的非暂时性计算机可读存储介质，所述指令使样本分析系统进行以下操作：
19.如权利要求18所述的存储介质，其中所述多重视角包括以下项目中的两者或更多者：一个或多个照明角、所述照明辐射的强度、照明偏振、照明波前、照明光谱、所述照明光束的一个或多个焦点偏移、一个或多个收集角、所述收集的辐射的强度、收集偏振、所述一个或多个收集的射束的相位、亮场通道、灰场通道、返回的光的傅里叶滤波、以及选自强度、相位或偏振的感测类型，以及上述项目的兼容组合。
20.如权利要求18所述的存储介质，其中所述整合分析包括：