1.一种用于检查箔片型透明物体(10)的装置,所述箔片型透明物体具有在所述透明物体的顶侧的第一表面(11)和在所述透明物体的底侧的第二表面(12),
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述相机(40)的在与相应的所述表面(11)的照射的所述线形区域相邻的物体侧端部中的光路(41,42)与所述光源(20)发射的所述电磁辐射(20)的光路(22)成小于20°的角度。
3.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述相机(40)的所述光路的所述物体侧端部(42)在一端由偏转镜(30)限定,并且在相对端由所述物体的所述照射表面(11)限定。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述至少一个光源(20)布置在所述偏转镜(30)旁边。
5.根据权利要求3或4所述的装置,其特征在于,所述偏转镜是部分透明的,并且从所述透明物体(10)观察时,所述至少一个光源布置在所述偏转镜的后面。
6.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述光源(20)被设计为具有线性光学器件的激光器,并且发射具有例如在可见光范围内的波长的电磁辐射。
7.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述相机(40)被设置为逐像素地检测反射的所述电磁辐射的强度。
8.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,设置有数据处理单元(50),所述数据处理单元连接到所述相机(40)并且所确定的所述强度数据能够被发送到所述数据处理单元,其中所述数据处理单元(50)被设置为使得其根据所述强度数据来确定在所述透明物体(10)的所述照射表面(11)上的颗粒的位置和/或尺寸。
9.一种用装置检查箔片型透明物体(10)的方法,所述箔片型透明物体具有在所述透明物体(10)的顶侧的第一表面(11)和在所述透明物体的底侧的第二表面(12),
10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述相机(40)以使得所述相机(40)的在与相应的所述表面(11)的照射的所述线形区域相邻的物体侧的端部中的光路(41,42)与由所述光源(20)发射的所述电磁辐射(20)的光路(22)成小于20°的角度的方式对准。
11.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,所述相机逐像素地检测反射的所述电磁辐射的强度。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法,其特征在于,通过连接到所述相机(40)并且被发送有所确定的所述强度的数据处理单元(50),根据所确定的所述强度来确定在所述透明物体(10)的所述照射表面(11)上的颗粒的位置和/或尺寸。