用于检查透明物体的表面的装置及相应方法与流程

文档序号:35131382发布日期:2023-08-15 05:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于检查箔片型透明物体(10)的装置,所述箔片型透明物体具有在所述透明物体的顶侧的第一表面(11)和在所述透明物体的底侧的第二表面(12),

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述相机(40)的在与相应的所述表面(11)的照射的所述线形区域相邻的物体侧端部中的光路(41,42)与所述光源(20)发射的所述电磁辐射(20)的光路(22)成小于20°的角度。

3.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述相机(40)的所述光路的所述物体侧端部(42)在一端由偏转镜(30)限定,并且在相对端由所述物体的所述照射表面(11)限定。

4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述至少一个光源(20)布置在所述偏转镜(30)旁边。

5.根据权利要求3或4所述的装置,其特征在于,所述偏转镜是部分透明的,并且从所述透明物体(10)观察时,所述至少一个光源布置在所述偏转镜的后面。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述光源(20)被设计为具有线性光学器件的激光器,并且发射具有例如在可见光范围内的波长的电磁辐射。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述相机(40)被设置为逐像素地检测反射的所述电磁辐射的强度。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,设置有数据处理单元(50),所述数据处理单元连接到所述相机(40)并且所确定的所述强度数据能够被发送到所述数据处理单元,其中所述数据处理单元(50)被设置为使得其根据所述强度数据来确定在所述透明物体(10)的所述照射表面(11)上的颗粒的位置和/或尺寸。

9.一种用装置检查箔片型透明物体(10)的方法,所述箔片型透明物体具有在所述透明物体(10)的顶侧的第一表面(11)和在所述透明物体的底侧的第二表面(12),

10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述相机(40)以使得所述相机(40)的在与相应的所述表面(11)的照射的所述线形区域相邻的物体侧的端部中的光路(41,42)与由所述光源(20)发射的所述电磁辐射(20)的光路(22)成小于20°的角度的方式对准。

11.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,所述相机逐像素地检测反射的所述电磁辐射的强度。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法,其特征在于,通过连接到所述相机(40)并且被发送有所确定的所述强度的数据处理单元(50),根据所确定的所述强度来确定在所述透明物体(10)的所述照射表面(11)上的颗粒的位置和/或尺寸。


技术总结
本发明涉及一种用于检查箔片型透明物体(10)以分别确定物体顶侧或底侧上颗粒的分布和尺寸的装置,箔片型透明物体具有在透明物体的顶侧的第一表面(11)和在透明物体的底侧的第二表面(12)。为此,装置包括相机(40)和至少一个光源(20),其中光源(20)被设计为使得由光源发射的电磁辐射从上方照射物体的第一表面(11)的线形区域(15)或从下方照射物体的第二表面(12)的线形区域(15),其中照射以与相应照射表面(11)成预定角度(α)地进行,其中相机(40)被设计为检测线形区域(15)的至少一部分中反射回来的电磁辐射的强度。预定角度(α)小于或等于15°,由光源(20)发射的电磁辐射主要是线性偏振和s偏振的。本发明还涉及一种检查方法。

技术研发人员:约瑟夫·德罗斯特,于尔根·雷科
受保护的技术使用者:伊斯拉视像有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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