技术特征：
1.一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：在光波导的端面、外表面等表面上布置有由金属纳米颗粒(1)、介质层(2)、金属膜(3)组成的纳腔结构；将金属膜(3)先布置在光波导的表面上，金属纳米颗粒(1)再通过介质层(2)隔绝地布置在金属膜(3)外表面上。2.根据权利要求1所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的光波导为光纤或者集成光波导(9)。3.根据权利要求1或2所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的光波导为非微纳光纤(7)，非微纳光纤(7)包括光纤包层(4)和光纤纤芯(5)，设置纳腔结构在非微纳光纤(7)的端面上，具体是将金属膜(3)布置在非微纳光纤(7)的端面上且完整覆盖非微纳光纤(7)的光纤纤芯(5)，金属膜(3)外表面布置一层介质层(2)，介质层(2)外表面固定上金属纳米颗粒(1)。4.根据权利要求1或2所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的光波导为微纳光纤(8)，设置纳腔结构在微纳光纤(8)的外周面上，具体是将金属膜(3)布置在微纳光纤(8)的外周面上，金属膜(3)外表面包覆一层介质层(2)，介质层(2)外表面固定上金属纳米颗粒(1)。5.根据权利要求1或2所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的光波导为集成光波导(9)，设置纳腔结构在集成光波导(9)的上表面上，具体是将金属膜(3)布置在集成光波导(9)的上表面上，金属膜(3)外表面包覆一层介质层(2)，介质层(2)外表面固定上金属纳米颗粒(1)。6.根据权利要求1所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的金属纳米颗粒(1)和金属膜(3)的材料为金、银、铜、铝等。7.根据权利要求1所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的金属膜(3)的厚度小于50nm，为采用热蒸镀、电子束蒸镀、磁控溅射等方法制备的多晶金属膜、或者化学方法合成的单晶金属片。8.根据权利要求1所述的一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法，其特征在于：所述的介质层(2)的厚度小于20nm，材料包括聚合物、有机分子、氧化硅、氧化铝等。
技术总结
本发明公开了一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法。在光波导的端面、外表面等表面上布置有由金属纳米颗粒、介质层、金属膜组成的纳腔结构；将金属膜先布置在光波导的表面上，金属纳米颗粒再通过介质层隔绝地布置在金属膜外表面上。本发明通过从金属膜下表面激发纳腔从而实现纳腔与光纤、集成光波导等光学系统的紧凑高效集成，不需要显微镜激发，易于集成、结构简单、成本廉价，满足纳腔等离激元器件小型化和集成化发展的需求。件小型化和集成化发展的需求。件小型化和集成化发展的需求。
技术研发人员：王攀 刘璐芳 仝远彪 童利民 郭欣 郑钧升 潘陈馨钰 李志勇
受保护的技术使用者：浙江大学
技术研发日：2022.01.20
技术公布日：2022/5/17