可携式检测装置及应用其的环境监控方法与流程

1.本发明实施例有关于一种可携式检测装置及应用其的环境监控方法。


背景技术：

2.无尘室配置有多种机台，为了确保机台正常运作或找出机台失效的原因，需要监控无尘室的环境信息。目前的检测方式是，检测器于无尘室内检测环境信息，并由人员记录检测位置。然而，人工纪录检测位置的方式常发生人为误记及不同人员所记录位置不一致(或偏差)等问题，导致所检测之环境信息并不客观。因此，提出一种新的无尘室环境监控机制是本技术领域业者努力目标之一。


技术实现要素：

3.本发明实施例有关于一种可携式检测装置及应用其的环境监控方法，可改善前述现有技术问题。
4.根据本发明之一实施例，提出一种应用于无尘室环境监控的可携式检测装置。可携式检测装置包括一摄像器、一检测器、一处理器及一显示器。摄像器用以撷取一条形码的一条形码影像。检测器用以检测条形码的一所在位置的一环境信息。处理器用以分析条形码影像，以取得条形码的所在位置。显示器用以显示条形码的所在位置的环境信息。
5.根据本发明的一实施例，提出一种应用于无尘室的环境监控方法。环境监控方法包括以下步骤。撷取一条形码的一条形码影像；分析条形码影像，以取得条形码的一所在位置；检测条形码的所在位置的一环境信息；以及，显示条形码的所在位置环境信息。
6.为了对本发明之上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附图式详细说明如下：
附图说明
7.图1绘示依照本发明一实施例的无尘室的数个机台的相对配置图。
8.图2绘示依照本发明一实施例的应用于无尘室环境监控的可携式检测装置的功能方块图。
9.图3绘示图1的显示器显示环境信息的示意图。
10.图4绘示应用图2的可携式检测装置的环境监控方法的流程图。
11.其中，附图标记：
12.10:无尘室
13.11:机台
14.12:条形码
15.100:可携式检测装置
16.110:摄像器
17.120:检测器
18.130:处理器
19.140:显示器
20.150:无线通信器
21.160:警示器
22.e1:环境信息
23.m1:条形码影像
24.m2:周围影像
25.p1:所在位置
26.s1:警示信号
27.s110～s140:步骤
具体实施方式
28.在附图中，为了清楚起见，放大了层、膜、面板、区域等的厚度。在整个说明书中，相同的附图标记表示相同的元件。应当理解，当诸如层、膜、区域或基板的元件被称为在另一元件“上”或“连接到”另一元件时，其可以直接在另一元件上或与另一元件连接，或者中间元件可以也存在。相反，当元件被称为“直接在另一元件上”或“直接连接到”另一元件时，不存在中间元件。如本文所使用的，“连接”可以指物理及/或电性连接。再者，“电性连接”或“耦合”系可为二元件间存在其它元件。
29.这里使用的术语仅仅是为了描述特定实施例的目的，而不是限制性的。如本文所使用的，除非内容清楚地指示，否则单数形式“一”、“一个”和“该”旨在包括复数形式，包括“至少一个”。“或”表示“及/或”。如本文所使用的，术语“及/或”包括一个或多个相关所列项目的任何和所有组合。还应当理解，当在本说明书中使用时，术语“包括”及/或“包括”指定所述特征、区域、整体、步骤、操作、组件的存在及/或部件，但不排除一个或多个其它特征、区域整体、步骤、操作、元件、部件及/或其组合的存在或添加。
30.此外，诸如“下”或“底部”和“上”或“顶部”的相对术语可在本文中用于描述一个元件与另一元件的关系，如图所示。应当理解，相对术语旨在包括除了图中所示的方位之外的装置的不同方位。例如，如果一个附图中的装置翻转，则被描述为在其他元件的“下”侧的元件将被定向在其他元件的“上”侧。因此，示例性术语“下”可以包括“下”和“上”的取向，取决于附图的特定取向。类似地，如果一个附图中的装置翻转，则被描述为在其它元件“下方”或“下方”的元件将被定向为在其它元件“上方”。因此，示例性术语“下面”或“下面”可以包括上方和下方的取向。
31.本文使用的“约”、“近似”、或“实质上”包括所述值和在本领域普通技术人员确定的特定值的可接受的偏差范围内的平均值，考虑到所讨论的测量和与测量相关的误差的特定数量(即，测量系统的限制)。例如，“约”可以表示在所述值的一个或多个标准偏差内，或
±
30％、
±
20％、
±
10％、
±
5％内。再者，本文使用的“约”、“近似”或“实质上”可依光学性质、蚀刻性质或其它性质，来选择较可接受的偏差范围或标准偏差，而可不用一个标准偏差适用全部性质。
32.除非另有定义，本文使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的相同的含义。将进一步理解的是，诸如在通常使用的字典中
定义的那些术语应当被解释为具有与它们在相关技术和本发明的上下文中的含义一致的含义，并且将不被解释为理想化的或过度正式的意义，除非本文中明确地这样定义。
33.请参照图1及图2，图1绘示依照本发明一实施例的无尘室10的数个机台11的相对配置图，而图2绘示依照本发明一实施例的应用于无尘室环境监控的可携式检测装置100的功能方块图。可携式检测装置100包括摄像器110、检测器120、处理器130、显示器140、无线通信器150及警示器160。
34.检测器120、处理器130及无线通信器150可以是由半导体工艺所形成的电路(circuit)结构。处理器130可电性连接于摄像器110、检测器120、显示器140及/或无线通信器150，以传送控制信号给此些元件及/或接收此些元件之信号，以控制此些元件的运作。
35.如图1所示，数台机台11配置于无尘室10。机台11例如是包括量测仪器、烘烤机、干蚀刻机、曝光显影机、涂布机、成膜机及/或其它半导体工艺所需要的处理机台。此些条形码12的至少一者可配置在此些机台11的至少一者上。例如，至少一机台11的各者上可配置有三个条形码12。在一机台11中，至少一条形码12可配置机台11的至少一侧面，例如，三个条形码12可配置在机台11的三个不同侧面。此外，条形码12例如是二维条形码或三维条形码。
36.如图2所示，摄像器110用以撷取条形码12的条形码影像。检测器120用以检测条形码12的所在位置p1的环境信息e1。处理器130用以分析条形码影像m1，以取得条形码12的所在位置p1。显示器140用以显示条形码12的所在位置p1的环境信息e1。如此，检测器120所检测的环境信息e1与其所在位置p1产生(或具有)对应关系，使所检测的环境信息e1更为客观。详言之，本发明实施例的环境信息e1对应特定的所在位置p1，此所在位置p1由扫描条形码12取得，因此不会发生人为误记位置等问题。且，条形码12与机台11的相对位置系固定，使所检测的环境信息e1有很高的明确性(对应的所在位置p1是明确的)，不会发生人为误差或误记等问题。
37.环境信息e1为无尘室10的空间中机台11之外的信息，例如可包含空间中温度、湿度、风速、悬浮微粒浓度、悬浮微粒颗数及/或其它发生在无尘室10的环境信息。
38.如图2所示，摄像器110更用以：当环境信息e1发生异常时，撷取条形码12的周围影像m2。处理器130更用以：依据周围影像m2及环境信息e1，判断异常的原因。详言之，当环境信息e1发生异常时，处理器130判断周围影像m2内是否有异常(如，人为干扰)；当周围影像m2有异常时，表示此异常的环境信息e1可能是人为干扰所致(非环境信息e1本身所造成的异常)，因此处理器130可忽略此异常的环境信息e1。在本实施例中，摄像器110例如是可拆离式，其可自可携式检测装置100的机壳拆离，以单独放置于无尘室10的特定位置，持续撷取(摄影)条形码12附近或条形码12所配置的机台11的周围影像m2。此外，拆离的摄像器110与可携式检测装置100可采用无线通信技术互通讯。
39.此外，检测器120的数量为至少一个，其可检测前述环境信息e1的种类，例如是温度感知器、湿度感知器、风速感知器及/或悬浮微粒浓度感知器等。如此，可携式检测装置100可实现一机多检测的技术功效。
40.如图1所示，显示器140用以显示数个机台11的相对配置图，以及显示此些条形码12的相对配置图。此外，显示器140可标记环境信息e1所对应的条形码12及/或机台11，例如，在显示器140所显示的相对配置图中，环境信息e1所对应的条形码12或机台11的影像可反白或闪烁，可让监控人员了解目前检测的环境信息e1所对应的条形码12及/或机台11。
41.如图2所示，无线通信器150用以传输环境信息e1至一外部电子装置，如服务器。外部电子装置可收集至少一可携式电子装置100的环境信息e1，并加以处理，如储存、分析等。
42.如图2所示，警示器160可发出警示信号s1。当环境信息e1发生异常时，警示器160发出警示信号s1。在一例子中，警示器160例如是声音产生器，警示信号s1为警示声。在另一例子中，警示器160例如是光发射器，警示信号s1为警示光。在其它例子中，警示器160例如是振动器，警示信号s1为振动信号。此外，警示信号s1可以是警示文字，其可由显示器140显示，在此例子中，可选择性省略警示器160。此外，处理器130可判断环境信息e1是否等于或高于门坎值t1(门坎值t1绘示于图3)；当环境信息e1等于或高于门坎值t1，处理器130控制警示器160发出警示信号s1。
43.请参照图3，其绘示图1的显示器140显示环境信息e1的示意图。显示器140更用以显示环境信息e1与时间的对应关系，例如是关系曲线。检测器120可持续检测一段时间的环境信息e1，显示器140可显示该段时间内的环境信息e1的变化趋势。该段时间例如是数秒钟、数分钟、数小时、数天等，该段时间的长度视实际需求而定，本发明实施例并不限定。在另一实施例中，显示器140可显示环境信息e1与时间的关系也可以用表格表示，不限于曲线。在其它实施例中，显示器140可只显示环境信息e1，而不显示时间。或者，显示器140可只显示异常的环境信息e1，但不显示正常的环境信息e1。
44.请参照图4，其绘示应用图2的可携式检测装置100的环境监控方法的流程图。
45.在步骤s110中，摄像器110撷取条形码12的条形码影像m1。在步骤s120中，处理器130分析条形码影像m1，以取得条形码12的所在位置p1。在步骤s130中，检测器120检测条形码12的所在位置p1的环境信息e1。在步骤s140中，显示器140显示条形码12的所在位置p1的环境信息e1。环境监控方法的其余实施例已于前述，于此不再赘述。
46.综上，本发明实施例提出一种可携式检测装置及应用其的环境监控方法，其所检测的环境信息对应于一明确的所在位置(例如是扫描条形码取得)，因此所检测的环境信息较为客观(相较于检测所在位置不确定时)。
47.当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。