一种基于吸湿材料的湿度探测装置的制作方法

文档序号:30163470发布日期:2022-05-26 09:05阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于,包括基底、凹槽、二维过渡金属硫属化合物层、第一电极、第二电极、吸湿材料部,所述凹槽设置在所述基底的表面,所述二维过渡金属硫属化合物层置于所述基底和所述凹槽上,所述二维过渡金属硫属化合物层覆盖所述凹槽,所述第一电极和所述第二电极分别置于所述二维过渡金属硫属化合物层上所述凹槽的两侧,所述吸湿材料部置于所述二维过渡金属硫属化合物层上所述凹槽的顶部。2.如权利要求1所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述吸湿材料部的中部厚,所述吸湿材料部的边缘薄。3.如权利要求2所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:还包括第二吸湿材料部,所述第二吸湿材料部固定在所述二维过渡金属硫属化合物层的下表面所述吸湿材料部的中部处。4.如权利要求3所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述吸湿材料部的表面为粗糙表面。5.如权利要求4所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述第二吸湿材料部的表面为粗糙表面。6.如权利要求5所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述第二吸湿材料部的中部厚,所述第二吸湿材料部的边缘薄。7.如权利要求6所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述第二吸湿材料部的尺寸小于所述吸湿材料部的尺寸。8.如权利要求1-7任一项所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述吸湿材料部和所述第二吸湿材料部的材料为聚酰亚胺。9.如权利要求8所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述二维过渡金属硫属化合物层的材料为硫化钼、碲化钼、硒化钼、硫化钨、碲化钨、硒化钨。10.如权利要求1-9任一项所述的基于吸湿材料的湿度探测装置,其特征在于:所述基底的材料为绝缘材料。

技术总结
本发明涉及湿度探测领域,具体提供了一种基于吸湿材料的湿度探测装置,凹槽设置在基底的表面,二维过渡金属硫属化合物层置于基底和凹槽上,二维过渡金属硫属化合物层覆盖凹槽,第一电极和第二电极分别置于二维过渡金属硫属化合物层上凹槽的两侧,吸湿材料部置于二维过渡金属硫属化合物层上凹槽的顶部。应用时,将本发明置于待测空间内,通过第一电极和第二电极测量二维过渡金属硫属化合物层导电特性的变化,实现待测湿度探测。本发明具有湿度探测灵敏度高的优点。测灵敏度高的优点。测灵敏度高的优点。


技术研发人员:刘翡琼
受保护的技术使用者:刘翡琼
技术研发日:2022.02.08
技术公布日:2022/5/25
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