液态金属基整手应变传感器及其制备方法

文档序号:30432544发布日期:2022-06-15 17:47阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种液态金属基整手应变传感器的制备方法,其特征在于,包括:激光切割:采用激光切割在中间弹性膜层上加工出由蛇形微通道构成的手部形状;采用激光切割在上弹性膜层上加工注入孔、在下弹性膜层上加工流出孔,所述注入孔与所述蛇形微通道的入口位置对应,所述流出孔与所述蛇形微通道的出口位置对应;键合:将加工好的三个弹性膜层键合成单元体,使上弹性膜层和下弹性膜层键合在中间弹性膜层的上下两侧,将蛇形微通道封装在单元体的中间;注液:利用夹具将所述单元体从上下两侧夹紧,通过注入孔向蛇形微通道内注入液态金属,直到注满后多余的液态金属从流出孔流出,完成注液;封装:将注入孔与流出孔用导线引出并封装,获得应变传感器。2.根据权利要求1所述的液态金属基整手应变传感器的制备方法,其特征在于,在注液流程中,所述夹具包括顶板和底板,所述顶板和底板上预设有通孔,顶板上的孔用于和注入孔对应连通,底板上的孔用于和流出孔对应连通;注液时,通过点胶针从顶板的孔引出上导管、从底板的孔引出下导管,通过所述上导管向所述注入孔注液,通过所述下导管对所述流出孔流出的液体进行导流。3.根据权利要求1所述的液态金属基整手应变传感器的制备方法,其特征在于,在键合流程中,先将其中两个弹性膜层键合成一体,再与第三个弹性膜层键合成一体。4.根据权利要求3所述的液态金属基整手应变传感器的制备方法,其特征在于,键合之前,将待键合的两个弹性膜层放入等离子清洗机中进行表面改性。5.根据权利要求1所述的液态金属基整手应变传感器的制备方法,其特征在于,所述激光切割,还包括分别在三个弹性膜层对应位置上加工定位孔,所述定位孔用于在键合时对各弹性膜层进行叠放定位。6.一种根据权利要求1-5任一所述的液态金属基整手应变传感器的制备方法制得的应变传感器,其特征在于,由上弹性膜层、中间弹性膜层和下弹性膜层键合而成。7.根据权利要求6所述的应变传感器,其特征在于,所述蛇形微通道分布在所述手部形状的每个手指的两个关节位置处。8.根据权利要求6所述的应变传感器,其特征在于,各所述蛇形微通道的入口排成一行,各所述蛇形微通道的出口排成另一行。

技术总结
本发明涉及一种液态金属基整手应变传感器的制备方法,包括:采用激光切割在中间弹性膜层上加工出由蛇形微通道构成的手部形状;在上弹性膜层上加工注入孔、在下弹性膜层上加工流出孔,注入孔与蛇形微通道的入口位置对应,流出孔与蛇形微通道的出口位置对应;将加工好的三个弹性膜层键合成单元体,使上弹性膜层和下弹性膜层键合在中间弹性膜层的上下两侧;利用夹具将单元体从上下两侧夹紧,通过注入孔向蛇形微通道内注入液态金属,直到注满后多余的液态金属从流出孔流出,完成注液;将注入孔与流出孔用导线引出并封装,获得应变传感器。还涉及一种整手应变传感器,采用三层硅胶膜键合而成,检测精度和灵敏性高,同时满足了轻便性与延展性的需求。与延展性的需求。与延展性的需求。


技术研发人员:翟培然
受保护的技术使用者:东南大学
技术研发日:2022.02.18
技术公布日:2022/6/14
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