光学探测器和几何形状测量装置的制作方法

文档序号:32565215发布日期:2022-12-16 18:33阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种光学探测器,其特征在于,包括:辐照部,所述辐照部利用激光辐照待测量物体;成像部,所述成像部接收由所述待测量物体反射的激光并捕获所述待测量物体的图像;第一驱动部,所述第一驱动部在所述激光对所述待测量物体进行辐照的辐照方向上移动所述辐照部;以及第二驱动部,所述第二驱动部在激光从所述待测量物体反射的反射方向和与所述反射方向正交的正交方向上移动所述成像部。2.根据权利要求1所述的光学探测器,其中,所述辐照部包括发射激光的光源和准直从所述光源发射的激光的准直透镜,并且所述第一驱动部相对于所述光源在所述辐照方向上平移所述准直透镜。3.根据权利要求1所述的光学探测器,其中,所述成像部包括:捕获所述待测量物体的图像的成像元件;以及在所述成像元件上形成从所述待测量物体反射的激光的图像的图像形成透镜,并且所述第二驱动部在所述反射方向和所述正交方向上移动所述成像元件和所述图像形成透镜。4.根据权利要求3所述的光学探测器,还包括:第三驱动部,所述第三驱动部旋转所述成像元件使得所述辐照部的辐照表面、所述图像形成透镜的主表面和所述成像元件的成像表面满足防光原理的条件。5.根据权利要求4所述的光学探测器,其中,所述第三驱动部围绕沿着与所述反射方向和所述正交方向正交的方向延伸的旋转轴线旋转所述成像元件。6.根据权利要求5所述的光学探测器,其中,所述旋转轴线位于与所述图像形成透镜的光轴相交的位置。7.根据权利要求1所述的光学探测器,还包括:控制器,所述控制器通过使所述第一驱动部在所述辐照方向上移动所述辐照部并使所述第二驱动部在所述反射方向和所述正交方向上移动所述成像部,而在测量所述待测量物体之前调节测量范围的中心位置。8.根据权利要求7所述的光学探测器,其中,所述控制器在所述正交方向上移动所述成像部,使得从所述待测量物体反射的所述激光在所述成像部的成像表面的中心被接收。9.根据权利要求8所述的光学探测器,其中,所述控制器在所述辐照方向上移动所述辐照部,并且在所述反射方向上移动所述成像部,使得所述成像表面上的接收所述激光的光接收部分和其他部分之间的亮度和暗度方面的差被最大化。10.根据权利要求9所述的光学探测器,其中,所述成像部包括:捕获所述待测量物体的图像的成像元件;以及在所述成像元件上形成从所述待测量物体反射的激光的图像的图像形成透镜,并且所述控制器基于移动后的所述辐照部和所述成像部的位置来旋转所述成像元件,使得
所述辐照部的辐照表面、所述图像形成透镜的主表面和所述成像元件的成像表面满足防光原理的条件。11.一种几何形状测量装置,其特征在于,包括:光学探测器,包括:辐照部,所述辐照部利用激光辐照待测量物体,成像部,所述成像部接收由所述待测量物体反射的激光并捕获所述待测量物体的图像,第一驱动部,所述第一驱动部在所述激光对所述待测量物体进行辐照的辐照方向上移动所述辐照部,及第二驱动部,所述第二驱动部在激光从所述待测量物体反射的反射方向和与所述反射方向正交的正交方向上移动所述成像部;以及计算部,所述计算部基于所述成像部的输出来计算所述待测量物体的几何形状。

技术总结
利用单个光学探测器精确测量各种大小和几何形状的待测量物体。一种光学探测器(10)包括:辐照部(20),该辐照部利用激光辐照待测量物体;成像部(30),该成像部接收由待测量物体反射的激光并捕获待测量物体的图像;第一驱动部(40),该第一驱动部在激光对待测量物体的辐照方向上移动辐照部(20);以及第二驱动部(50),该第二驱动部在从待测量物体的激光的反射方向和与反射方向正交的正交方向上移动成像部(30)。像部(30)。像部(30)。


技术研发人员:渡边贵光 根本贤太郎 杉田荣彦
受保护的技术使用者:株式会社三丰
技术研发日:2022.02.23
技术公布日:2022/12/15
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