一种三维芯片、芯片单元、可靠性测试方法及相关设备与流程

文档序号:35393296发布日期:2023-09-09 15:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维芯片,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的三维芯片,其特征在于,所述芯片单元远离所述三维键合结构的一侧还设置有连接所述键合结构的电信号接收端子,所述电信号接收端子用于接收检测信号,所述测试结构用于传导所述介质层在所述电信信号接收端子接收所述检测信号的情况下产生的电荷。

3.根据权利要求2所述的三维芯片,其特征在于,所述芯片单元还包括:

4.根据权利要求3所述的三维芯片,其特征在于,同一所述芯片单元中,相邻的两个所述键合结构中的一者电连接所述第一电极,另一者电连接所述第二电极。

5.根据权利要求3所述的三维芯片,其特征在于,同一所述三维键合结构中,对应连接的两个所述键合结构电连接所述第一电极;或者,

6.根据权利要求3所述的三维芯片,其特征在于,所述芯片单元还包括:

7.一种芯片单元,其特征在于,包括:

8.一种三维芯片的可靠性测试方法,其特征在于,包括:

9.根据权利要求8所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述利用所述电信号测试仪检测所述介质层的漏电状态,包括:

10.根据权利要求9所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述基于所述漏电状态确定所述三维键合结构的可靠性,包括:

11.根据权利要求9所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述基于所述漏电状态确定所述三维键合结构的可靠性,包括:

12.根据权利要求11所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述在不同的测试条件下,测试多个所述三维芯片的漏电流,得到测试样本数据,包括:

13.根据权利要求12所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述基于所述测试样本数据中的所述漏电流与所述测试条件建立三维芯片寿命评估模型,包括:

14.根据权利要求13所述的可靠性测试方法,其特征在于,所述基于所述三维芯片评估模型以及所述待测芯片的工作条件数据确定所述待测芯片的评估寿命,包括:

15.一种电子设备,其特征在于,包括:

16.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求8-14中任一项所述的可靠性测试方法。

17.一种测试设备,其特征在于,包括:


技术总结
本申请公开一种三维芯片、芯片单元、可靠性测试方法及相关设备,涉及芯片技术领域,能够评估相邻两个芯片之间键合结构的可靠性能。三维芯片,包括:至少两个芯片单元,所述芯片单元包括介质层、穿设于所述介质层的键合结构;所述至少两个芯片单元的所述键合结构键合连接,以形成三维键合结构,以使所述至少两个芯片单元形成三维芯片;其中,所述芯片单元远离所述三维键合结构的一侧设置有测试结构,所述测试结构连接所述介质层,所述测试结构用于传导电荷,且所述测试结构还用于连接电信号测试仪,以使任意两个所述芯片单元上的所述测试结构通过所述电信号测试仪形成漏电流测试回路。

技术研发人员:柴泾睿,马斌,殷鹏,高旭东
受保护的技术使用者:西安紫光国芯半导体有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1