IC测试装置的制作方法

ic测试装置
技术领域
1.本发明涉及测试设备技术领域，特别是涉及一种ic测试装置。


背景技术：

2.随着ic功能模块逐渐复杂化，ic的测试压力及测试时间呈逐渐增长的趋势。针对测试时间较长的ic，增加单次测试ic工位数量有利于降低整体测试成本。因此多工位大压力测试装置需求应运而生，目前已公开的多工位测试装置包含两个机构一致的测试压头，每套测试压头连接有自己独立的水平及竖直驱动系统。整个测试过程中，水平和竖直驱动系统协同作用驱动测试压头在水平及竖直两个方向并行运动，因此测试压头可以取放ic并进行下压测试。
3.然而，现有的ic测试装置中，竖直驱动系统位于测试压头两侧，因此测试压头进行竖直下压测试时，测试压头受到侧边竖直驱动系统驱动力和测试ic反作用力两个力的作用，两个作用力不同轴，从而形成弯矩负载作用，导致测试ic时测试压头有结构变形倾斜的问题，从而引发ic测试压力不均匀，影响ic测试关键指标的测试良率。


技术实现要素：

4.有鉴于此，有必要提供一种ic测试装置，能够避免测试压头结构变形倾斜的问题。
5.本发明提供一种ic测试装置，包括检测平台以及设置在所述检测平台上的一个或多个测试机构，所述测试机构包括水平驱动系统、竖直驱动系统以及对ic进行下压测试的测试压头，所述竖直驱动系统安装于所述水平驱动系统上，并通过所述水平驱动系统驱动所述竖直驱动系统进行水平移动，所述测试压头设置在所述竖直驱动系统上，并通过所述竖直驱动系统驱动所述测试压头进行竖直移动，所述竖直驱动系统对所述测试压头的驱动力与ic对所述测试压头的反作用力同轴设置。
6.当采用该ic测试装置对ic(即微型电子元器件)进行下压测试时，由于测试压头设置在竖直驱动系统上，竖直驱动系统驱动测试压头进行竖直移动，此时竖直驱动系统对测试压头的驱动力转化为测试压头对ic的下压力，竖直驱动系统对测试压头的驱动力与ic对测试压头的反作用力同轴设置，消除了测试压头受到的弯矩负载，使得ic测试时压力均匀分布，同时，通过水平驱动系统和竖直驱动系统的控制，测试压头能够在预设的三维立体空间内移动到任意位置，从而可方便测试压头转移ic并对ic进行测试。
7.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统包括第一驱动源、竖直驱动件以及压杆，所述第一驱动源连接所述竖直驱动件以驱动所述竖直驱动件转动，所述压杆与所述竖直驱动件相连，且所述竖直驱动件转动时能够控制所述压杆沿竖直方向移动，所述测试压头连接于所述压杆的一端以随着所述压杆的移动而移动。
8.第一驱动源控制竖直驱动件转动，且压杆的一端与竖直驱动件相连，另一端连接测试压头，因此测试压头在第一驱动源的作用下沿竖直驱动件的轴向移动。
9.在其中一个实施例中，所述测试压头与所述竖直驱动件同轴设置。
10.由于测试压头与竖直驱动件同轴设置，因此，测试压头受到的竖直向下移动的驱动力和被测试的ic反作用于测试压头的反作用力同轴且方向相反，从而消除了测试压头受到的弯矩负载，使得ic测试压力均匀分布，从而避免了测试压头结构变形倾斜的问题，保证了ic测试关键指标的测试良率。
11.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统包括固定架，所述固定架固定在所述水平驱动系统上，所述竖直驱动件包括竖直丝杆，所述竖直丝杆沿竖直方向设置且可转动地安装于所述固定架上，所述第一驱动源连接所述竖直丝杆以驱动所述竖直丝杆转动，所述压杆套设在所述竖直丝杆外侧并与所述竖直丝杆螺纹连接。
12.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统还包括第一主动轮、第一从动轮以及第一同步带，所述第一驱动源固定于所述固定架上，所述第一驱动源连接所述第一主动轮，所述竖直丝杆的上端与所述第一从动轮相连，所述第一同步带套设于所述第一主动轮和所述第一从动轮外侧。
13.通过第一主动轮、第一从动轮和第一同步带相配合的传动结构，第一驱动源可以设置在竖直丝杆一侧，从而可以避免该竖直驱动系统的整体长度过长，使得整体结构更加合理紧凑。
14.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统还包括竖直导轨以及竖直滑块，所述竖直导轨固定连接所述压杆，所述竖直滑块与所述竖直导轨滑动配合，且所述竖直滑块固定连接所述固定架。
15.如此设置，通过竖直导轨与竖直滑块滑动配合起到导向限位的作用，压杆在竖直方向上的移动更加顺畅，从而压头在竖直方向上的移动也更加顺畅。
16.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统包括至少一对所述竖直导轨，至少一对所述竖直导轨对称设置于所述压杆两侧，且所述测试压头至少部分被夹持于至少一对所述竖直导轨之间。
17.如此设置，压杆被夹在至少一对竖直导轨之间，竖直导轨与竖直滑块配合，压杆上下移动时非常平稳顺畅。
18.在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统包括固定架，所述固定架固定在所述水平驱动系统上，所述水平驱动系统包括：第二驱动源、水平丝杆以及水平螺母，所述第二驱动源固定安装于所述检测平台，所述第二驱动源的输出轴连接所述水平丝杆，以驱动所述水平丝杆转动，所述水平螺母套设于所述水平丝杆外侧，并与所述水平丝杆螺纹配合，所述固定架固定连接所述水平螺母，以在所述第二驱动源驱动所述水平丝杆转动时，所述竖直驱动系统能够沿所述水平丝杆的长度方向移动。
19.如此设置，第二驱动源可控制水平丝杆转动，从而水平螺母沿水平丝杆移动，由于固定架固定连接水平螺母，因此，固定架上的结构随着固定架和水平螺母一起平移，也就是竖直驱动系统和测试压头一起随着水平螺母平移。该实施例通过第二驱动源控制竖直驱动系统移动，能够实现竖直驱动系统的精确控制，将测试压头准确平移到预设位置。
20.在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括水平导轨和水平滑块，所述水平导轨固定于所述检测平台上，所述水平滑块与所述水平导轨滑动配合，且所述水平滑块固定连接所述固定架。
21.如此设置，固定架随着水平螺母移动时，水平滑块沿着水平导轨移动，水平滑块与
水平导轨配合起到导向及维持稳定的作用，使得固定架在水平电机的驱动下能够平稳顺畅移动，从而保证了压头平移的稳定性及顺畅性。
22.在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括第二主动轮、第二从动轮以及第二同步带，所述第二驱动源连接所述第二主动轮，所述水平丝杆的一端连接所述第二从动轮，所述第二同步带套设于所述第二主动轮和所述第二从动轮外侧。
23.通过水平主动轮、水平从动轮和水平同步带的传动，第二驱动源的输出轴和水平丝杆可以不同轴设置，从而可以更合理地布置水平电机和水平丝杆的安装位置，使得整体结构更加合理紧凑。
24.在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括平衡组件，所述平衡组件包括平衡丝杆、第一平衡支座、第二平衡支座、平衡螺母以及配重块，
25.所述平衡丝杆与所述水平丝杆并列设置，
26.所述平衡丝杆一端连接所述第二驱动源，以通过所述第二驱动源驱动所述平衡丝杆转动，
27.所述第一平衡支座和所述第二平衡支座均固定于所述检测平台上，且所述第一平衡支座和所述第二平衡支座分别套设于所述平衡丝杆两端并与所述平衡丝杆转动配合，
28.所述平衡螺母套设于所述平衡丝杆外侧并与所述平衡丝杆螺纹配合，所述配重块套设于所述平衡丝杆外侧，且固定连接所述平衡螺母，
29.所述第二驱动源转动时，所述竖直驱动系统沿所述水平丝杆的长度方向移动，所述配重块沿所述平衡丝杆的长度方向移动，所述配重块的移动方向与所述竖直驱动系统的移动方向相反。
30.本实施例通过设置平衡组件，在第二驱动源驱动竖直驱动系统沿水平丝杆的长度方向移动时，配重块能够沿与竖直驱动系统移动方向相反的方向移动，从而抵消竖直驱动系统和测试压头移动所产生的惯性，减少测试压头晃动的情况，使得该ic测试装置运行平稳。
31.在其中一个实施例中，所述平衡组件还包括平衡主动轮、平衡从动轮以及平衡同步带，所述第二驱动源连接所述平衡主动轮，所述平衡丝杆的一端连接所述平衡从动轮，所述平衡同步带套设于所述平衡主动轮和所述平衡从动轮外侧。
32.如此设置，通过平衡主动轮、平衡从动轮和平衡同步带的传动，第二驱动源的输出轴和平衡丝杆可以不同轴设置，从而可以更合理地布置第二驱动源和平衡丝杆的安装位置，使得整体结构更加合理紧凑。
33.在其中一个实施例中，所述平衡组件还包括平衡导轨，所述配重块与所述平衡导轨滑动配合。
34.本实施例设置平衡导轨有利于对配重块导向及限位，从而当平衡丝杆转动时，配重块能够沿平衡丝杆和平衡导轨平稳移动，减少配重块出现晃动的情况。
35.在其中一个实施例中，所述检测平台的几何中心开设有通孔，所述通孔下方设置有测试区，所述水平驱动系统安装于所述检测平台上，且所述竖直驱动系统至少部分穿过所述通孔，以使所述测试压头能够移动至所述测试区。
36.在其中一个实施例中，所述检测平台上设置有两个所述测试机构，两个所述测试机构对称设于所述通孔两侧；所述检测平台下方设置有两组运料组件，两组所述运料组件
分别位于所述测试区两侧。
37.如此设置，可利用运料组件将待测试ic移动到测试区两侧或者将完成测试的ic及时移走，而通过第一驱动源和第二驱动源的控制，可使测试压头在运料组件和测试区之间移动，从而获取待测试ic进行测试，或者移走完成测试的ic。
附图说明
38.图1为本发明一实施例的ic测试装置的立体图；
39.图2为图1的俯视图；
40.图3为本发明一实施例的竖直驱动系统的侧面视图；
41.图4为本发明一实施例的竖直驱动系统的立体图；
42.图5为图4的部分结构示意图；
43.图6为本发明一实施例的水平驱动系统的立体图；
44.图7为配重块和平衡导轨的装配示意图；
45.图8为本发明的ic测试装置的两个测试机构轮流对ic进行测试时初始化位置的俯视图；
46.图9为图8所示状态的立体图；
47.图10为本发明的ic测试装置处于第一测试机构携带ic进行测试且第二测试机构携带ic等待的状态的俯视图；
48.图11为图10所示状态的立体图；
49.图12为本发明的ic测试装置处于第二测试机构携带ic进行测试且第一测试机构携带ic等待的状态的俯视图；
50.图13为图12所示状态的立体图；
51.图14为本发明的ic测试装置的两个测试机构同时对ic进行测试时初始化位置的俯视图；
52.图15为图14所示状态的立体图；
53.图16为本发明的ic测试装置处于第一测试机构和第二测试机构同时取料ic的状态的俯视图；
54.图17为图16所示状态的立体图；
55.图18为本发明的ic测试装置处于第一测试机构和第二测试机构同时对ic进行测试的状态的俯视图；
56.图19为图18所示状态的立体图。
57.附图标记：1、检测平台；101、通孔；102、测试区；2、测试机构；2a、第一测试机构；2b、第二测试机构；3、运料组件；3a、第一运料组件；3b、第二运料组件；20、水平驱动系统；201、第二驱动源；202、水平丝杆；203、水平螺母；204、水平导轨；205、水平滑块；206、第一水平支撑座；207、第二水平支撑座；208、第二主动轮；209、第二从动轮；210、第二同步带；212、平衡丝杆；213、第一平衡支座；214、第二平衡支座；215、平衡螺母；216、配重块；2161、配重底座；2162、配重单元；217、平衡主动轮；218、平衡从动轮；219、平衡同步带；220、平衡导轨；40、竖直驱动系统；401、固定架；4011、第一固定板；4012、第二固定板；4013、连接板；402、第一驱动源；403、竖直丝杆；404、竖直螺母；405、压杆；406、第一主动轮；407、第一从动轮；
408、第一同步带；409、第一支撑部；410、第二支撑部；411、竖直导轨；412、竖直滑块；4121、固定块；60、测试压头。
具体实施方式
58.下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
59.需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接设在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“固定于”另一个元件，它可以是直接固定在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。
60.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
61.实施例一：
62.请参阅图1和图2，本发明提供一种ic测试装置，包括检测平台1以及设置在检测平台1上的一个或多个测试机构2。测试机构2包括水平驱动系统20、竖直驱动系统40以及测试压头60。竖直驱动系统40安装于水平驱动系统20上，并通过水平驱动系统20驱动竖直驱动系统40进行水平移动。测试压头60设置在竖直驱动系统40上，并通过竖直驱动系统40驱动测试压头60进行竖直移动。如此，通过水平驱动系统20和竖直驱动系统40的控制，测试压头60能够在预设的三维立体空间内移动到任意位置，从而可方便测试压头60转移ic(英文全称是：integrated circuit，即微型电子元器件)并对ic进行测试。
63.本技术中，竖直驱动系统40对测试压头60的驱动力与ic对测试压头60的反作用力同轴设置，如此，能够有效消除了测试压头60受到的弯矩负载，使得ic测试压力均匀分布，从而避免了测试压头60结构变形倾斜的问题，保证了ic测试关键指标的测试良率。请参阅图3至图5，竖直驱动系统40包括第一驱动源402、竖直驱动件以及压杆405，第一驱动源402连接竖直驱动件以驱动竖直驱动件转动，压杆405与竖直驱动件相连，且竖直驱动件转动时能够控制压杆405沿竖直方向移动，测试压头60连接于压杆405的一端，以随着压杆405的移动而移动。也就是说，该实施例通过第一驱动源402的驱动力使得压杆405能够沿竖直方向移动，从而测试压头60可以对ic进行压力检测。
64.本实施例中，第一驱动源402为竖直电机，竖直驱动件为竖直丝杆403。竖直驱动系统40还包括固定架401，固定架401固定在水平驱动系统20上，竖直丝杆403沿竖直方向设置且可转动地安装于固定架401上。竖直电机连接竖直丝杆403以驱动竖直丝杆403转动。压杆405套设于竖直丝杆403外侧并与竖直丝杆403螺纹连接，从而竖直丝杆403转动时能够控制压杆405转动。可以理解的是，压杆405视作与竖直丝杆403螺纹配合的丝杆螺母。当然，在其他实施例中，竖直丝杆403外侧套设有竖直螺母404，压杆405与竖直螺母404固定连接，如此，压杆405沿竖直丝杆403移动时更加稳定。
65.本实施例中，测试压头60与竖直丝杆403同轴设置。当采用该ic测试装置对ic进行下压测试时，竖直电机控制竖直丝杆403转动，从而压杆405和竖直螺母404一起沿沿竖直丝杆403的轴向移动，由于测试压头60连接于压杆405的一端，因此测试压头60随着压杆405一起沿竖直丝杆403的轴向移动。由于测试压头60与竖直丝杆403同轴设置，因此，测试压头60受到的竖直向下移动的驱动力和被测试的ic反作用于测试压头60的反作用力同轴且方向相反，从而消除了测试压头60受到的弯矩负载，使得ic测试压力均匀分布，从而避免了测试压头60结构变形倾斜的问题，保证了ic测试关键指标的测试良率。
66.进一步地，竖直丝杆403、压杆405以及测试压头60均同轴设置，如此，压杆405和测试压头60移动更加平稳，且测试压头60对ic进行测试时更有利于ic均匀受力。
67.可以理解的，第一驱动源402可以为竖直电机也可以为气缸。
68.进一步地，固定架401包括第一固定板4011、第二固定板4012和连接板4013，第二固定板4012位于第一固定板4011下方，连接板4013固定连接第一固定板4011和第二固定板4012。如此，固定架401结构简单，便于固定架401与竖直丝杆403连接，且便于固定架401与水平驱动系统20固定连接。本实施例中，竖直丝杆403连接于第一固定板4011，第二固定板4012固定连接水平驱动系统20。
69.竖直驱动系统40还包括第一主动轮406、第一从动轮407以及第一同步带408，竖直电机固定于第一固定板4011，竖直电机的输出轴连接第一主动轮406，竖直丝杆403的上端穿过第一固定板4011，并连接第一从动轮407，第一同步带408套设于第一主动轮406和第一从动轮407外侧。通过第一主动轮406、第一从动轮407和第一同步带408的传动，竖直电机可以设置在竖直丝杆403一侧，从而可以避免该竖直驱动系统40的整体长度过长，使得整体结构更加合理紧凑。
70.可以理解的，第一主动轮406、第一从动轮407、第一同步带408所构成的传动结构，也可以采用齿轮齿条配合的结构替换。
71.进一步地，竖直驱动系统40还包括第一支撑部409和第二支撑部410。第一支撑部409套设于竖直丝杆403上端，且第一支撑部409固定于第一固定板4011。第二支撑部410套设于竖直丝杆403下端，且第二支撑部410固定于第二固定板4012。设置第一支撑部409和第二支撑部410可以支撑竖直丝杆403的两端，有利于保持竖直丝杆403转动的稳定。
72.本实施例中，第一支撑部409与竖直丝杆403之间设有第一轴承，第一轴承的外圈与第一支撑部409固定连接，第一轴承的内圈与竖直丝杆403的上端固定连接。第二支撑部410与竖直丝杆403之间设有第二轴承，第二轴承的外圈与第二支撑部410固定连接，第二轴承的内圈与竖直丝杆403的下端固定连接。如此，竖直丝杆403转动更加顺畅，稳定性更好。
73.进一步地，竖直驱动系统40还包括竖直导轨411以及竖直滑块412，竖直导轨411固定连接压杆405，竖直滑块412与竖直导轨411滑动配合，且竖直滑块412固定连接固定架401。如此，竖直丝杆403转动驱动竖直螺母404沿竖直丝杆403移动时，竖直螺母404、压杆405和竖直导轨411一起相对固定架401移动，通过竖直导轨411与竖直滑块412滑动配合起到导向限位的作用，压杆405在竖直方向上的移动更加顺畅，从而测试压头60在竖直方向上的移动也更加顺畅。
74.请参阅图4和图5，第二支撑部410呈“工”字形，第二支撑部410的上端固定连接于第一固定板4011，第二支撑部410的下端通过固定块4121固定连接竖直滑块412，从而竖直
滑块412与固定架401固定连接。
75.竖直驱动系统40包括至少一对竖直导轨411，至少一对竖直导轨411对称设置于压杆405两侧，且测试压头60至少部分被夹持于至少一对竖直导轨411之间。如此，压杆405被夹在至少一对竖直导轨411之间，竖直导轨411与竖直滑块412配合，压杆405上下移动时非常平稳顺畅。
76.本实施例中，竖直滑块412固定连接于连接板4013。进一步地，固定架401包括至少一对平行设置的连接板4013，至少一对连接板4013相对的一侧设置竖直滑块412，竖直滑块412与竖直导轨411配合，从而该压头设置在至少一对连接板4013之间，竖直导轨411与竖直滑块412配合起到导向和限位的作用，使得压杆405和测试压头60移动平稳，不会出现晃动或发生倾斜。
77.请参阅图6，水平驱动系统20包括：第二驱动源201、水平丝杆202以及水平螺母203，本实施例中，第二驱动源201为水平电机。水平电机固定安装于检测平台1，水平电机的输出轴连接水平丝杆202，以驱动水平丝杆202转动，水平螺母203套设于水平丝杆202外侧，并与水平丝杆202螺纹配合，固定架401固定连接水平螺母203，以在水平电机驱动水平丝杆202转动时，竖直驱动系统40能够沿水平丝杆202的长度方向移动。如此，水平电机可控制水平丝杆202转动，从而水平螺母203沿水平丝杆202移动，由于固定架401固定连接水平螺母203，因此，固定架401上的结构随着固定架401和水平螺母203一起平移，也就是竖直驱动系统40和测试压头60一起随着水平螺母203平移。该实施例通过水平电机控制竖直驱动系统40移动，能够实现竖直驱动系统40的精确控制，将测试压头60准确平移到预设位置。
78.水平驱动系统20还包括水平导轨204和水平滑块205，水平导轨204固定于检测平台1上，水平滑块205与水平导轨204滑动配合，且水平滑块205固定连接固定架401。如此，固定架401随着水平螺母203移动时，水平滑块205沿着水平导轨204移动，水平滑块205与水平导轨204配合起到导向及维持稳定的作用，使得固定架401在水平电机的驱动下能够平稳顺畅移动，从而保证了测试压头60平移的稳定性及顺畅性。本实施例中，水平滑块205固定连接第二固定板4012。
79.可以理解的是，为了保证固定架401能够同时沿水平导轨204和水平丝杆202的长度方向移动，水平导轨204与水平丝杆202平行设置。请参阅图1，本实施例中，水平导轨204设置于水平丝杆202下方，水平滑块205设置于固定架401的第二固定板4012下方，如此，结构非常紧凑，水平滑块205支撑整个固定架401，使得固定架401在水平导轨204上的移动更加平稳。
80.请参阅图6，水平驱动系统20还包括第一水平支撑座206和第二水平支撑座207，第一水平支撑座206套设于水平丝杆202一端并与水平丝杆202转动配合，第二水平支撑座207套设于水平丝杆202另一端并与水平丝杆202转动配合，且第一水平支撑座206和第二水平支撑座207均固定于检测平台1。设置第一水平支撑座206和第二水平支撑座207可以支撑水平丝杆202的两端，有利于保持水平丝杆202转动的稳定性。本实施例中，第一水平支撑座206和第二水平支撑座207均为轴承座，轴承座固定在检测平台1上，轴承座内安装有轴承，轴承座通过轴承与水平丝杆202转动连接。具体地，轴承的外圈与轴承座固定连接，轴承的内圈与水平丝杆202固定连接。
81.进一步地，水平驱动系统20还包括第二主动轮208、第二从动轮209以及第二同步
带210，水平电机的输出轴连接第二主动轮208，水平丝杆202的一端连接第二从动轮209，第二同步带210套设于第二主动轮208和第二从动轮209外侧。通过第二主动轮208、第二从动轮209和第二同步带210的传动，水平电机的输出轴和水平丝杆202可以不同轴设置，从而可以更合理地布置水平电机和水平丝杆202的安装位置，使得整体结构更加合理紧凑。
82.请参阅图1和图7，水平驱动系统20还包括平衡组件，平衡组件包括平衡丝杆212、第一平衡支座213、第二平衡支座214、平衡螺母215以及配重块216。平衡丝杆212与水平丝杆202并列设置，也就是，平衡丝杆212与水平丝杆202平行设置。平衡丝杆212一端连接水平电机的输出轴，以通过水平电机驱动平衡丝杆212转动。第一平衡支座213和第二平衡支座214均固定于检测平台1上，且第一平衡支座213和第二平衡支座214分别套设于平衡丝杆两端并与平衡丝杆212转动配合，从而第一平衡支座213和第二平衡支座214起到支撑平衡丝杆212的作用。平衡螺母215套设于平衡丝杆212外侧并与平衡丝杆212螺纹配合，配重块216套设于平衡丝杆212外侧，且固定连接平衡螺母215。水平电机转动时，竖直驱动系统40沿水平丝杆202的长度方向移动，配重块216沿平衡丝杆212的长度方向移动，配重块216的移动方向与竖直驱动系统40的移动方向相反。本实施例通过设置平衡组件，在水平电机驱动竖直驱动系统40沿水平丝杆202的长度方向移动时，配重块216能够沿与竖直驱动系统40移动方向相反的方向移动，从而抵消竖直驱动系统40和测试压头60移动所产生的惯性，减少测试压头60晃动的情况，使得该ic测试装置运行平稳。
83.本实施例中，通过第一平衡支座213和第二平衡支座214支撑平衡丝杆212，从而有利于保持平衡丝杆212转动的稳定性。进一步地，第一平衡支座213和第二平衡支座214均为轴承座，轴承座固定在检测平台1上，轴承座内安装有轴承，轴承座通过轴承与平衡丝杆212转动连接。具体地，轴承的外圈与轴承座固定连接，轴承的内圈与平衡丝杆212固定连接。
84.平衡组件还包括平衡主动轮217、平衡从动轮218以及平衡同步带219，水平电机的输出轴连接平衡主动轮217，平衡丝杆212的一端连接平衡从动轮218，平衡同步带219套设于平衡主动轮217和平衡从动轮218外侧。如此，通过平衡主动轮217、平衡从动轮218和平衡同步带219的传动，水平电机的输出轴和平衡丝杆212可以不同轴设置，从而可以更合理地布置水平电机和平衡丝杆212的安装位置，使得整体结构更加合理紧凑。本实施例中，平衡丝杆212和水平丝杆202均由水平电机驱动，零件少，且有利于保持测试压头60和配重块216同步反向移动，从而有利于保持测试压头60移动的稳定。
85.请参阅图6，本实施例中，水平丝杆202和平衡丝杆212分别位于水平电机的输出轴的轴线的两侧，水平丝杆202上的螺纹旋向和平衡丝杆212上的螺纹的旋向相反，也就是说，当水平丝杆202为左旋螺纹时，平衡丝杆212为右旋螺纹；当水平丝杆202为右旋螺纹时，平衡丝杆212为左旋螺纹。如此，水平电机的输出轴转动时，水平丝杆202和平衡丝杆212同向转动，而水平螺母203和平衡螺母215沿相反的方向移动，从而测试压头60和配重块216沿相反的方向移动。
86.平衡组件还包括平衡导轨220，配重块216与平衡导轨220滑动配合。平衡导轨220上设有与平衡导轨220滑动配合的平衡滑块(未图示)，配重块216固定安装于平衡滑块上，从而配重块216与平衡导轨220滑动配合。可以理解的是，平衡导轨220与平衡丝杆212平行设置，如此，配重块216能够同时沿平衡丝杆212和平衡导轨220移动。本实施例设置平衡导轨220有利于对配重块216导向及限位，从而当平衡丝杆212转动时，配重块216能够沿平衡
丝杆212和平衡导轨220平稳移动，减少配重块216出现晃动的情况。
87.一实施例中，配重块216为一体式结构，结构较为简单。但不限于此，请参阅图7，另一实施例中，配重块216为分体式结构，具体地，配重块216包括配重底座2161和多个配重单元2162，配重底座2161固定安装于平衡滑块上，多个配重单元2162通过螺钉等紧固件固定安装在配重底座2161上。使用时，可以根据配重需要仅将配重底座2161安装在平衡滑块上而不安装配重单元2162，或者在配重底座2161上固定安装一个或多个配重单元2162。分体式结构的配重块216使用时更加灵活，可以根据需要配置不同的重量，同时，也更容易安装。
88.请参阅图1，检测平台1的几何中心开设有通孔101，通孔101下方设置有测试区102。水平驱动系统20安装于检测平台1上，且竖直驱动系统40至少部分穿过通孔101，以使测试压头60能够移动至测试区102。从而该ic测试装置利用测试压头60将ic转移到测试区102进行测试。
89.本实施例中，检测平台1上设置有两个测试机构2，两个测试机构2对称设于通孔101两侧，如此，有利于保持装置的平衡。检测平台1下方设置有两组运料组件3，两组运料组件3分别位于测试区102两侧。从而，可利用运料组件3将待测试ic移动到测试区102两侧或者将完成测试的ic及时移走，而通过水平电机和竖直电机的控制，可使测试压头60在运料组件3和测试区102之间移动，从而获取待测试ic进行测试，或者移走完成测试的ic。两个测试机构2可以轮流对ic进行测试，也可以同时对ic进行测试。
90.请参阅图1至图7，本发明提供的ic测试装置的工作原理为：
91.测试压头60水平运动过程如下：开启水平电机，则与水平电机的输出轴连接的第二主动轮208和平衡主动轮217同时转动。在第二同步带210和平衡同步带219的传动下，固装在水平丝杆202轴端的第二从动轮209和固装在平衡丝杆212轴端的平衡从动轮218同时转动，因此水平丝杆202和平衡丝杆212同时转动。由于第二固定板4012与水平螺母203连接在一起，在水平导轨204的导向下，竖直驱动系统40和测试压头60将随着水平丝杆202的转动而水平运动。由于配重块216与平衡螺母215固定连接，因此配重块216将随着平衡丝杆212的旋转而水平直线运动。并且，配重块216和竖直驱动系统40的移动方向相反，因此可以抵消竖直驱动系统40水平高速运动时对整个ic测试装置产生的惯性冲击，保持装置平衡稳定运行。
92.测试压头60竖直运动过程如下：开启竖直电机，第一主动轮406旋转，在第一同步带408的传动下，第一从动轮407和竖直丝杆403随之旋转。由于竖直螺母404与压杆405连接，测试压头60连接于压杆405的一端，在竖直导轨411的直线导向作用下，竖直丝杆403的旋转运动将带动压杆405上下直线运动，从而测试压头60随之上下运动。
93.测试压头60的水平运动和竖直运动同时结合，即可实现测试压头60在测试区102和运料组件3之间来回运动，从而从运料组件3上移取待测试的ic到测试区102进行测试，以及从测试区102移走已经完成测试的ic到运料组件3上，并由运料组件3运走。
94.请参阅图8和图9，本发明提供的ic测试装置包括两个测试机构2和两组运料组件3，两个测试机构2分别为第一测试机构2a和第二测试机构2b。两组运料组件3分别为第一运料组件3a和第二运料组件3b。
95.请参阅图8至图13，下面对两个测试机构2轮流对ic进行测试的过程详细描述如下：
96.第一步：各个测试机构2和运料组件3运动至初始化位置。
97.整个ic测试装置启动前，第一测试机构2a和第二测试机构2b控制各自的测试压头60向上移动至垂直初始化位置，之后第一运料组件3a和第二运料组件3b水平运动到各自初始化位置，分别称为第一运料组件3a入料位、第二运料组件3b入料位。此时，第一测试机构2a的测试压头60位于第一运料组件3a的正上方，第二测试机构2b的测试压头60位于第二运料组件3b的正上方，初始化位置如图8和图9所示。
98.第二步：第一测试机构2a携带待测ic进行ic测试。
99.第一运料组件3a运动至放料位，此时第一运料组件3a上的待测试的ic位于第一测试机构2a的测试压头60的正下方。之后第一测试机构2a通过竖直电机控制测试压头60竖直向下运动至第一运料组件3a上吸取待测试的ic。接着第一测试机构2a的测试压头60竖直向上运动至安全高度后，第一测试机构2a的水平电机开启，将第一测试机构2a的测试压头60水平移动至测试位，在水平运动的同时第一测试机构2a的测试压头60携带待测试的ic竖直向下运动至测试区102后，开始进行ic测试。在上述水平运动的同时，第一运料组件3a运动至初始入料位。同时，在第一测试机构2a进行以上整个运动过程中，第二测试机构2b完成从第二运料组件3b上吸取ic的过程，并最终在第二运料组件3b上方等待第一测试机构2a携带的ic完成测试。测试过程示意图如图10和图11所示。
100.第三步：第一测试机构2a携带完成测试的ic离开测试位，并吸取待测试的ic等待测试，第二测试机构2b携带待测试的ic运行至测试位进行测试。
101.当第一测试机构2a携带的ic完成测试后，第一测试机构2a的竖直电机控制测试压头60竖直向上运动，同时第一测试机构2a的水平电机控制测试压头60水平运动，将完成测试的ic搬运至第一运料组件3a上。之后第一运料组件3a水平运动将测试完的ic搬运至收料位供收料装置收集，接着第一测试机构2a从第一运料组件3a上吸取待测的ic并等待第二测试机构2b的ic完成测试。在第一测试机构2a完成以上动作流程的同时，第二测试机构2b携带待测的ic运行至测试区102进行测试。测试过程示意图如图12和图13所示。
102.第四步：重复以上第二步和第三步，将可以进行循环测试。
103.请参阅图14至图19，下面对两个测试机构2同时对ic进行测试的过程详细描述如下：
104.第一步：各个测试机构2和运料组件3运动至初始化位置。
105.整个ic测试装置启动前，第一测试机构2a和第二测试机构2b控制各自的测试压头60向上移动至垂直初始化位置，之后第一运料组件3a和第二运料组件3b水平运动到各自初始化位置，分别称为第一运料组件3a入料位、第二运料组件3b入料位。此时，第一测试机构2a的测试压头60位于第一运料组件3a的正上方，第二测试机构2b的测试压头60位于第二运料组件3b的正上方，初始化位置如图14和图15所示。
106.第二步：第一测试机构2a和第二测试机构2b同时取料ic。
107.第一运料组件3a和第二运料组件3b同时运动至放料位，此时第一运料组件3a上的待测试的ic位于第一测试机构2a的测试压头60的正下方，第二运料组件3b上的待测试的ic位于第二测试机构2b的测试压头60的正下方。之后第一测试机构2a竖直向下运动到第一运料组件3a上吸取待测ic，第二测试机构2b竖直向下运动到第二运料组件3b上吸取待测ic，示意图如图16和图17所示。
108.第三步：第一测试机构2a和第二测试机构2b同时运动至测试区102进行下压测试。
109.如图18和图19所示，第一测试机构2a和第二测试机构2b吸取ic后，同时运动至测试区102进行下压测试。与此同时，第一运料组件3a和第二运料组件3b同时运行到各自入料位，第一运料组件3a、第二运料组件3b分别等待第一取料测试机构2和第二取料测试机构2放置已经完成测试的ic。第一运料组件3a、第二运料组件3b分别接收上料组件放置的待测试的ic。
110.第四步：第一测试机构2a和第二测试机构2b同时将完成测试的ic搬运至第一运料组件3a和第二运料组件3b上，并吸取新的待测试的ic。
111.当ic测试完成后，第一测试机构2a和第二测试机构2b将完成测试的ic分别放置到第一运料组件3a和第二运料组件3b。之后第一运料组件3a和第二运料组件3b分别移动至各自的入料位，接着第一测试机构2a和第二测试机构2b分别从第一运料组件3a和第二运料组件3b吸取新的待测的ic，之后将重复以上第二步至第四步，整个测试流程循环重复。
112.实施例二：
113.本实施例与实施例一的区别在于，第一驱动源402、竖直驱动件、压杆405以及测试压头60均同轴设置。本实施例中，第一驱动源402设置在竖直驱动件的正上方，第一驱动源402为电机，竖直驱动件为竖直丝杆403，此时，竖直丝杆403的一端与电机的输出轴相连接，另一端与压杆405螺纹连接，测试压头60设置在压杆405的下方，由于电机、竖直丝杆403、压杆405以及测试压头60均同轴设置，电机对测试压头60的驱动力直接转化为测试压头60对ic的下压力，测试压头60受到的竖直向下移动的驱动力和被测试的ic反作用于测试压头60的反作用力同轴且方向相反，从而消除了测试压头60受到的弯矩负载，使得ic测试压力均匀分布，从而避免了测试压头60结构变形倾斜的问题，保证了ic测试关键指标的测试良率。
114.本实施例中，第一驱动源402可以为电机，也可以为气缸。
115.本实施例中所述ic测试装置的其余特征与实施例一中记载的一致，此处不再赘述。
116.以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
117.本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围内。