技术特征：
1.一种碳点基湿度传感器，其特征在于：包括从下到上依次设置的衬底层、叉指电极和碳点层。2.根据权利要求1所述的一种碳点基湿度传感器，其特征在于：所述碳点层由粒径3-5nm的碳点颗粒组成。3.根据权利要求1所述的一种碳点基湿度传感器，其特征在于：所述叉指电极为金叉指电极。4.根据权利要求1所述的一种碳点基湿度传感器，其特征在于：所述衬底层为氧化铝衬底。5.一种碳点基湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：s1利用热蒸发技术在氧化铝衬底上蒸镀一层金；s2利用光刻技术在氧化铝衬底的金层上刻出叉指形状，制备成叉指电极；s3将碳点溶液滴涂在叉指电极上，得到碳点基湿度传感器。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤s3中，碳点溶液的制备方法如下：以柠檬酸、尿素为前驱体，微波加热合成深色固体；将深色固体溶于去离子水，过滤后得到碳点溶液。7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤s1中，将清洗后的氧化铝衬底转移到真空蒸发台中，抽真空准备蒸金，蒸镀时间为4-6min。8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤s2中，光刻技术的具体方法如下：1)首先将蒸镀完金的氧化铝衬底上匀胶，旋涂光刻胶的条件为先15-25s，600r/s，之后是45-55s，5000r/s；2)前烘：将旋涂好光刻胶的氧化铝衬底在115℃加热90s；3)光刻：使用紫外光刻机和制备好的掩膜版进行曝光处理，曝光时间为60-100s；4)显影：曝光后在显影液中显影30-60s，出现图案后用去离子水冲洗，去除残留的显影液，最后用氮气吹干；5)后烘：显影完成在115℃加热90s，完成叉指电极的制备。
技术总结
本发明提出了一种碳点基湿度传感器及其制备方法，所述碳点基湿度传感器，包括从下到上依次设置的衬底层、叉指电极和碳点层。所述碳点层由粒径3-5nm的碳点颗粒组成。本发明的碳点基湿度传感器在相对湿度为94％的条件下对湿度的响应高达5318％，并且在相对湿度范围为11％-94％下能保持优异的稳定，而且碳点制备方法简单，成本低。成本低。成本低。
技术研发人员：杨西贵 单崇新 秦金旭
受保护的技术使用者：郑州大学
技术研发日：2022.03.31
技术公布日：2022/7/29