分析装置、显示控制方法以及记录介质与流程

1.本公开涉及分析试样的分析装置、对分析装置的显示部进行控制的显示控制方法以及保存有用于对分析装置的显示部进行控制的显示控制程序的记录介质。


背景技术：

2.以往，用于分析试样的分析装置是公知的。例如，在wo2020/021698中公开了一种通过使用设置有探针的被称为悬臂的悬臂梁来获得试样表面的信息的扫描型探针显微镜。


技术实现要素：

3.如wo2020/021698所公开的扫描型探针显微镜那样的分析装置有时在用于分析试样的工序中产生用户不得不等待的时间。当产生这样的等待时间时，有可能对用户造成压力。
4.本公开是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种尽量不对用户造成压力地进行试样的分析的技术。
5.根据本公开的某个方面的分析装置具备显示部和控制显示部的显示控制部。显示控制部在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
6.根据本公开的另一方面的显示控制方法是对分析试样的分析装置的显示部进行控制的方法。显示控制方法包括以下步骤：判定是否为用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序；以及在用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
7.根据本公开的另一方面的记录介质保存有显示控制程序，所述显示控制程序用于对分析试样的分析装置的显示部进行控制。显示控制程序使计算机执行以下步骤：判定是否为用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序；以及在用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
8.根据本发明所涉及的与附图相关联地进行理解的以下的详细说明，本发明的上述目的、特征、方面以及优点会变得明确。
附图说明
9.图1是示出由本实施方式所涉及的分析装置提供与部件有关的信息的一例的图。
10.图2是示出本实施方式所涉及的信息提供系统的图。
11.图3是示出本实施方式所涉及的信息提供系统的硬件结构的图。
12.图4是示出本实施方式所涉及的信息提供系统的功能结构的图。
13.图5是用于说明本实施方式所涉及的服务器装置所存储的部件管理表的图。
14.图6是用于说明本实施方式所涉及的服务器装置所存储的用户管理表的图。
15.图7是示出用于由分析装置分析试样的工序的一例的图。
16.图8是示出软件启动时的显示装置的画面的一例的图。
17.图9是示出光轴调整中的显示装置的画面的一例的图。
18.图10是示出接近中的显示装置的画面的一例的图。
19.图11是示出参数调整中的显示装置的画面的一例的图。
20.图12是本实施方式所涉及的信息提供系统所执行的软件启动时的显示控制的流程图。
21.图13是本实施方式所涉及的信息提供系统所执行的自动调整时的显示控制的流程图。
22.图14是变形例所涉及的信息提供系统所执行的软件启动时的显示控制的流程图。
23.图15是变形例所涉及的信息提供系统所执行的自动调整时的显示控制的流程图。
具体实施方式
24.参照附图来详细地说明本实施方式。此外，对图中的相同或相当的部分标注相同的附图标记，原则上不重复其说明。
25.[由分析装置提供信息的一例]
[0026]
图1是示出由本实施方式所涉及的分析装置1提供与部件有关的信息的一例的图。如图1所示，本实施方式所涉及的分析装置1具备控制装置100和观察装置200。
[0027]
观察装置200观察试样，并且将观察结果输出到控制装置100。控制装置100控制观察装置200，并且基于从观察装置200获取到的观察结果来分析试样。
[0028]
关于分析装置1，有时在用于分析试样的工序中产生用户不得不等待的时间。当产生这样的等待时间时，用户会感到无聊，有可能对用户造成压力。
[0029]
因此，本实施方式所涉及的分析装置1在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示装置105显示规定信息。
[0030]
另外，分析装置1在试样的分析中使用至少一个以上的部件(例如消耗品)，如果用户自己判断是否需要更换部件、并且用户自己调查部件的供应商，则对于用户来说便利性不好。在部件制造商处难以预测部件的订购时机，也有可能其他的部件制造商与用户进行交易。
[0031]
因此，本实施方式所涉及的分析装置1在需要更换部件的情况下，使显示装置105显示与部件的供应商有关的信息(以下，也称为“供应商信息”)。“部件”可以是分析装置1的一部分部件，也可以是虽然并不是分析装置1的一部分但在试样的分析中使用的部件。
[0032]
在图1中，作为“规定信息”，例示供应商信息，但“规定信息”也可以包含其他信息。例如，“规定信息”包含与试样的分析的建议有关的信息、与部件有关的信息、与试样的分析的进度有关的信息、以及与分析装置1以外的其他分析装置有关的信息中的至少任一者。
[0033]
更具体地说，“与部件有关的信息”包含用于促使更换部件的信息、与上述部件的供应商有关的供应商信息、与部件的消耗情况有关的信息、以及与部件的广告有关的信息中的至少任一者。例如，在图1所示的例子中，作为“用于促使更换部件的信息”，在显示装置105中显示“是部件的更换时期。”这样的消息。
[0034]“供应商信息”包含用于用户向供应商订购部件的地址。例如，在图1所示的例子中，作为“供应商信息”，将供应商的地址与“供应商在这里”这样的消息一起显示于显示装置105。
[0035]
此外，“与试样的分析的进度有关的信息”包含拍摄用于分析试样的工序而得到的
图像和将用于分析试样的工序动画化而得到的图像中的至少任一者。
[0036]
这样，本实施方式所涉及的分析装置1在用户处于等待的工序中使显示装置105显示规定信息，因此尽量在等待时间内不使用户感到无聊。因此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0037]
并且，本实施方式所涉及的分析装置1在需要更换部件的情况下使显示装置105显示供应商信息，因此不需要用户自己判断是否需要更换部件，不需要用户自己调查部件的供应商等。因此，分析装置1能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0038]
[信息提供系统1000的整体结构]
[0039]
图2是示出本实施方式所涉及的信息提供系统1000的图。如图2所示，信息提供系统1000具备属于用户侧的分析装置1、属于分析装置1的制造商(以下也称为“装置制造商”。)侧的服务器装置300以及属于部件的供应商即至少一个以上的部件制造商侧的供应商终端400。在图2所示的例子中，信息提供系统1000具备属于部件制造商a侧的供应商终端400a、属于部件制造商b侧的供应商终端400b以及属于部件制造商c侧的供应商终端400c。
[0040]
分析装置1的控制装置100、装置制造商的服务器装置300以及各部件制造商的供应商终端400分别以能够经由网络2通信的方式连接。
[0041]
根据像这样构成的信息提供系统1000，用户能够从分析装置1的控制装置100向装置制造商或部件制造商进行部件的订购。
[0042]
[信息提供系统1000的硬件结构]
[0043]
图3是示出本实施方式所涉及的信息提供系统1000的硬件结构的图。在图3中，作为信息提供系统1000的一个结构，示出了分析装置1和服务器装置300。在本实施方式中，作为分析装置1，例示扫描型探针显微镜。此外，扫描型探针显微镜也被称为spm(scanning probe microscope)。在图3所示的例子中，以与分析装置1(spm)的接地面平行的方式规定x轴和y轴，并且以分别与x轴及y轴垂直的方式规定z轴。
[0044]
分析装置1具备观察装置200和控制观察装置200的控制装置100。
[0045]
观察装置200具备悬臂10、支架14、光学系统20、扫描仪50、试样保持部52、摄影部60以及摄影部70。
[0046]
悬臂10被设置为位于被载置于试样保持部52的试样s的上方(在图3所示的例子中为z轴方向)。支架14以使悬臂10能够沿z轴方向振动的方式支承该悬臂10。在悬臂10中在未被支架14支承的一侧(前端侧)设置有探针12。悬臂10和支架14是在试样s的分析中使用的次数越多期间越长则越磨损的消耗品。因此，用户需要根据使用状况定期地更换悬臂10和支架14。悬臂10的正面与试样s相向。悬臂10的背面与光学系统20相向。
[0047]
光学系统20具备激光光源22、分束器24、反射镜26以及检测器28。
[0048]
激光光源22由发射激光la的激光振荡器等构成。从激光光源22发射的激光la被分束器24反射而被照射到悬臂10的背面。被照射到悬臂10上的激光la被悬臂10的背面反射后被反射镜26反射。被反射镜26反射的激光la由检测器28检测。检测器28检测被悬臂10反射的激光la，并将其检测结果输出到控制装置100。
[0049]
激光光源22能够沿着与所输出的激光la的光轴正交的面(在图3所示的例子中为yz平面)移动。控制装置100通过使激光光源22移动来调整激光la的光轴，以使激光la在悬臂10处反射。
[0050]
检测器28能够沿着与入射的激光la的光轴正交的面(在图3所示的例子中为yz平面)移动。控制装置100通过使检测器28移动来调整检测器28的位置，以使由悬臂10反射的激光la向检测器28的受光面的中央入射。
[0051]
扫描仪50具有圆筒形状。试样s由被载置于扫描仪50上的试样保持部52保持。扫描仪50包括沿x轴方向和y轴方向扫描试样s的xy扫描仪以及沿z轴方向使试样s微动的z扫描仪。这样，扫描仪50通过xy扫描仪和z扫描仪在三维方向上驱动。
[0052]
摄影部60配置在探针12的上方，从悬臂10的上部拍摄悬臂10。摄影部60对存在于摄影视野的被摄体进行拍摄并获取图像信息。摄影部60包括如透镜和光圈等的光学系统、以及如ccd(charge coupled device：电荷耦合器件)图像传感器和cmos(complementary metal oxide semiconductor：互补金属氧化物半导体)图像传感器等的受光元件，来作为主要的构成要素。摄影部60将所获取到的图像信息输出到控制装置100。摄影部60获取到的图像信息例如用于调整激光la的光轴。
[0053]
摄影部70从横向(在图3所示的例子中为x轴方向)拍摄试样s和探针12。摄影部70对存在于摄影视野的被摄体进行拍摄并获取图像信息。摄影部70包括如透镜和光圈等的光学系统、以及如ccd图像传感器和cmos图像传感器等的受光元件，来作为主要的构成要素。摄影部70将所获取到的图像信息输出到控制装置100。
[0054]
如上所述那样构成的观察装置200是spm中的原子力显微镜(afm：atomic force microscope)。观察装置200基于控制装置100的控制，一边利用作用于探针12与试样s的表面之间的原子间力(引力或斥力)，一边使悬臂10沿上下方向振动。控制装置100通过检测被振动中的悬臂10反射的激光la，来得到试样s的表面的信息。
[0055]
作为一例，控制装置100是按照通用的计算机架构而构成的计算机。控制装置100对构成观察装置200的各部的动作进行控制，并且向用户提供与在由分析装置1进行的试样s的分析中使用的部件有关的信息。作为一例，控制装置100按照通用的计算机架构来构成。此外，也可以使用专用的硬件来将控制装置100安装于分析装置1。控制装置100具备处理器102、通信装置103、存储器104、显示装置105以及输入装置106。
[0056]
处理器102是按照各种程序(例如，后述的显示控制程序141、分析程序142)执行各种处理的运算主体(计算机)。处理器102例如由cpu(central processing unit：中央处理单元)、fpga(field programmable gate array：现场可编程门阵列)、gpu(graphics processing unit：图形处理单元)以及mpu(multi processing unit：多处理单元)中的至少任一方构成。此外，处理器102也可以由运算电路(processing circuitry)构成。
[0057]
处理器102通过按照分析程序142对由观察装置200得到的激光la的检测结果进行分析来分析试样s。处理器102通过按照显示控制程序141控制显示装置105，来使显示装置105显示供应商信息等规定信息(规定图像)。处理器102基于从输入装置106获取到的用户的输入来执行各种处理。处理器102通过控制通信装置103，使通信装置103分别在与服务器装置300之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0058]
通信装置103通过有线连接或无线连接，分别在与服务器装置300之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0059]
存储器104由dram(dynamic random access memory：动态随机存取存储器)和sram(static random access memory：静态随机存取存储器)等易失性存储器、或者rom
(read only memory：只读存储器)等非易失性存储器构成。存储器104保存用于向用户提供与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的显示控制程序141以及用于控制观察装置200的分析程序142等各种程序和数据等。
[0060]
此外，存储器104只要能够以控制装置100可读的形式非暂时性地记录程序和数据，可以是cd-rom(compact disc-read only memory：光盘只读存储器)、dvd-rom(digital versatile disk-read only memory：数字通用光盘只读存储器)、usb(universal serial bus：通用串行总线)存储器、存储卡、fd(flexible disk：软盘)、hdd(hard disk drive：硬盘驱动器)、ssd(solid state drive：固态硬盘)、磁带、盒式磁带、mo(magnetic optical disc：磁光盘)、md(mini disc：迷你磁光盘)、ic(integrated circuit：集成电路)卡、光卡、掩模rom或eprom。
[0061]
显示装置105包括液晶显示器、等离子显示器、有机el(electro luminescence：电致发光)显示器等显示器，基于处理器102的控制来显示规定信息。例如，显示装置105显示基于由观察装置200观察试样s的观察结果而得到的试样s的分析结果，或者在部件的更换时期到来时显示部件的供应商信息。
[0062]
输入装置106是键盘和鼠标等接受用户的输入的输入接口。输入装置106将基于所接受的用户的输入的信号输出到处理器102。此外，控制装置100也可以具备将显示装置105和输入装置106一体化的触摸面板。
[0063]
作为一例，服务器装置300是按照通用的计算机架构而构成的计算机。服务器装置300具备处理器302、通信装置303以及存储器304。
[0064]
处理器302是按照各种程序(例如，后述的信息提供程序341)执行各种处理的运算主体(计算机)。处理器302例如由cpu、fpga、gpu以及mpu中的至少任一方构成。此外，处理器302也可以由运算电路构成。
[0065]
处理器302通过按照信息提供程序等各种程序控制通信装置303，来使通信装置303分别在与控制装置100之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0066]
通信装置303通过有线连接或无线连接，分别与分析装置1的控制装置100及供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0067]
存储器304由dram和sram等易失性存储器、或者rom等非易失性存储器构成。存储器304保存用于向用户提供与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的信息提供程序341等各种程序和数据等。
[0068]
此外，存储器304只要能够以服务器装置300可读的形式非暂时性地记录程序和数据，可以是cd-rom、dvd-rom、usb存储器、存储卡、fd、hdd、ssd、磁带、盒式磁带、mo、md、ic卡、光卡、掩模rom或eprom。
[0069]
[信息提供系统1000的功能配置]
[0070]
图4是示出本实施方式所涉及的信息提供系统1000的功能结构的图。如图4所示，分析装置1的控制装置100具备运算部112、装置侧通信部113、存储部114、显示部115以及输入部116，来作为主要的功能部。
[0071]
运算部112是处理器102的功能部，执行与分析装置1有关的各种处理。具体地说，运算部112包括分析部121和显示控制部122。分析部121通过按照分析程序142对由观察装置200得到的激光la的检测结果进行分析，来分析试样s。显示控制部122按照显示控制程序
141控制显示装置105(显示部115)。此外，运算部112基于从输入部116获取到的用户的输入来执行各种处理，通过控制装置侧通信部113来使装置侧通信部113分别在与服务器装置300之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0072]
装置侧通信部113是通信装置103的功能部，分别在与服务器装置300之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0073]
存储部114是存储器104的功能部，用于存储各种程序和数据等。具体地说，存储部114存储用于向用户提供与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的显示控制程序141以及用于分析试样s的分析程序142。
[0074]
显示部115是显示装置105的功能部，基于运算部112的控制来显示供应商信息等规定信息(规定图像)。
[0075]
输入部116是输入装置106的功能部，接受用户的输入，并且将基于所接受的用户的输入的信号输出到运算部112。
[0076]
服务器装置300具备运算部312、服务器侧通信部313以及存储部314。
[0077]
运算部312是处理器302的功能部，执行与服务器装置300有关的各种处理。具体地说，运算部312具备判定部321。判定部321按照信息提供程序341来判定是否需要更换在试样s的分析中使用的部件。此外，运算部312通过控制服务器侧通信部313，来使服务器侧通信部313分别在与分析装置1的控制装置100之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0078]
服务器侧通信部313是通信装置303的功能部，分别在与分析装置1的控制装置100之间以及在与供应商终端400之间进行数据(信息)的发送接收。
[0079]
存储部314是存储器304的功能部，用于存储各种程序和数据等。具体地说，存储部314存储用于向用户提供与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的信息提供程序341、包含用于管理部件的信息的部件管理表342以及包含用于管理用户的信息的用户管理表343。
[0080]
[部件管理表]
[0081]
图5是用于说明本实施方式所涉及的服务器装置300所存储的部件管理表342的图。部件管理表342保存用于管理在由分析装置1的观察装置200进行的试样s的分析中使用的部件的信息。作为spm的本实施方式所涉及的分析装置1具备悬臂10和支架14来作为在试样s的分析中使用的部件。在本实施方式中，在需要更换悬臂10或支架14的情况下，通过控制装置100的显示装置105向用户提供与悬臂10或支架14的供应商有关的供应商信息。
[0082]
如图5所示，部件管理表342包括“部件”栏、“供应商”栏以及“订购用地址”栏。“部件”栏保存用于确定部件的种类的信息。“供应商”栏保存用于确定供应商的信息。“订购用地址”栏保存用于确定用于用户向供应商订购部件的地址的信息。
[0083]
在本实施方式中，如悬臂a～悬臂e那样存在多种悬臂10。关于悬臂10的供应商，如部件制造商a～部件制造商c那样存在多种部件制造商。根据悬臂10的种类的不同，供应商不同。
[0084]
例如，如图5所示，作为悬臂a的供应商，如部件制造商a和部件制造商b那样存在两种部件制造商，作为悬臂b的供应商，如部件制造商b那样仅存在一种部件制造商。
[0085]
并且，在本实施方式中，如支架a～支架e那样，存在多种支架14。关于支架14的供
应商，存在设置有服务器装置300的分析装置1的装置制造商以及如部件制造商a～部件制造商c那样的多种部件制造商。根据支架14的种类的不同，供应商不同。
[0086]
例如，如图5所示，作为支架a的供应商，存在装置制造商，作为支架d的供应商，如部件制造商a和部件制造商c那样存在两种部件制造商。
[0087]
如果能够确定被在用户的分析装置1中使用的部件(在本实施方式中为悬臂a～e、支架a～e)，则服务器装置300能够基于部件管理表342来获取与所确定的部件相应的供应商信息。
[0088]
[用户管理表]
[0089]
图6是用于说明本实施方式所涉及的服务器装置300所存储的用户管理表343的图。用户管理表343保存用于管理分析装置1的用户的信息。
[0090]
如图6所示，用户管理表包括“用户”栏、“部件”栏、“购买历史记录”栏、“从上次起的经过期间”栏、“平均空档期间”栏、“更换标志”栏以及“建议供应商”栏。
[0091]“用户”栏保存用于确定用户的信息。作为用于确定用户的信息，能够列举用于识别用户的用户固有的id(identification：身份证明)、密码、用户的姓名、住址、电话号码等。
[0092]“部件”栏保存用于确定用户使用的部件的种类的信息。例如，对于用户a，“部件”栏保存用于确定其使用悬臂a和支架a的信息。对于用户b，“部件”栏保存用于确定其使用悬臂a、悬臂b以及支架d的信息。作为用于确定部件的信息，能够列举用于识别部件的部件固有的制造编号、型号等。
[0093]“购买历史记录”栏保存用于确定由用户购买部件的购买历史记录的信息。例如，对于用户a，“购买历史记录”栏保存用于确定其从部件制造商a购买了悬臂a及该悬臂a的购买日的信息。对于用户a，“购买历史记录”栏保存用于确定用户a从装置制造商购买了支架a及该支架a的购买日的信息。对于用户b，“购买历史记录”栏保存用于确定其从部件制造商a和部件制造商b购买了悬臂a及该悬臂a的购买日的信息。对于用户b，“购买历史记录”栏保存用于确定其从部件制造商b购买了悬臂b及该悬臂b的购买日的信息。对于用户b，“购买历史记录”栏保存用于确定其从部件制造商c购买了支架d及该支架d的购买日的信息。
[0094]“从上次起的经过期间”栏保存用于确定从用户上次购买部件起经过的期间的信息。例如，对于用户a，“从上次起的经过期间”栏保存用于确定从其上次购买悬臂a起经过了70天以及从其上次购买支架a起经过了31天的信息。对于用户b，“从上次起的经过期间”栏保存用于确定从其上次购买悬臂a起经过了50天、从其上次购买悬臂b起经过了75天以及从其上次购买支架d起经过了162天的信息。
[0095]“平均空档期间”栏保存根据购买历史记录计算出的用于确定从上次购买时起的平均空档期间的信息。例如，对于用户a，“平均空档期间”栏保存用于确定其在从上次购买悬臂a起平均经过63天后再次购买悬臂a、以及在从上次购买支架a起平均经过165天后再次购买支架a的信息。对于用户b，“平均空档期间”栏保存用于确定其在从上次购买悬臂a起平均经过42天后再次购买悬臂a、在从上次购买悬臂b起平均经过85天后再次购买悬臂b、以及在从上次购买支架d起平均经过155天后再次购买支架d的信息。
[0096]“更换标志”保存根据“从上次起的经过期间”和“平均空档期间”计算出的用于确定是否需要更换部件的信息。例如，如果“从上次起的经过期间”超过了“平均空档期间”，则“更换标志”保存能够确定需要更换部件的“1”，如果“从上次起的经过期间”没有超过“平均空档期间”，则“更换标志”保存能够确定不需要更换部件的“0”。
[0097]
此外，在本实施方式中，服务器装置300基于“从上次起的经过期间”和“平均空档期间”来判定是否需要更换部件，但也可以利用其他方法判定是否需要更换部件。例如，服务器装置300也可以在从上次购买日期时间起直到当前为止的经过期间超过了上上次购买日期时间与上次购买日期时间之间的经过期间的情况下确定为需要更换部件。
[0098]“建议供应商”栏保存用于基于部件的购买历史记录来确定服务器装置300向用户建议的供应商的信息。例如，对于用户a的悬臂a，“建议供应商”栏保存用于确定将具有购买实绩的部件制造商a建议为供应商的信息。对于用户a的支架a，“建议供应商”栏保存用于确定将具有购买实绩的装置制造商建议为供应商的信息。对于用户b的悬臂a，“建议供应商”栏保存用于确定将具有购买实绩的部件制造商a和部件制造商b中的具有最近的购买实绩的部件制造商b建议为供应商的信息。对于用户b的悬臂b，“建议供应商”栏保存用于确定将具有购买实绩的部件制造商b建议为供应商的信息。对于用户b的支架d，“建议供应商”栏保存用于确定将具有购买实绩的部件制造商c建议为供应商的信息。
[0099]
如果能够确定用户，则服务器装置300能够基于用户管理表343，来按所确定的用户所使用的每个部件确定是否需要更换以及在需要更换的情况下所建议的供应商。并且，如果参照图5示出的部件管理表342，则服务器装置300能够获取所建议的供应商的订购用地址。
[0100]
[与分析有关的工序]
[0101]
图7是示出用于由分析装置1分析试样s的工序的一例的图。在本实施方式中，在使用作为spm的分析装置1来分析试样s时，进行如图7所示那样的工序。
[0102]
如图7所示，与分析有关的工序包括软件启动工序、悬臂安装工序、光轴调整工序、试样设置工序、观察工序以及数据解析工序。
[0103]
首先进行软件启动工序。控制装置100按照用户的输入执行分析程序142，由此进行软件启动工序。当分析用的软件启动时，如后述的图8所示那样，在显示装置105中显示软件启动时的画面。
[0104]
在启动了分析用的软件之后，进行悬臂安装工序。在悬臂安装工序中，用户将悬臂10安装于观察装置200的支架14。
[0105]
在悬臂安装工序之后，进行光轴调整工序。光轴调整工序是调整用于检测悬臂10的动作的光轴的工序。光轴调整工序无需用户参与而由控制装置100自动地进行。具体地说，在光轴调整工序中，控制装置100通过控制观察装置200来自动地调整光学系统20，使得在悬臂10处反射后的激光la入射到检测器28的受光面的位置位于检测器28的受光面的中央(受光量最大的位置)。
[0106]
在光学调整工序之后，进行试样设置工序。试样设置工序除了包括用户设置试样的工序以外，还包括接近工序和参数调整工序。接近工序和参数调整工序无需用户参与而由控制装置100自动地进行。
[0107]
接近工序是使探针12接近试样s的表面的工序。具体地说，在接近工序中，使探针12从由用户预先设定的高度(图3所示的z轴方向的高度)起以缓慢的速度(例如，1mm/分钟的速度)向试样s接近。当探针12接近试样s至规定范围内时，在探针12与试样s的表面之间
产生原子间力。当控制装置100探测到在探针12与试样s的表面之间产生的原子间力时，接近工序完成。
[0108]
在接近工序之后，进行参数调整工序。参数调整工序是用于调整用于分析试样的参数的工序。例如，在参数调整工序中，自动地调整用于在探针12与试样s之间进行距离控制的反馈增益。
[0109]
在试样设置工序之后，进行观察工序。在观察工序中，配置探针12的悬臂10沿着试样s的表面进行扫描，由此得到试样s的表面的信息。
[0110]
在观察工序之后，进行数据解析工序。在数据解析工序中，由控制装置100基于通过观察工序而得到的观察装置200的检测结果来分析试样s。
[0111]
在如上述那样的工序中，控制装置100通过执行显示控制程序141来对显示装置105进行显示控制。具体地说，控制装置100在软件启动工序、光轴调整工序、试样设置工序(接近工序、参数调整工序)中进行显示控制。特别是，用于分析试样s的工序中的光轴调整工序、接近工序以及参数调整工序由控制装置100和观察装置200自动地进行。因此，在这些工序中产生用户不得不等待的时间。在这样的有可能对用户造成压力的等待时间内进行显示控制。
[0112]
此外，在如上述的光轴调整工序、接近工序以及参数调整工序那样由控制装置100进行的自动调整的工序中，这些自动调整所需的时间发生变动。例如，在接近工序中，直到探针12接近试样s至规定范围内为止的时间是根据用户所设定的探针12的高度以及试样s的厚度(图3所示的z轴方向的厚度)来决定的。因此，根据用户所设定的探针12的高度以及试样s的厚度，在接近工序中用户等待的时间有时变长。控制装置100构成为在根据这种状况而变动的用户的等待时间内进行显示控制。
[0113]
[显示控制的一例]
[0114]
参照图8～图11来说明由控制装置100对显示装置105进行的显示控制的一例。
[0115]
(软件启动时的显示控制)
[0116]
图8是示出软件启动时的显示装置105的画面的一例的图。如图8所示，当分析用的软件启动时，显示装置105基于控制装置100的控制来显示软件启动画面151。
[0117]
显示装置105在软件启动画面151的一部分画面中显示包含与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的部件关联图像160。部件关联图像160包含用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息以及与部件的消耗情况有关的信息。此外，图8所示的例子是如图6所示那样向用户a提供与悬臂a有关的信息的例子。
[0118]
例如，部件关联图像160包含“是悬臂的更换时期。”这样的消息，来作为用于促使更换部件的信息。部件关联图像160包含“在此订购”这样的消息以及供应商地址，来作为与部件的供应商有关的信息。部件关联图像160包含“从上次订购起经过70天”这样的消息，来作为与部件的消耗情况有关的信息。此外，部件关联图像160不限于图8所示的例子，也可以包含其他信息，来作为用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息以及与部件的消耗情况有关的信息。部件关联图像160不限于包含用于促使更换悬臂10的信息，也可以包含用于促使更换支架14等其他部件(消耗品)的信息。
[0119]
这样，在分析装置1中，在软件启动时，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，用户不需要自己判断是否需要更换如悬
臂10那样的部件，并且在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商。因此，分析装置1能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。对于部件制造商而言也是，用户基于显示在显示装置105中的供应商信息而自己订购部件，由此不会由其他部件制造商与用户进行交易，从而能够顺利地接受部件的订购。
[0120]
(光轴调整中的显示控制)
[0121]
图9是示出光轴调整中的显示装置105的画面的一例的图。如图9所示，在光轴调整工序中，显示装置105基于控制装置100的控制来显示光轴调整画面152。
[0122]
显示装置105在光轴调整画面152的一部分画面中显示包含与试样s的分析的建议有关的信息的建议图像171。例如，建议图像171包含用于促使用户确认悬臂10被正确地安装于支架14这一情况的内容的消息和图。此外，建议图像171不限于图9所示的例子，也可以包含其他信息，来作为与试样s的分析的建议有关的信息。
[0123]
这样，分析装置1在如光轴调整中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示与试样s的分析的建议有关的信息。由此，尽量不会使用户在等待时间内感到无聊。因此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0124]
显示装置105在光轴调整画面152的一部分画面中显示包含与试样s的分析的进度有关的信息的进度图像172。例如，进度图像172包含表示当前进行中的工序的“光轴调整中”的消息，并且包含表示进度状态的进度条175。此外，进度图像172不限于图9所示的例子，也可以包含其他信息，来作为与试样s的分析的进度有关的信息。例如，进度图像172也可以包含如图10所示的旋转进度图像185来作为与试样s的分析的进度有关的信息。
[0125]
这样，分析装置1在如光轴调整中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示与试样s的分析的进度有关的信息。由此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0126]
(接近中的显示控制)
[0127]
图10是示出接近中的显示装置的画面的一例的图。如图10所示，在接近工序中，显示装置105基于控制装置100的控制来显示接近画面153。
[0128]
显示装置105在接近画面153的一部分画面中显示拍摄用于分析试样s的工序而得到的实时图像181。例如，实时图像181包含摄影部70对在接近工序中探针12接近试样s的情形进行拍摄而得到的静止图像或运动图像。此外，实时图像181不限于图10所示的例子，也可以包含其他图像，来作为拍摄用于分析试样s的工序而得到的图像。例如，实时图像181也可以包含将用于分析试样s的工序(例如，接近工序)动画化而得到的图像。
[0129]
这样，分析装置1在如接近中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示拍摄用于分析试样s的工序而得到的图像。由此，尽量不会使用户在等待时间内感到无聊。因此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0130]
显示装置105在接近画面153的一部分画面中显示包含与试样s的分析的进度有关的信息的进度图像182。例如，进度图像182包含表示当前进行中的工序的“接近中”的消息，并且包含表示进度状态的旋转进度图像185。此外，进度图像182不限于图10所示的例子，也可以包含其他信息，来作为与试样s的分析的进度有关的信息。例如，进度图像182也可以包含如图9所示那样的进度条175来作为与试样s的分析的进度有关的信息。
[0131]
这样，分析装置1在如接近中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显
示与试样s的分析的进度有关的信息。由此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0132]
(参数调整中的显示控制)
[0133]
图11是示出参数调整中的显示装置的画面的一例的图。如图11所示，在参数调整工序中，显示装置105基于控制装置100的控制来显示参数调整画面154。
[0134]
显示装置105在参数调整画面154的一部分画面中显示包含与在试样s的分析中使用的部件有关的信息的部件关联图像190。部件关联图像190包含用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息以及与部件的消耗情况有关的信息。此外，图11所示的例子是如图6所示那样向用户a提供与悬臂a有关的信息的例子。
[0135]
例如，部件关联图像190包含“是悬臂的更换时期。”这样的消息，来作为用于促使更换部件的信息。部件关联图像190包含“在此订购”这样的消息以及供应商地址，来作为与部件的供应商有关的信息。部件关联图像190包含“从上次订购起经过70天”这样的消息，来作为与部件的消耗情况有关的信息。此外，部件关联图像190不限于图11所示的例子，也可以包含其他信息，来作为用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息以及与部件的消耗情况有关的信息。部件关联图像190不限于包含用于促使更换悬臂10的信息，也可以包含用于促使更换支架14等其他部件(消耗品)的信息。
[0136]
这样，在分析装置1中，在如参数调整中那样的用户处于等待的工序中，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，用户不需要自己判断是否需要更换如悬臂10那样的部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商。因此，分析装置1能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。对于部件制造商而言也是，用户基于显示在显示装置105中的供应商信息而自己订购部件，由此不会在其他部件制造商处进行交易，从而能够顺利地接受部件的订购。
[0137]
显示装置105在参数调整画面154的一部分画面中显示包含与试样s的分析的进度有关的信息的进度图像192。例如，进度图像192包含表示当前进行中的工序的“参数调整中”的消息，并且包含表示进度状态的旋转进度图像195。此外，进度图像192不限于图11所示的例子，也可以包含其他信息，来作为与试样s的分析的进度有关的信息。例如，进度图像192也可以包含如图9所示那样的进度条175，来作为与试样s的分析的进度有关的信息。
[0138]
这样，分析装置1在如参数调整中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示与试样s的分析的进度有关的信息。由此，分析装置1能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0139]
[与信息提供系统的显示控制有关的处理]
[0140]
(与软件启动时的显示控制有关的处理)
[0141]
图12是本实施方式所涉及的信息提供系统1000所执行的软件启动时的显示控制的流程图。通过由控制装置100的处理器102(运算部112)执行显示控制程序141以及由服务器装置300的处理器302(运算部312)执行信息提供程序341，来实现图12所示的处理步骤(以下，将其简称为“s”。)。
[0142]
如图12所示，在软件启动时，控制装置100将判定用信息发送到服务器装置300(s11)。判定用信息是用于供服务器装置300判定是否需要更换部件的信息。例如，判定用信息包含用于确定分析装置1的用户的信息(例如，id、密码、用户的姓名、住址、电话号码等)
以及用于确定用户使用的部件的信息(例如，制造编号、型号等)中的至少任一者。
[0143]
服务器装置300判定是否接收到判定用信息(s31)。服务器装置300在没有接收到判定用信息的情况下(在s31中为“否”)，结束本处理。服务器装置300在接收到判定用信息的情况下(在s31中为“是”)，根据判定用信息来确定用户和部件中的至少任一方，并基于用户管理表343来判定是否需要更换作为对象的部件(s32)。具体地说，对于作为对象的部件，服务器装置300基于被保存到用户管理表343中的更换标志的信息，在对更换标志设定了“1”的情况下确定为需要更换部件，在对更换标志设定了“0”的情况下，确定为不需要更换部件。
[0144]
在不需要更换部件的情况下(在s32中为“否”)，服务器装置300结束本处理。在需要更换部件的情况下(在s32中为“是”)，服务器装置300基于部件管理表342来确定供应商信息，并将所确定的供应商信息发送到控制装置100(s33)。具体地说，服务器装置300基于部件管理表342，针对作为对象的部件确定订购用地址以及从上次订购起的经过期间，并将包含所确定的订购用地址以及从上次订购起的经过期间的供应商信息发送到控制装置100。之后，服务器装置300结束本处理。
[0145]
控制装置100在s11中发送了判定用信息之后，判定是否接收到供应商信息(s12)。控制装置100在从发送判定用信息起在规定的限制时间内没有接收到供应商信息的情况下(在s12中为“否”)，结束本处理。控制装置100在从发送判定用信息起在规定的限制时间内接收到供应商信息的情况下(在s12中为“是”)，基于供应商信息对显示装置105进行显示控制(s13)。
[0146]
具体地说，控制装置100通过对显示装置105进行显示控制，来如图8所示那样在软件启动画面151的一部分画面中显示部件关联图像160。之后，控制装置100结束本处理。
[0147]
这样，在信息提供系统1000(分析装置1的控制装置100、服务器装置300)中，在软件启动时，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，信息提供系统1000能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。
[0148]
(与自动调整时的显示控制有关的处理)
[0149]
图13是本实施方式所涉及的信息提供系统1000所执行的自动调整时的显示控制的流程图。通过由控制装置100的处理器102(运算部112)执行显示控制程序141以及由服务器装置300的处理器302(运算部312)执行信息提供程序341，来实现图13所示的处理步骤(以下，将其简称为“s”。)。
[0150]
如图13所示，控制装置100判定是否为自动调整中(s101)。具体地说，控制装置100判定当前执行中的工序是否为光轴调整工序、接近工序以及参数调整工序中的任意工序。在不是自动调整中的情况下(在s101中为“否”)，结束本处理。
[0151]
在是自动调整中的情况下(在s101中为“是”)，控制装置100判定是否为光轴调整中(s102)。在是光轴调整中的情况下(s102中为“是”)，控制装置100获取预先被保存到存储器104中的建议信息(s103)。建议信息包含与试样s的分析的建议有关的信息。此外，此时，控制装置100还获取与光轴调整工序的进度有关的信息。
[0152]
控制装置100基于获取到的建议信息以及与光轴调整工序的进度有关的信息，对显示装置105进行显示控制(s104)。具体地说，控制装置100通过对显示装置105进行显示控制，来如图9所示那样在光轴调整画面152的一部分画面中显示建议图像171和进度图像
172。之后，控制装置100结束本处理。
[0153]
这样，信息提供系统1000(分析装置1的控制装置100、服务器装置300)在如光轴调整中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示与试样s的分析的建议有关的信息以及与试样s的分析的进度有关的信息。由此，信息提供系统1000能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0154]
控制装置100在s102中判定为不是光轴调整中的情况下(在s102中为“否”)，判定是否为接近中(s105)。在是接近中的情况下(在s105中为“是”)，控制装置100获取接近信息(s106)。接近信息包含与由摄影部70拍摄接近工序而得到的图像有关的信息。此外，此时，控制装置100也获取与接近工序的进度有关的信息。
[0155]
控制装置100基于获取到的接近信息以及与接近工序的进度有关的信息，对显示装置105进行显示控制(s104)。具体地说，控制装置100通过对显示装置105进行显示控制，来如图10所示那样在接近画面153的一部分画面中显示实时图像181和进度图像182。之后，控制装置100结束本处理。
[0156]
这样，信息提供系统1000在如接近中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示拍摄用于分析试样s的工序而得到的图像以及与试样s的分析的进度有关的信息。由此，信息提供系统1000能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0157]
控制装置100在s105中判定为不是接近中的情况下(在s105中为“否”)，确定为是参数调整中，并将判定用信息发送到服务器装置300(s107)。判定用信息是用于供服务器装置300判定是否需要更换部件的信息。例如，判定用信息包含用于确定分析装置1的用户的信息(例如，id、密码、用户的姓名、住址、电话号码等)以及用于确定用户使用的部件的信息(例如，制造编号、型号等)中的至少任一者。
[0158]
服务器装置300判定是否接收到判定用信息(s301)。服务器装置300在没有接收到判定用信息的情况下(在s301中为“否”)，结束本处理。服务器装置300在接收到判定用信息的情况下(在s301中为“是”)，根据判定用信息来确定用户和部件中的至少任一方，并基于用户管理表343来判定是否需要更换作为对象的部件(s302)。具体地说，对于作为对象的部件，服务器装置300基于被保存到用户管理表343中的更换标志的信息，在对更换标志设定了“1”的情况下确定为需要更换部件，在对更换标志设定了“0”的情况下确定为不需要更换部件。
[0159]
在不需要更换部件的情况下(在s302中为“否”)，服务器装置300结束本处理。在需要更换部件的情况下(在s302中为“是”)，服务器装置300基于部件管理表342来确定供应商信息，并将所确定的供应商信息发送到控制装置100(s303)。具体地说，服务器装置300基于部件管理表342，针对作为对象的部件确定订购用地址以及从上次订购起的经过期间，并将包含所确定的订购用地址以及从上次订购起的经过期间的供应商信息发送到控制装置100。之后，服务器装置300结束本处理。
[0160]
控制装置100在s107中发送了判定用信息之后，判定是否接收到供应商信息(s108)。控制装置100在从发送判定用信息起在规定的限制时间内没有接收到供应商信息的情况下(在s108中为“否”)，结束本处理。控制装置100在从发送判定用信息起在规定的限制时间内接收到供应商信息的情况下(在s108中为“是”)，还获取与参数调整工序的进度有关的信息，并基于获取到的供应商信息以及与参数调整工序的进度有关的信息对显示装置
105进行显示控制(s104)。
[0161]
具体地说，控制装置100通过对显示装置105进行显示控制，来如图11所示那样在参数调整画面154的一部分画面中显示部件关联图像190和进度图像192。之后，控制装置100结束本处理。
[0162]
这样，在信息提供系统1000(分析装置1的控制装置100、服务器装置300)中，在如参数调整中那样的用户处于等待的工序中，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，信息提供系统1000能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。并且，信息提供系统1000在如参数调整中那样的用户处于等待的工序中，在显示装置105中显示与试样s的分析的进度有关的信息。由此，信息提供系统1000能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0163]
[变形例]
[0164]
以上，对本实施方式所涉及的分析装置1、服务器装置300以及信息提供系统1000进行了说明，但在这些结构中还能够进行各种变形、应用。下面，对变形例进行说明。
[0165]
(分析装置的结构)
[0166]
在本实施方式中，分析装置1是扫描型探针显微镜(spm)，但不限于spm。例如，分析装置1也可以是需要更换在试样的分析中使用的部件的其他分析装置。分析装置1也可以是作为用于分析试样的工序而设置有用户等待的工序的其他分析装置。
[0167]
在本实施方式中，以将控制装置100与观察装置200分开的方式来构成分析装置1，但也可以以将控制装置100和观察装置200构成为一体的方式来构成分析装置1。
[0168]
(与显示控制有关的处理)
[0169]
在本实施方式中，服务器装置300具备判定是否需要更换部件的判定部321，但也可以是，分析装置1的控制装置100具备判定是否需要更换部件的判定部。
[0170]
例如，图14是变形例所涉及的信息提供系统所执行的软件启动时的显示控制的流程图。通过由变形例所涉及的控制装置100a的处理器102(运算部112)执行显示控制程序141以及由变形例所涉及的服务器装置300a的处理器302(运算部312)执行信息提供程序341，来实现图14所示的处理步骤(以下，将其简称为“s”。)。
[0171]
如图14所示，在软件启动时，控制装置100a判定是否需要更换部件(s11a)。
[0172]
具体地说，控制装置100a通过图像识别等来将由摄影部60或摄影部70等拍摄悬臂10和支架14等部件(消耗品)并映现出部件的摄影图像与被预先保存于存储器104的映现出ng品(被判断为需要更换的部件)的摄影图像进行比较。控制装置100a在通过基于图像识别的比较而判断为两者的相似度为规定的阈值以上的情况下，确定为需要更换部件。
[0173]
作为其他方法，控制装置100a计算在由分析装置1进行的上次以前的分析时悬臂10和支架14等部件(消耗品)的使用期间，并判定该使用期间是否超过了规定期间。例如，在进行上次以前的分析时连续24小时使用了悬臂10的情况下，控制装置100a确定为需要更换该悬臂10。控制装置100a在判断为部件的使用期间超过了规定期间的情况下，确定为需要更换部件。
[0174]
在不需要更换部件的情况下(在s11a中为“否”)，控制装置100a结束本处理。在需要更换部件的情况下(在s11a中为“是”)，控制装置100a将用于请求供应商信息的请求信息发送到服务器装置300a(s12a)。请求信息包含用于确定分析装置1的用户的信息(例如，id、
密码、用户的姓名、住址、电话号码等)以及用于确定用户使用的部件的信息(例如，制造编号、型号等)中的至少任一者。
[0175]
服务器装置300a判定是否接收到请求信息(s31a)。服务器装置300a在没有接收到请求信息的情况下(在s31a中为“否”)，结束本处理。服务器装置300在接收到请求信息的情况下(在s31中为“是”)，基于部件管理表342来确定供应商信息，并将所确定的供应商信息发送到控制装置100a(s32a)。
[0176]
控制装置100a在s12a中发送了请求信息之后，判定是否接收到供应商信息(s13a)。控制装置100a在从发送请求信息起在规定的限制时间内没有接收到供应商信息的情况下(在s13a中为“否”)，结束本处理。控制装置100a在从发送请求信息起在规定的限制时间内接收到供应商信息的情况下(在s13a中为“是”)，基于供应商信息对显示装置105进行显示控制(s14a)。
[0177]
具体地说，控制装置100a通过对显示装置105进行显示控制，来如图8所示那样在软件启动画面151的一部分画面中显示部件关联图像160。此外，在部件关联图像160中，作为与部件的消耗情况有关的信息，也可以包含“使用期间超过了24小时”这样的消息。之后，控制装置100a结束本处理。
[0178]
这样，在变形例所涉及的信息提供系统中，在软件启动时，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，信息提供系统能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。
[0179]
图15是变形例所涉及的信息提供系统所执行的自动调整时的显示控制的流程图。通过由变形例所涉及的控制装置100b的处理器102(运算部112)执行显示控制程序141以及由变形例所涉及的服务器装置300b的处理器302(运算部312)执行信息提供程序341，来实现图15所示的处理步骤(以下，将其简称为“s”。)。此外，图15所示的步骤中的s101～s106是与图13所示的s101～s106的处理相同的处理，因此在此省略其说明。
[0180]
如图15所示，控制装置100b判定是否为接近中(s105)，在判定为不是接近中的情况下(在s105中为“否”)，判定是否需要更换部件(s107b)。
[0181]
具体地说，控制装置100b通过图像识别等来将由摄影部60或摄影部70等拍摄悬臂10和支架14等部件(消耗品)并映现出部件的摄影图像与被预先保存到存储器104中的映现出ng品(被判断为需要更换的部件)的摄影图像进行比较。控制装置100b在通过基于图像识别的比较而判断为两者的相似度为规定的阈值以上的情况下，确定为需要更换部件。
[0182]
作为其他方法，控制装置100b计算在进行上次以前的分析时悬臂10和支架14等部件(消耗品)的使用期间，并判定该使用期间是否超过了规定的上限期间。控制装置100b在判断为部件的使用期间超过了规定的上限期间的情况下，确定为需要更换部件。
[0183]
在不需要更换部件的情况下(在s107b中为“否”)，控制装置100b结束本处理。在需要更换部件的情况下(在s107b中为“是”)，控制装置100b将用于请求供应商信息的请求信息发送到服务器装置300b(s108b)。请求信息包含用于确定分析装置1的用户的信息(例如，id、密码、用户的姓名、住址、电话号码等)以及用于确定用户使用的部件的信息(例如，制造编号、型号等)中的至少任一者。
[0184]
服务器装置300b判定是否接收到请求信息(s301b)。服务器装置300b在没有接收到请求信息的情况下(在s301b中为“否”)，结束本处理。服务器装置300b在接收到请求信息
的情况下(在s301b中为“是”)，基于部件管理表342来确定供应商信息，并将所确定的供应商信息发送到控制装置100b(s302b)。
[0185]
控制装置100b在s108b中发送了请求信息之后，判定是否接收到供应商信息(s109b)。控制装置100b在从发送请求信息起在规定的限制时间内没有接收到供应商信息的情况下(在s109b中为“否”)，结束本处理。控制装置100b在从发送请求信息起在规定的限制时间内接收到供应商信息的情况下(在s109b中为“是”)，基于供应商信息对显示设备105进行显示控制(s104b)。
[0186]
具体地说，控制装置100b通过对显示装置105进行显示控制，来如图11所示那样在参数调整画面154的一部分画面中显示部件关联图像190和进度图像192。此外，在部件关联图像190中，作为与部件的消耗情况有关的信息，也可以包含“使用期间超过了24小时”这样的消息。之后，控制装置100b结束本处理。
[0187]
这样，在变形例所涉及的信息提供系统中，在如参数调整中那样的用户处于等待的工序中，在需要更换部件的情况下，在显示装置105中显示与部件的供应商有关的供应商信息。由此，信息提供系统能够在向用户提供便利性的同时进行试样s的分析。
[0188]
在本实施方式中，如图8所示那样在软件启动画面151中显示用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息以及与部件的消耗情况有关的信息，但也可以还显示其他信息。例如，分析装置1也可以使显示装置105在软件启动画面151中如图9和图10所示那样显示与试样s的分析的建议有关的信息或者与试样s的分析的进度有关的信息。
[0189]
在本实施方式中，如图9所示，在光轴调整画面152中显示与试样s的分析的建议有关的信息以及与试样s的分析的进度有关的信息，但也可以还显示其他信息。例如，分析装置1也可以使显示装置105在光轴调整画面152中如图8和图10所示那样显示用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息、与部件的消耗情况有关的信息、或者拍摄用于分析试样s的工序而得到的实时图像或动画图像。
[0190]
在本实施方式中，如图10所示，在接近画面153中显示拍摄用于分析试样s的工序而得到的实时图像181以及与试样s的分析的进度有关的信息，但也可以还显示其他信息。例如，分析装置1也可以使显示装置105在接近画面153中如图8和图9所示那样显示与试样s的分析的建议有关的信息、用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息、或者与部件的消耗情况有关的信息。
[0191]
并且，分析装置1也可以在显示装置105中显示与不同于用户所使用的该分析装置1的其他分析装置有关的信息，来作为“规定信息”。例如，分析装置1也可以使显示装置105在软件启动画面151、光轴调整画面152以及接近画面153中的至少任一个画面中显示装置制造商所销售的其他分析装置的广告消息等。
[0192]
分析装置1也可以在显示装置105中显示与部件的广告有关的信息来作为“规定信息”。例如，分析装置1也可以使显示装置105在软件启动画面151、光轴调整画面152以及接近画面153中的至少任一个画面中显示新的部件的广告消息等。
[0193]
分析装置1也可以在显示装置105中显示占卜、天气预报、游戏等不会使处于等待的用户感到无聊的信息，来作为“规定信息”。
[0194]
(服务器装置与供应商终端之间的处理)
[0195]
属于装置制造商侧的服务器装置300能够基于如图6所示的用户管理表343来大致
预测部件的更换时机。因此，服务器装置300也可以向属于部件制造商侧的供应商终端400发送用户管理表343中包含的信息。如果这样，则部件制造商容易预测部件的订购时机，能够对用户进行营业活动等。
[0196]
[方式]
[0197]
本领域技术人员能够理解的是，上述多个例示性的实施方式是以下的方式的具体例。
[0198]
(第1-1项)一个方式所涉及的用于分析试样的分析装置具备显示部和控制所述显示部的显示控制部。所述显示控制部在用于分析所述试样的工序中的用户处于等待的工序中，使所述显示部显示规定信息。
[0199]
根据第1-1项所述的分析装置，能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0200]
(第1-2项)所述规定信息包含与所述试样的分析的建议有关的信息、与在所述试样的分析中使用的部件有关的信息、与所述试样的分析的进度有关的信息以及与其他分析装置有关的信息中的至少任一者。
[0201]
根据第1-2项所述的分析装置，通过显示与试样的分析的建议有关的信息、与在试样的分析中使用的部件有关的信息、与试样的分析的进度有关的信息以及与其他分析装置有关的信息中的至少任一者，尽量不会使用户在等待时间内感到无聊。
[0202]
(第1-3项)与所述部件有关的信息包含用于促使更换所述部件的信息、与所述部件的供应商有关的信息、与所述部件的消耗情况有关的信息以及与所述部件的广告有关的信息中的至少任一者。
[0203]
根据第1-3项所述的分析装置，通过显示用于促使更换部件的信息、与部件的供应商有关的信息、与部件的消耗情况有关的信息以及与部件的广告有关的信息中的至少任一者，能够对用户提供与部件有关的信息，能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0204]
(第1-4项)所述分析装置还具备判定部，所述判定部判定是否需要更换在所述试样的分析中使用的部件。在需要更换所述部件的情况下，所述显示控制部使所述显示部显示与所述部件有关的信息。
[0205]
根据第1-4项所述的分析装置，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，分析装置能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0206]
(第1-5项)与所述试样的分析的进度有关的信息包含拍摄用于分析所述试样的工序而得到的图像以及将用于分析所述试样的工序动画化而得到的图像中的至少任一者。
[0207]
根据第1-5项所述的分析装置，用户能够根据所显示的摄影图像或动画图像一边掌握用于分析试样的工序一边等待，从而尽量不会使用户在等待时间内感到无聊。
[0208]
(第1-6项)所述分析装置是通过使配置探针的悬臂沿着所述试样的表面进行扫描来得到所述试样的表面的信息的扫描型探针显微镜。所述用户处于等待的工序包括调整用于检测所述悬臂的动作的光轴的工序、使所述探针接近所述试样的所述表面的工序以及调整参数的工序中的至少任一个工序。
[0209]
根据第1-6项所述的分析装置，能够在光轴调整工序、接近工序以及参数调整工序这样的进行自动调整的用户处于等待的工序中，尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0210]
(第1-7项)一个方式所涉及的用于对分析试样的分析装置的显示部进行控制的显示控制方法包括以下步骤：判定是否为用于分析所述试样的工序中的用户处于等待的工序；以及在所述用户处于等待的工序中，使所述显示部显示规定信息。
[0211]
根据第1-7项所述的显示控制方法，能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0212]
(第1-8项)一个方式所涉及的用于对分析试样的分析装置的显示部进行控制的显示控制程序使计算机执行以下步骤：判定是否为用于分析所述试样的工序中的用户处于等待的工序；以及在所述用户处于等待的工序中，使所述显示部显示规定信息。
[0213]
根据第1-8项所述的显示控制程序，能够尽量不对用户造成压力地进行试样的分析。
[0214]
(第2-1项)一个方式所涉及的用于提供与在由分析装置进行的试样分析中使用的部件有关的信息的信息提供系统具备：判定部，其判定是否需要更换所述部件；显示部；以及显示控制部，其控制所述显示部。在需要更换所述部件的情况下，所述显示控制部使所述显示部显示与所述部件的供应商有关的供应商信息。
[0215]
根据第2-1项所述的信息提供系统，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，信息提供系统能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0216]
(第2-2项)所述信息提供系统具备所述分析装置以及与所述分析装置进行通信的服务器装置。所述分析装置包括与所述服务器装置进行通信的装置侧通信部、所述显示部以及所述显示控制部。所述服务器装置包括与所述分析装置进行通信的服务器侧通信部以及所述判定部。所述分析装置通过所述装置侧通信部向所述服务器装置发送用于判定是否需要更换所述部件的判定用信息。所述服务器装置通过所述判定部来基于所述判定用信息判定是否需要更换所述部件，在需要更换所述部件的情况下，所述服务器装置通过所述服务器侧通信部向所述分析装置发送所述供应商信息。所述分析装置通过所述显示控制部使所述显示部显示所述供应商信息。
[0217]
根据第2-2项所述的信息提供系统，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，信息提供系统能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0218]
(第2-3项)所述信息提供系统具备所述分析装置以及与所述分析装置进行通信的服务器装置。所述分析装置包括与所述服务器装置进行通信的装置侧通信部、所述判定部、所述显示部以及所述显示控制部。所述服务器装置包括与所述分析装置进行通信的服务器侧通信部。所述分析装置通过所述判定部来判定是否需要更换所述部件，在需要更换所述部件的情况下，所述分析装置通过所述装置侧通信部向所述服务器装置发送用于请求所述供应商信息的请求信息。所述服务器装置通过所述服务器侧通信部基于所述请求信息来向所述分析装置发送所述供应商信息。所述分析装置通过所述显示控制部使所述显示部显示所述供应商信息。
[0219]
根据第2-3项所述的信息提供系统，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，信息提供系统能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0220]
(第2-4项)所述供应商信息包含用于用户向所述供应商订购所述部件的地址。
[0221]
根据第2-4项所述的信息提供系统，能够使用户高效地订购部件。
[0222]
(第2-5项)所述显示控制部在用于分析所述试样的工序中的用户处于等待的工序中，使所述显示部显示所述供应商信息。
[0223]
根据第2-5项所述的信息提供系统，能够利用用户容易感到无聊的等待时间来促使用户更换部件。
[0224]
(第2-6项)所述分析装置是通过使配置探针的悬臂沿着所述试样的表面进行扫描来得到所述试样的表面的信息的扫描型探针显微镜。所述用户处于等待的工序包括调整用于检测所述悬臂的动作的光轴的工序、使所述探针接近所述试样的所述表面的工序以及调整参数的工序中的至少任一个工序。
[0225]
根据第2-6项所述的分析装置，能够在光轴调整工序、接近工序以及参数调整工序这样的进行自动调整的用户处于等待的工序中，促使用户更换部件。
[0226]
(第2-7项)一个方式所涉及的与分析试样的分析装置进行通信的服务器装置具备：服务器侧通信部，其与所述分析装置进行通信；以及判定部，其判定是否需要更换在所述试样的分析中使用的部件。在需要更换所述部件的情况下，所述服务器侧通信部向所述分析装置发送与所述部件的供应商有关的供应商信息。
[0227]
根据第2-7项所述的服务器装置，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，服务器装置能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0228]
(第2-8项)一个方式所涉及的用于分析试样的分析装置具备：判定部，其判定是否需要更换在所述试样的分析中使用的部件；显示部；以及显示控制部，其控制所述显示部。在需要更换所述部件的情况下，所述显示控制部使所述显示部显示与所述部件的供应商有关的供应商信息。
[0229]
根据第2-8项所述的分析装置，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，分析装置能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0230]
(第2-9项)一个方式涉及的用于提供与在由分析试样的分析装置进行的试样分析中使用的部件有关的信息的信息提供方法包括以下步骤：判定是否需要更换所述部件；以及在需要更换所述部件的情况下，使显示部显示与所述部件的供应商有关的供应商信息。
[0231]
根据第2-9项所述的信息提供方法，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己调查部件的供应商等。因此，信息提供方法能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0232]
(第2-10项)一个方式涉及的用于提供与在由分析试样的分析装置进行的试样分析中使用的部件有关的信息的信息提供方法包括以下步骤：判定是否需要更换所述部件；以及在需要更换所述部件的情况下，向所述部件的供应商通知表示需要更换所述部件的信息和用于确定所述分析装置的信息中的至少一者。
[0233]
根据第2-10项所述的信息提供方法，用户不需要自己判断是否需要更换部件，在需要更换部件的情况下，用户不需要自己联络部件的供应商。因此，信息提供方法能够在向用户提供便利性的同时进行试样的分析。
[0234]
对本发明的实施方式进行了说明，但应该认为此次公开的实施方式在所有方面均是例示性的而非限制性的。本发明的范围通过权利要求书来示出，旨在包含与权利要求书等同的含义及范围内的所有变更。