一种快速接头的插拔保压测试系统及方法与流程

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种快速接头的插拔保压测试系统及方法。


背景技术：

2.在半导体技术领域中，快速接头的插拔测试主要依靠人工或简易设备进行。人工插拔效率低，且人工记次数容易出现计数错误。快速接头的保压测试主要是保证子体工装、母体工装和组合体在规定压力条件下不发生泄漏。一般将插拔测试后的子体工装、母体工装和组合体安装在简易工装上，工装上装有普通机械压力表，向工装加注氮气，工作人员通过读取机械压力表在一段时间前后的读数来判子体工装、母体工装和组合体是否存在泄漏；这种方式不仅受人为因素影响较大，人工读数容易产生偏差，而且仅根据压力来判断是否存在泄露，影响因素单一，判断结果不够准确。


技术实现要素：

3.本发明提供一种快速接头的插拔保压测试系统，用以解决现有插拔测试技术效率低和容易出错的问题。
4.本发明提供一种快速接头的插拔保压测试系统，包括：
5.平台；
6.子体工装固定装置，包括子体工装固定机构和第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述子体工装固定机构连接；
7.母体工装固定装置，与所述子体工装固定装置沿着第一方向依次设置于所述平台，所述母体工装固定装置包括移动底座、母体外环固定机构、第二驱动组件、第三驱动组件和第四驱动组件，以及设置于所述移动底座的母体工装固定机构和第一直线位移机构，所述移动底座设置于所述平台，所述第二驱动组件与所述母体工装固定机构连接，所述母体工装固定机构用于固定母体工装；所述母体外环固定机构设置于所述第一直线位移机构，所述母体外环固定机构用于固定所述母体工装的母体外环，所述第一直线位移机构与所述第三驱动组件连接，所述第一直线位移机构用于驱动所述母体外环固定机构沿着第一方向移动；所述移动底座与所述第四驱动组件连接，所述移动底座用于驱动所述母体工装固定机构和所述第一直线位移机构沿着第一方向移动；
8.子体充气装置，设置于所述子体工装固定装置背离所述母体工装固定装置的一侧，所述子体充气装置包括子体充气接口、第二直线位移机构和第五驱动组件，所述子体充气接口设置于所述第二直线位移机构，所述第二直线位移机构与所述第五驱动组件连接；
9.母体充气装置，设置于所述母体工装固定装置背离所述子体工装固定装置的一侧，所述母体充气装置包括母体充气接口、第三直线位移机构和第六驱动组件，所述母体充气接口设置于所述第三直线位移机构，所述第三直线位移机构与所述第六驱动组件连接；
10.测试管路，分别与所述子体充气接口和所述母体充气接口连通。
11.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件、所述第四驱动组件、所述第五驱动组件和所述第六驱动组件均为伺服电机。
12.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述第一直线位移机构、所述第二直线位移机构和所述第三直线位移机构均为丝杆组件。
13.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述子体工装固定机构、所述母体工装固定机构与所述母体外环固定机构均为电动多爪卡盘。
14.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述子体充气装置还包括分别与所述子体充气接口连通的第一压力传感器和第一泄压阀，以及设置于所述子体充气接口的第一温度传感器。
15.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述母体充气装置还包括分别与所述母体充气接口连通的第二压力传感器和第二泄压阀，以及设置于所述母体充气接口的第二温度传感器。
16.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述测试管路包括控制阀、第一单向阀、第一电动调压阀、第二单向阀和第二电动调压阀，所述控制阀的出气口分别与所述第一电动调压阀的进气口以及所述第二电动调压阀的进气口连通，所述第一电动调压阀的出气口与所述第一单向阀进气口连通，所述第一单向阀的出气口与所述子体充气接口连通；所述第二电动调压阀的出气口与所述第二单向阀进气口连通，所述第二单向阀的出气口与所述母体充气接口连通。
17.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述子体充气接口的端面为第一平面，所述子体工装的第一接口设置有与所述第一平面密封配合的第一密封圈。
18.根据本发明实施例提供的一种快速接头的插拔保压测试系统，所述母体充气接口的端面为第二平面，所述母体工装的第一接口设置有与所述第二平面密封配合的第二密封圈。
19.本发明还提供一种快速接头的插拔保压测试方法，所述测试方法基于上述任意一项所述的快速接头的插拔保压测试系统，所述测试方法包括以下步骤：
20.步骤10，控制第一驱动组件驱动子体工装固定机构夹紧子体工装，第二驱动组件驱动母体工装固定机构夹紧母体工装；
21.步骤20，控制第三驱动组件驱动第一直线位移机构移动，使得母体外环处于打开位置；
22.步骤30，控制第四驱动组件驱动移动底座向靠近所述子体工装的方向移动，使得所述母体工装与所述子体工装插接连接；
23.步骤40，控制第三驱动组件驱动第一直线位移机构移动，使得所述母体外环处于闭合位置；
24.步骤50，所述母体工装与所述子体工装插接预定时间后，控制第三驱动组件驱动第一直线位移机构移动，使得所述母体外环处于打开位置；
25.步骤60，控制第四驱动组件驱动移动底座向远离所述子体工装的方向移动，使得所述母体工装与所述子体工装分离；
26.步骤70，依次重复上述步骤20至步骤60预定次数之后，给测试管路供气进行保压测试。
27.本发明实施例提供的快速接头的插拔保压测试系统，实现了快速接头的自动插拔测试，根据设定的对接与分离的次数，完成母体工装与子体工装的插拔测试，以及子体工装、母体工装和组合体的静态恒定压力规定时间保压、动态压力规定时间保压的测试，提高了测试的效率，提高了测试的准确性。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1是本发明实施例提供的子体工装与母体工装分离状态下的结构示意图；
30.图2是本发明实施例提供的子体工装与母体工装插接状态下的结构示意图；
31.图3是本发明实施例提供的快速接头的插拔保压测试系统的结构示意图；
32.图4是本发明实施例提供的电动多爪卡盘的结构示意图。
33.附图标记：
34.pf、子体工装；pfb、子体工装固定机构；sm1、第一驱动组件；sf、母体工装；smb、母体工装固定机构；wh、母体外环；smd、母体外环固定机构；sm2、第二驱动组件；sm3、第三驱动组件；sm4、第四驱动组件；yd1、移动底座；zx1、第一直线位移机构；pib、子体充气接口；zx2、第二直线位移机构；sm5、第五驱动组件；sib、母体充气接口；zx3、第三直线位移机构；sm6、第六驱动组件；pt1、第一压力传感器；ebv1、第一泄压阀；ts1、第一温度传感器；pt2、第二压力传感器；ebv2、第二泄压阀；ts2、第二温度传感器；cv1、第一单向阀；ecv1、第一电动调压阀；ecv2、第二电动调压阀；cv2、第二单向阀；mov、控制阀；10、第一伺服电机；20、夹持块；30、主动齿轮；40、轴承外圈齿轮。
具体实施方式
35.下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
36.在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。
38.在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
39.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
40.本发明的快速接头的插拔保压测试系统用于快速接头的插拔保压测试，图1示例了本发明实施例提供的子体工装与母体工装分离状态下的结构示意图，图2示例了本发明实施例提供的子体工装与母体工装插接状态下的结构示意图，如图1和图2所示，快速接头包括子体工装pf和母体工装sf，子体工装pf具有两个接口，子体工装pf的第一接口用于与子体充气接口pib进行对接，子体工装pf的第二接口用于与母体工装sf的第二接口插接连接。母体工装sf的第一接口用于与母体充气接口sib进行对接，母体工装sf的第二接口的外周套设有母体外环wh，母体外环wh用于锁定子体工装pf，防止使用过程中子体工装pf与母体工装sf分离。母体外环wh可在打开位置(图2中左侧a位置)与闭合位置(图2中右侧b位置)之间切换，从而实现对子体工装pf的解锁与锁定。
41.图3示例了本发明实施例提供的快速接头的插拔保压测试系统的结构示意图，如图3所示，快速接头的插拔保压测试系统包括平台、子体工装固定装置、母体工装固定装置、子体充气装置、母体充气装置和测试管路。
42.图4示例了本发明实施例提供的电动多爪卡盘的结构示意图，如图4所示，子体工装固定装置包括子体工装固定机构pfb和第一驱动组件sm1，第一驱动组件sm1与子体工装固定机构pfb连接，子体工装固定机构pfb用于夹持子体工装pf，子体工装固定机构pfb为电动多爪卡盘，电动多爪卡盘可以为电动三爪卡盘，当然，电动多爪卡盘也可为电动四爪卡盘，还可以为其他数量的电动卡盘。第一驱动组件sm1为第一伺服电机10，第一伺服电机10的输出轴通过主动齿轮30与电动三爪卡盘的轴承外圈齿轮40啮合。当第一伺服电机10转动时，第一伺服电机10通过主动齿轮30带动轴承外圈齿轮40转动，转动的轴承外圈齿轮40带动夹持块20沿径向方向靠近或远离卡盘的中心，从而实现对子体工装pf的夹紧与松开。由于电动卡盘为市面上可采购的常规夹持组件，因此电动卡盘的具体结构在此不再详细介绍。电动卡盘的具体型号可根据实际需要进行确定。当然子体工装固定机构pfb的类型并不限定于电动卡盘，还可以是其他夹持组件。
43.平台(未示出)用于承载母体工装固定装置与子体工装固定装置，母体工装固定装置与子体工装固定装置沿着第一方向依次设置于平台，母体工装固定装置包括移动底座yd1、母体外环固定机构smd、第二驱动组件sm2、第三驱动组件sm3和第四驱动组件sm4，以及
设置于移动底座yd1的母体工装固定机构smb和第一直线位移机构zx1。
44.母体工装固定机构smb用于夹持母体工装sf，子体工装pf与母体工装sf处于同一直线上，第二驱动组件sm2用于驱动母体工装固定机构smb的打开和闭合，从而实现对母体工装sf的松开与夹紧。母体工装固定机构smb为电动多爪卡盘，当然也可为其他夹持组件。第二驱动组件sm2为第二伺服电机，第二驱动组件sm2与母体工装固定机构smb连接，第二驱动组件sm2与母体工装固定机构smb连接关系与上述第一驱动组件sm1与子体工装固定机构pfb连接关系相同。
45.母体外环固定机构smd设置于第一直线位移机构zx1，母体外环固定机构smd用于夹持母体工装sf的母体外环wh，母体外环固定机构smd为电动多爪卡盘，当然也可为其他夹持组件。第一直线位移机构zx1用于驱动母体外环固定机构smd沿着第一方向移动，第一直线位移机构zx1沿着第一方向设置，第一直线位移机构zx1为第一丝杆组件，第三驱动组件sm3为第三伺服电机，第三伺服电机的输出轴与第一丝杆组件的丝杆连接，第一丝杆组件的壳体与移动底座yd1连接，第一丝杆组件的滑块与母体外环固定机构smd连接。
46.当第三伺服电机转动时，第三伺服电机驱动第一丝杆组件的丝杆转动，第一丝杆组件的滑块带动母体外环固定机构smd沿着第一方向运动，母体外环固定机构smd夹持着母体外环wh沿着第一方向运动，通过控制第三伺服电机的转动方向，可使得母体外环wh在打开位置与闭合位置之间运动。
47.移动底座yd1用于承载母体外环固定机构smd、第二驱动组件sm2、第三驱动组件sm3、第四驱动组件sm4、母体工装固定机构smb和第一直线位移机构zx1，并驱动上述机构沿着第一方向运动。移动底座yd1包括底座和第四直线位移机构，底座呈板状结构，母体工装固定机构smb和第一直线位移机构zx1设置于底座的上表面，第四直线位移机构为第四丝杆组件，第四丝杆组件的滑块与底座的底部连接，第四丝杆组件的壳体与平台连接。第四驱动组件sm4为第四伺服电机，第四伺服电机的输出轴与第四丝杆组件的丝杆连接。
48.当第四伺服电机驱动第四丝杆组件的丝杆转动时，第四丝杆组件驱动移动底座yd1沿着第一方向运动，由于母体工装sf夹持于母体工装固定机构smb，通孔控制第四伺服电机的转动方向，可控制母体工装sf向子体工装pf靠近和远离，从而实现母体工装sf与子体工装pf插接连接或者分离。
49.子体充气装置设置于子体工装固定装置背离母体工装固定装置的一侧，子体充气装置包括子体充气接口pib、第二直线位移机构zx2和第五驱动组件sm5，子体充气接口pib用于与子体工装pf的第一接口对接。第二直线位移机构zx2为第二丝杆组件，第五驱动组件sm5为第五伺服电机，第五伺服电机的输出轴与第二丝杆组件的丝杆连接，子体充气接口pib设置于第二丝杆组件的滑块。子体充气接口pib的固定方式可以有多种，可在第二丝杆组件的滑块设置电动多爪卡盘，利用电动多爪卡盘夹持子体充气接口pib，也可通过卡扣或者螺钉将子体充气接口pib固定于第二丝杆组件的滑块。这里需要说明的是，第二直线位移机构zx2可以设置于平台，也可单独设置，优先将第二直线位移机构zx2设置于平台。
50.子体充气接口pib与子体工装pf处于同一直线上，当第五驱动组件sm5驱动第二丝杆组件的丝杆转动时，第二丝杆组件带动子体充气接口pib沿着第一方向运动。通过控制第五伺服电机的转动方向，可控制子体充气接口pib向子体工装pf靠近或者远离子体工装pf，实现了子体充气接口pib与子体工装pf的对接与分离。
51.母体充气装置设置于母体工装固定装置背离子体工装固定装置的一侧，母体充气装置包括母体充气接口sib、第三直线位移机构zx3和第六驱动组件sm6，母体充气接口sib设置于第三直线位移机构zx3，第三直线位移机构zx3与第六驱动组件sm6连接。
52.第三直线位移机构zx3为第三丝杆组件，第一丝杆组件、第二丝杆组件和第三丝杆组件均为精密丝杆组件，使用精密丝杆组件可有效提高直线位移机构的精度，防止子体工装pf与母体工装sf对接过程中发生损坏。第六驱动组件sm6为第六伺服电机，第六伺服电机的输出轴与第三丝杆组件的丝杆连接，母体充气接口sib设置于第三丝杆组件的滑块。母体充气接口sib的固定方式可以有多种，可以采用电动多爪卡盘夹持母体充气接口sib，也可通过卡扣或者螺钉将母体充气接口sib固定。这里需要说明的是，第三直线位移机构zx3可以设置于平台，也可单独设置，优先将第三直线位移机构zx3设置于平台。
53.母体充气接口sib与母体工装sf处于同一直线上，当第六伺服电机驱动第三丝杆组件的丝杆转动时，第三丝杆组件带动母体充气接口sib沿着第一方向运动。通过控制第六伺服电机的转动方向，可控制母体充气接口sib向母体工装sf靠近或者远离母体工装sf，实现了母体充气接口sib与母体工装sf的对接与分离。
54.测试管路分别与子体充气接口pib和母体充气接口sib连通，测试管路用于分别向子体充气接口pib和母体充气接口sib充入气体，以进行子体工装pf、母体工装sf和组合体的保压测试。
55.本发明实施例提供的快速接头的插拔保压测试系统，实现了快速接头的自动插拔测试，根据设定的对接与分离的次数，完成母体工装sf与子体工装pf的插拔测试，以及子体工装pf、母体工装sf和组合体的静态恒定压力规定时间保压、动态压力规定时间保压的测试，提高了测试的效率，提高了测试的准确性。
56.在本发明的实施例中，测试管路包括控制阀mov、第一单向阀cv1、第一电动调压阀ecv1、第二单向阀cv2和第二电动调压阀ecv2，控制阀mov的进气口与气源连通，控制阀mov的出气口分别与第一电动调压阀ecv1的进气口以及第二电动调压阀ecv2的进气口连通，第一电动调压阀ecv1的出气口与第一单向阀cv1进气口连通，第一单向阀cv1的出气口与子体充气接口pib连通，第一单向阀cv1、第一电动调压阀ecv1以及子体充气接口pib构成了子体保压管路。第二电动调压阀ecv2的出气口与第二单向阀cv2进气口连通，第二单向阀cv2的出气口与母体充气接口sib连通。第二单向阀cv2、第二电动调压阀ecv2以及母体充气接口sib构成了母体保压管路。控制阀mov为手动阀，用于系统开机和停机时气路的开启及切断。
57.在本发明的实施例中，子体充气装置还包括分别与子体充气接口pib连通的第一压力传感器pt1和第一泄压阀ebv1，以及设置于子体充气接口pib的第一温度传感器ts1。其中第一压力传感器pt1用于检测子体保压管路中的压力，第一泄压阀ebv1作为子体保压管路的泄压口，第一温度传感器ts1用于检测子体保压管路中的温度。通过设置第一温度传感器ts1对子体保压管路中的温度进行检测，在进行保压测试时，通过综合压力值与温度值进行判断，可有效提高判定结果的准确性。
58.在本发明的实施例中，母体充气装置还包括分别与母体充气接口sib连通的第二压力传感器pt2和第二泄压阀ebv2，以及设置于母体充气接口sib的第二温度传感器ts2。其中第二压力传感器pt2用于检测母体保压管路中的压力，第二泄压阀ebv2作为母体保压管路的泄压口，第二温度传感器ts2用于检测母体保压管路中的温度。通过设置第二温度传感
器ts2对母体保压管路中的温度进行检测，在进行保压测试时，通过综合压力值与温度值进行判断，可有效提高判定结果的准确性。
59.在本发明的实施例中，子体充气接口pib的端面为第一平面，子体工装pf的第一接口设置有与第一平面密封配合的第一密封圈。当子体工装pf的第一接口与第一平面对接时，第一密封圈可起到密封作用，防止子体充气接口pib与子体工装pf的第一接口之间发生泄漏。
60.在本发明的实施例中，母体充气接口sib的端面为第二平面，母体工装sf的第一接口设置有与第二平面密封配合的第二密封圈。当母体工装sf的第一接口与第二平面对接时，第二密封圈可起到密封作用，防止母体充气接口sib与母体工装sf的第一接口之间发生泄漏。
61.本发明还提供一种快速接头的插拔保压测试方法，测试方法基于上述任意一项实施例所述的快速接头的插拔保压测试系统，测试方法包括以下步骤：
62.步骤10，控制第一驱动组件sm1驱动子体工装固定机构pfb夹紧子体工装pf，第二驱动组件sm2驱动母体工装固定机构smb夹紧母体工装sf；
63.通过控制第一驱动组件sm1转动，第一驱动组件sm1驱动子体工装固定机构pfb的夹持块20向卡盘的中心移动，从而将子体工装pf夹紧。通过控制第二驱动组件sm2转动，第二驱动组件sm2驱动母体工装固定机构smb的夹持块20向卡盘的中心移动，从而将母体工装sf夹紧。为了防止子体工装pf与母体工装sf在插接过程中损坏，子体工装pf与母体工装sf需要处于同一直线上。
64.步骤20，控制第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1移动，使得母体外环wh处于打开位置；
65.通过控制第三驱动组件sm3正向转动，第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1的滑块沿着第一方向移动，滑块带动母体外环固定机构smd移动，母体外环固定机构smd夹持着母体外环wh沿着第一方向向a位置移动，使得母体外环wh处于打开位置。
66.步骤30，控制第四驱动组件sm4驱动移动底座yd1向靠近子体工装pf的方向移动，使得母体工装sf与子体工装pf插接连接；
67.通过控制第四驱动组件sm4正向转动，第四驱动组件sm4驱动移动底座yd1向靠近子体工装pf的方向移动，使得子体工装pf的第二接口与母体工装sf的第二接口插接连接。
68.步骤40，控制第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1移动，使得母体外环wh处于闭合位置；
69.通过控制第三驱动组件sm3反向转动，第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1的滑块移动，滑块带动母体外环固定机构smd沿着第一方向移动，母体外环固定机构smd夹持着母体外环wh沿着第一方向向b位置移动，使得母体外环wh处于闭合位置，将母体工装sf与子体工装pf锁定在一起。
70.步骤50，母体工装sf与子体工装pf插接预定时间后，控制第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1移动，使得母体外环wh处于打开位置；
71.预定时间的时长具体根据测试需要进行确定，预定时间的时长可以为2s、3s或者更长时间。母体工装sf与子体工装pf插接预定时间后，通过控制第三驱动组件sm3正向转动，第三驱动组件sm3驱动第一直线位移机构zx1的滑块移动，滑块带动母体外环固定机构
smd沿着第一方向移动，母体外环固定机构smd夹持着母体外环wh沿着第一方向向a位置移动，使得母体外环wh处于打开位置，以解除对子体工装pf的锁定。
72.步骤60，控制第四驱动组件sm4驱动移动底座yd1向远离子体工装pf的方向移动，使得母体工装sf与子体工装pf分离；
73.通过控制第四驱动组件sm4反向转动，第四驱动组件sm4驱动移动底座yd1向远离子体工装pf的方向移动，使得子体工装pf的第二接口与母体工装sf的第二接口分离，此时母体工装sf与子体工装pf完成一次插接的过程。
74.步骤70，依次重复上述步骤20至步骤60预定次数之后，给测试管路供气进行保压测试。
75.预定次数的多少具体根据测试需要进行确定，完成预定次数的插拔测试后，若子体工装pf与母体工装sf是拔出状态时，可以单独对子体工装pf、母体工装sf进行保压测试；若子体工装pf与母体工装sf是插接状态时，可进行组合体保压测试。
76.保压测试用于测试快速接头在经过大量拔插情况下接头的气密性能。保压测试的原理如下：
77.根据第一压力传感器pt1和第一温度传感器ts1前后两次的检测值，以及第二压力传感器pt2和第二温度传感器ts2前后两次的检测值便可计算出系统的气体残留率，若气体残留率小于设定标准值，则说明系统存在泄露，快速接头的气密性不合格。其中，气体残留率δ可以通过以下公式(1)来计算：
[0078][0079]
其中，p1表示第一压力传感器pt1/第二压力传感器pt2在充气完成时刻检测的压力值，p2表示第一压力传感器pt1/第二压力传感器pt2自充气完成时刻起经过预定时长后检测的压力值，t1表示第一温度传感器ts1/第二温度传感器ts1在充气完成时刻检测的温度值，t2表示第一温度传感器ts1/第二温度传感器ts1自充气完成时刻起经过预定时长后检测的温度值。
[0080]
保压测试可以单独对子体工装pf、母体工装sf进行测试，也可组合进行测试。
[0081]
单独对子体工装pf进行保压测试：第一泄压阀ebv1从常开状态切换至闭合状态，第五驱动组件sm5驱动子体充气接口pib沿着第一方向子体工装pf靠近，使得子体充气接口pib的端面与子体工装pf的第一接口抵接并密封。气体依次经过第一单向阀cv1和第一电动调压阀ecv1给子体保压管路充压，压力值由第一压力传感器pt1反馈给控制系统；压力保持预定时间后，第一泄压阀ebv1切换至常开状态，子体保压管路泄压。
[0082]
单独对母体进行保压测试：第二泄压阀ebv2从常开状态切换至闭合状态，第六驱动组件sm6驱动母体充气接口sib沿着第一方向向母体工装sf靠近时，母体工装sf的第一接口与母体充气接口sib的端面抵接并密封。气体依次经过第二单向阀cv2和第二电动调压阀ecv2给母体保压管路充压，压力值由第二压力传感器pt2反馈给控制系统；压力保持预定时间后，第二泄压阀ebv2切换至常开状态，母体保压管路泄压。
[0083]
对组合体进行保压测试：控制系统只开启第一单向阀cv1或第二单向阀cv2。控制系统通过采集模块采集各个温度传感器和各个压力传感器的数值，通过内部气密性运行，实时判断管路是否泄露。如果管路在设定时间前发生泄露，系统会在显示屏显示，同时色灯
和蜂鸣器动作。
[0084]
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。