一种转盘走线结构及芯片检测设备的制作方法

文档序号:31279671发布日期:2022-08-27 01:22阅读:192来源:国知局
一种转盘走线结构及芯片检测设备的制作方法

1.本发明涉及芯片检测技术领域,具体涉及一种转盘走线结构及芯片检测设备。


背景技术:

2.集成电路(integrated circuit,ic),也称微芯片、晶片或芯片,是一种把电路(包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面。
3.随着半导体行业的发展,集成电路芯片的厚度越做越薄,芯片的加工和检测精度越来越高。在芯片检测过程中,为了提高检测效率,工作台转动安装在芯片检测设备上,并且在工作台上面放置有两个用于承载芯片的载片台,两个载片台相对设置,工作台的下方连接有转盘,通过转盘的转动带动工作台进行往复转动,工作台上两个载片台分别对应芯片检测设备上两个工作位置,分别为芯片上料位置和芯片检测位置,第一个载片台处于芯片上料位置时,第二个载片台处于芯片检测位置。
4.芯片检测过程中,当第一个载片台上好料之后,正向旋转工作台180度,使第一个载片台移动至芯片检测位置,第二个载片台移动至芯片上料位置;当芯片检测完成同时芯片上料完成后,控制工作台反向旋转180度,使第一个载片台移动至芯片上料位置,第二载片台移动至芯片检测位置,此时将第一个载片台上的已检测好的芯片取下,再放上待检测的芯片,同时对第二个载片台上的芯片进行检测,以此循环,持续对芯片进行检测。
5.其中,转盘在转动过程中需要通过电机进行控制,电机需要连接电线,并且电线处于检测设备内部,为了连接外部电源,电线通常长度较长,而当转盘带动工作台进行转动时,过长电线也会跟随转盘发生转动和缠绕,易造成电线缠在一起,彼此之间产生干扰。


技术实现要素:

6.因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中连接在转动结构上的电线长度较长,使得工作台在带动载片台转动过程中,其电机电线易发生缠绕,电线之间或电线与设备之间产生干扰的缺陷,从而提供一种转盘走线结构及芯片检测设备。
7.为解决上述技术问题,本发明提供了一种转盘走线结构,包括:
8.转盘本体,所述转盘本体包括转盘上部和转盘下部,所述转盘上部的轴线和转盘下部的轴线重合设置,且所述转盘上部和转盘下部间隔设置;
9.所述转盘上部转动安装在检测装置内,且所述转盘上部适于支撑放置芯片的工作台,所述转盘下部固定安装在检测装置内;
10.所述转盘上部朝向所述转盘下部的侧面上沿所述转盘上部的轴向伸出有至少一个第一连接端,所述转盘下部朝向所述转盘上部的侧面上沿所述转盘下部的轴向伸出有至少一个第二连接端;
11.电线,所述电线沿转盘本体的轴向螺旋设置,且所述电线依次连接在所述第一连接端和第二连接端上。
12.可选的,还包括驱动电机,所述驱动电机适于驱动所述转盘上部转动,且所述电线
连接在转盘上部的部分与所述驱动电机电连接。
13.可选的,所述第一连接端和第二连接端上均开设有适于电线通过的安装孔,所述电线通过安装孔后通过紧固件固定在连接端上。
14.可选的,所述第一连接端和第二连接端均为连接杆,所述连接杆的端部安装有安装板,所述安装板与连接杆之间形成有适于所述电线穿过的安装孔。
15.可选的,所述第一连接端具有两个,且两个所述第一连接端的伸出长度不同,两个所述第一连接端的端部均在所述电线的螺旋路径上;
16.所述第二连接端具有两个,且两个所述第二连接端的伸出长度不同,两个第二连接端的端部均在所述电线的螺旋路径上。
17.可选的,两个所述第一连接端和两个所述第二连接端均匀分布在所述电线螺旋路径形成的圆周上。
18.可选的,所述紧固件为摁钉、胶带、胶水、双面胶中的一种或几种。
19.可选的,所述转盘上部的转动角度为180度。
20.还提供了芯片检测设备,包括上述的转盘走线结构,还包括:
21.工作台,固定安装在转盘上部上,所述工作台上设有载片台。
22.可选的,所述载片台具有两个,且两个载片台相对设置。
23.本发明技术方案,具有如下优点:
24.1.本发明提供的转盘走线结构,转盘本体包括转盘上部和转盘下部,转盘上部和转盘下部间隔设置,转盘上部转动安装在检测装置内,转盘下部固定安装在检测装置内,电线的两端分别连接在转盘上部和转盘下部,电线沿转盘本体的轴向螺旋设置,转盘上部轴向伸出有第一连接端,转盘下部伸出有第二连接端,电线螺旋过程中依次连接第一连接端和第二连接端,通过第一连接端和第二连接端对电线进行固定,当转盘上部进行旋转时,电线位于第一连接端和第二连接端之间的部分进行拉紧或放松,避免电线发生缠绕,便于转盘走线结构带动工作台进行转动。通过第一连接端和第二连接端对电线的固定,使得电线在跟随转盘上部旋转时,位于第一连接端和第二连接端之间的部分进行拉紧或放松,尽量避免电线和其他结构发生缠绕,将电线的部分节点固定在连接端上,缩短电线跟随转盘上部转动的可移动长度,保护线路不被磨损,
25.2.本发明提供的转盘轴线结构,第一连接端和和第二连接端均设有两个,且伸出长度不同,并且每个连接端的端部均在电线的螺旋路径上,在缩短电线可移动长度的同时,还可满足电线的旋转收缩或旋转松弛。
附图说明
26.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本发明实施例1提供的转盘走线结构电线收缩状态的第一角度结构示意图;
28.图2为本发明实施例1提供的转盘走线结构电线收缩状态的第二角度结构示意图;
29.图3为本发明实施例1提供的转盘走线结构电线松弛状态的第一角度结构示意图;
30.图4为本发明实施例1提供的转盘走线结构电线松弛状态的第二角度结构示意图;
31.图5为本发明实施例1提供的转盘走线结构中第一连接端的第一角度结构示意图;
32.图6为本发明实施例1提供的转盘走线结构中第一连接端的第二角度结构示意图。
33.附图标记说明:
34.1、转盘上部;2、转盘下部;3、第一连接端;31、突出部;4、第二连接端;5、电线;6、安装板;61、安装部;62、倒钩部;7、螺钉。
具体实施方式
35.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
36.在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
38.此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
39.实施例1
40.实施例提供了转盘走线结构的一种具体的实施方式,如图1、图2、图3和图4所示,转盘本体包括转盘上部1和转盘下部2,转盘上部1的轴线和转盘下部2的轴线重合设置,且转盘上部1和转盘下部2间隔设置,转盘上部1转动安装在检测装置内,转盘下部2固定安装在检测装置内,转盘上部1朝向转盘下部2的侧面上沿转盘上部1的轴向伸出有至少一个第一连接端3,转盘下部2朝向转盘上部1的侧面上沿转盘下部2的轴向伸出有至少一个第二连接端4;电线5沿转盘本体的轴向螺旋设置,且电线5螺旋过程中依次连接第一连接端3和第二连接端4。通过第一连接端3和第二连接端4对电线5进行固定,当转盘上部1进行旋转时,电线5位于第一连接端3和第二连接端4之间的部分进行收缩或松弛,避免电线5发生缠绕,便于转盘走线结构带动工作台进行转动。通过第一连接端3和第二连接端4对电线5的固定,使得电线5在跟随转盘上部1旋转时,位于第一连接端3和第二连接端4之间的部分进行收缩或松弛,尽量避免电线5和其他结构发生缠绕,将电线5的部分节点固定在连接端上,缩短电线5跟随转盘上部1转动的可移动长度,保护线路不被磨损,
41.具体的,第一连接端3和第二连接端4均设有两个,且两个第一连接端3的伸出长度不同,两个第二连接端4的伸出长度不同,使得四个连接端的端部均在电线5的螺旋路径上。
42.作为一种可替换的实施方式,第一连接端3和第二连接端4还可以设置为三个、四
个甚至更多,只要连接端的端部处于电线5螺旋路径上即可,可以尽可能缩短电线5的可移动长度。
43.本实施例中,还包括驱动电机,驱动电机的驱动端与转盘上部1连接,控制驱动电机的正反转可以带动转盘上部1进行往复转动,电线5位于转盘上部1的部分与驱动电机电连接,使驱动电机可以连接外部电源。
44.本实施例中,第一连接端3和第二连接端4均为连接杆,如图5和图6所示,在连接杆的端部连接有安装板6,安装板6上具有安装部61和倒钩部62,倒钩部62可以勾在连接杆端部的突出部31位置处,通过螺钉7将安装部61固定在连接杆上,安装板6中间部位与连接杆之间形成允许电线5通过的安装孔。
45.本实施例中,电线5穿过安装孔后通过紧固件固定在连接端上,紧固件可以是摁钉、胶带、胶水、双面胶中一种或几种,每个连接端可以采用不同的紧固方式。
46.本实施例中,两个第一连接端3和两个第二连接端4均匀分布在电线5螺旋路径形成的圆周上。
47.本实施例中,转盘上部1的转动角度为180度。本实施例中,转盘上部可以直接安装在驱动电机的驱动端,也可通过齿轮的配合完成与驱动电机的连接。
48.本实施例中,转盘上部1是由托板及四支腿支架组成;转盘下部2为托板。托板上均开设有通孔,转盘上部1的通孔的轴线和转盘下部2的通孔的轴线重合布置。
49.本实施例中,电线5外部包裹有绝缘层。
50.工作原理:
51.驱动电机与外部电源连通的电线5螺旋连接在转盘本体上,并依次穿过两个第一连接端3和两个第二连接端4,其中,伸出长度最长的第一连接端3和第二连接端4之间的电线5部分可以跟随转盘上部1的转动发生收缩或松弛。如图1和图3所示,当转盘上部1顺时针转动时,电线5由收缩态转换为松弛态;转盘上部1逆时针转动时,电线5由松弛态转换为收缩态,电线5的可移动长度大大缩短,减少检测装置内电线5的磨损。
52.实施例2
53.本实施例提供了芯片检测设备的一种具体的实施方式,采用实施例1中的转盘走线结构,转盘走线结构安装在芯片检测设备内,在转盘上部1安装工作台,工作台上设有两个载片台,两个载片台相对设置。
54.通过转盘上部1的往复180度的转动,可以带动工作台进行往复180度的转动,进而带动两个载片台在两个工作位置来回切换。
55.显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
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