技术特征：
1.一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，在icp-ms的射频控制部分设有调节系统，所述调节系统包括：控制器；电源模块，用于将控制电压放大，为射频模块提供电压；射频模块，将电压加在等离子体上；dac模块，用以调节输出电压；adc采集模块，反馈实际功率p
c
；控制器通过adc采集模块的反馈反复调解dac模块控制电压，使得实际功率p
c
趋近目标功率p
t
，所述反复调解dac模块控制电压的方法包括：(1)调节前，采集dac模块控制电压和输出功率对应表，存储；(2)粗调，目标功率p
t
确定后，通过查表法设置接近的dac模块控制电压，缩小功率偏差p
d
，p
d
＝p
t-p
c
；(3)微调，进一步比例调节dac模块控制电压，使得|p
d
/p
t
|<0.01％，判断为稳定；(4)adc采集模块持续监测，若出现波动，自动按上述方法动态调节至稳定。2.根据权利要求1所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，dac模块中，dac模块控制电压，经过转换为do值，反复调解dac模块控制电压的方法，以功率偏差p
d
的绝对值为调节条件，以do值为调节参数，方法如下：若|p
d
|大于400w，通过查表法，找出最接近目标功率p
t
的do值；若|p
d
|大于60w且小于等于400w，比例调节do值，调节公式为do＝do'+(p
d
*10)/2；若|p
d
|小于等于60w，比例调节do值，调节公式为do＝do'+(p
d
*10)/8；do'为调整前的do值。3.根据权利要求2所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，粗调时，设置减去固定do
x
值作为安全调节措施，调节公式为do＝do'-do
x
。4.根据权利要求3所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，do
x
值设为5000。5.根据权利要求2或3或4所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，对do值的调节设置安全范围，dac设置电压上限d
mx
，上述所有调节过程若do值调节后超过d
max
，则do＝d
mx
。6.根据权利要求5所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，adc采集模块包括adc1采集模块，用于采集射频电压；adc2采集模块，用于采集射频电流所在电路电压，转换后得到射频电流；射频电压和射频电流计算得出实际功率p
c
。7.根据权利要求6所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，dac模块和adc采集模块集成在控制器上，控制器为微控制单元mcu。8.根据权利要求7所述的一种趋近式调节icp-ms功率的方法，其特征在于，dac模块控制电压和输出功率对应表的采集方法如下：(1)pc电脑和mcu通过串口交互；(2)pc电脑指令调整dac模块控制电压，并经过线性关系转换为do值，记录；(3)adc1采集模块采集射频电压，记录；adc2采集模块采集射频电流所在电路电压，转换后得到射频电流，记录；
(4)mcu通过串口将射频电压和射频电流上传给pc电脑，pc电脑计算输出功率，然后整合控制电压、do值、射频电压、射频电流、输出功率的数据得到dac模块控制电压和输出功率对应表。
技术总结
本发明公开了一种趋近式调节ICP-MS功率的方法，在ICP-MS的射频控制部分设有调节系统，所述调节系统包括：控制器；电源模块，用于将控制电压放大，为射频模块提供电压；射频模块，将电压加在等离子体上；DAC模块，用以调节输出电压；ADC采集模块，反馈实际功率P
技术研发人员：费鹏 梁炎
受保护的技术使用者：瑞莱谱（杭州）医疗科技有限公司
技术研发日：2022.06.11
技术公布日：2022/12/1