一种半导体测试用测试架的制作方法

1.本发明涉及半导体测试设备技术领域，特别涉及一种半导体测试用测试架。


背景技术：

2.在对半导体芯片进行测试时，由于布局原因，有时候需要将芯片倾斜，避开电阻电容等元件的阻挡，对针脚处进行测试，这就需要对测试架上用来放置半导体芯片的承托台进行偏转，承托台偏转时，为提高偏转角度的精确，一般是通过多重微调方式对承托台进行偏转，对旋钮进行旋转时，如果操作者手部存在抖动，很容易使已调节好旋转位移的旋钮发生改变，直接会导致最终的偏转角度发生误差，与预设值不一致，因此，本发明提出了一种半导体测试用测试架。


技术实现要素：

3.本发明为了解决上述现有技术中存在问题，提供一种半导体测试用测试架，以解决现在的技术问题。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.本发明提供了一种半导体测试用测试架，包括：底座，所述底座上设置有支撑板，所述支撑板上设置有第一支架，所述第一支架上设置有通孔，所述通孔内设置有转轴，所述转轴上固定有承托台。
6.优选的，所述第一支架和支撑板之间连接有带动第一支架转动的第一电动机，所述转轴和第一支架之间连接有带动转轴转动的第二电动机。
7.优选的，所述支撑板上设置有导轨，所述导轨上设置有滑块，所述滑块上设置有第二支架，所述第二支架上设置有若干探针。
8.优选的，所述第二支架上还设置有灯条。
9.优选的，所述底座上设置有用于控制第一电动机转动的第一旋钮，所述第一旋钮和第一编码器相连接，所述第一编码器转动角度ω
b1
和第一电动机带动的第一支架转动的角度ω
d1
满足ω
d1
＝k1*ω
b1
。
10.优选的，所述底座上设置有用于控制第二电动机转动的第二旋钮，所述第二旋钮和第二编码器相连接，所述第二编码器转动角度ω
b2
和第二电动机带动的转轴转动的角度ω
d2
满足ω
d2
＝k2*ω
b2
。
11.优选的，所述底座上设置有用于控制滑块在导轨上上下运动的第三旋钮，所述第三旋钮和第三编码器相连接，所述第三编码器转动角度ω
b3
和滑块的位移l
d3
满足l
d3
＝k3*ω
b3
。
12.本发明的有益效果是：用于半导体测试过程中的承托台的微调，装置中设置有三个编码器，编码器与电机和导轨之间具有防抖功能，可以有效减少调整过程中手部抖动对承托台的影响，同样，在微调结束后，可以通过设置阈值以防止测试过程中的误触，提高测试精度。
附图说明
13.本发明的上述的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
14.图1是本发明实施例的半导体测试用测试架的结构示意图；
15.图2是本发明实施例的半导体测试用测试架的主视结构示意图；
16.图3是本发明实施例的半导体测试用测试架的俯视结构示意图；
17.图4是本发明实施例的半导体测试用测试架的侧视结构示意图；
18.图5是本发明实施例的半导体测试用测试架的另一结构示意图。
19.附图标记说明：
20.在图1-图5中，底座1；支撑板2；第一电动机3；滑块4；第二支架5；第一支架6；承托台7；第二电动机8；第一旋钮9；第二旋钮10；第三旋钮11；测试按钮12；探针13；灯条14。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.本发明提供了一种半导体测试用测试架，包括：底座1，底座1上设置有支撑板2，支撑板2上设置有第一支架6，第一支架6上设置有通孔，通孔内设置有转轴，转轴上固定有承托台7。底座1和支撑板2都为金属板，第一支架6和第二支架5为如图所示的金属架，转轴为金属轴，承托台7为金属板，其上表面粘贴有一层用于防滑的橡胶。
23.第一支架6和支撑板2之间连接有带动第一支架6转动的第一电动机3，转轴和第一支架6之间连接有带动转轴转动的第二电动机8。第一电动机3和第二电动机8都为伺服电机。
24.支撑板2上设置有导轨，导轨上设置有滑块4，滑块4上设置有第二支架5，第二支架5上设置有若干探针13。导轨为动力导轨。第二支架5上还设置有灯条14。灯条14为led灯。
25.底座1上设置有用于控制第一电动机3转动的第一旋钮9，第一旋钮9和第一编码器相连接，第一编码器转动角度ω
b1
和第一电动机3带动的第一支架6转动的角度ω
d1
满足ω
d1
＝k1*ω
b1
。其中，第一编码器和第一伺服电机都连接在控制器上，控制器为一个单片机，控制器每0.1s读取一次第一编码器的转动角度，每次读取到角度信息后会和上次记录的角度信息进行比较(为方便说明，当前时刻的记录的角度信息记为ω
b1t
，上次记录的角度信息记为ω
b1l
，ω
b1l
初始值为0)，当|ω
b1t-ω
b1l
|≤l1时，ω
b1
＝ω
b1l
，否则，ω
b1
＝ω
b1t
。其中，顺时针为各个编码器和电动机的正方向，角度的单位为弧度。
26.底座1上设置有用于控制第二电动机8转动的第二旋钮10，第二旋钮10和第二编码器相连接，第二编码器转动角度ω
b2
和第二电动机8带动的转轴转动的角度ω
d2
满足ω
d2
＝k2*ω
b2
。其中，第二编码器和第二伺服电机都连接在控制器上，控制器每0.1s读取一次第二编码器的转动角度，每次读取到角度信息后会和上次记录的角度信息进行比较(为方便说明，当前时刻的记录的角度信息记为ω
b2t
，上次记录的角度信息记为ω
b2l
，ω
b2l
初始值为0)，当|ω
b2t-ω
b2l
|≤l2时，ω
b2
＝ω
b2l
，否则，ω
b2
＝ω
b2t
。
27.底座1上设置有用于控制滑块4在导轨上上下运动的第三旋钮11，第三旋钮11和第三编码器相连接，第三编码器转动角度ω
b3
和滑块4的位移l
d3
满足l
d3
＝k3*ω
b3
。其中，第三编码器和动力导轨都连接在控制器上，控制器每0.1s读取一次第三编码器的转动角度，每次读取到角度信息后会和上次记录的角度信息进行比较(为方便说明，当前时刻的记录的角度信息记为ω
b3t
，上次记录的角度信息记为ω
b3l
，ω
b3l
初始值为0)，当|ω
b3t-ω
b3l
|≤l3时，ω
b3
＝ω
b3l
，否则，ω
b3
＝ω
b3t
。其中，滑块4位于导轨的最上方处时位移记为0；向下运动后位移为正，位移的单位为cm。底座1上还设置有测试按钮12，测试按钮12为一个开关，连接于控制器上，当开关打开后，l1，l2和l3都变为原始值的100倍，当测试按钮12关闭后，l1，l2和l3都变为原始值。
28.使用时，使用三个旋钮对承托台7的角度和探针13的高度进行调整，当调整完成后，开启测试按钮12，防止误触，当需要微调是，关闭测试按钮12即可，使用方便。
29.本技术用于半导体测试过程中的承托台7的微调，装置中设置有三个编码器，编码器与电机和导轨之间具有防抖功能，可以有效减少调整过程中手部抖动对承托台7的影响，同样，在微调结束后，可以通过设置阈值以防止测试过程中的误触，提高测试精度。
30.实施例1：
31.如前所述，作为一种优选的方案，其中，k1＝0.1，l1＝0.01；k2＝0.1，l2＝0.01；k3＝0.1，l3＝0.01。
32.实施例2：
33.如前所述，作为一种优选的方案，其中，k1＝0.2，l1＝0.15；k2＝0.2，l2＝0.15；k3＝0.2，l3＝0.15。
34.实施例3：
35.如前所述，作为一种优选的方案，其中，k1＝0.3，l1＝0.2；k2＝0.3，l2＝0.02；k3＝0.3，l3＝0.02。
36.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。