元器件样品制备方法与流程

1.本发明涉及元器件测量分析领域，尤其涉及一种元器件样品制备方法。


背景技术：

2.破坏性物理分析(destructive physical analysis，dpa)是在元器件的生产批次中随机抽取适当数量的样品，对样品进行无损分析或有损分析，从而检验元器件的结构、材料、制造质量等是否满足预设用途及相关规范要求。目前，破坏性物理分析实验中制备元器件样品通常包括：将样品放置于一个平整的平面上，将模具置于平面上将样品包围，向模具内注入胶体以将样品进行固定，将胶体固化后形成的固化体进行脱模，对固化体固定有样品的底面进行打磨、抛光使样品露出内部结构，以对样品进行观察分析。以上制样方法中存在以下缺陷：
3.a.胶体固化后与模具贴合紧密，难以取出；
4.b.固化体的顶面不平整，为了方便打磨固化体的底面，需要先将顶面打磨平整，费时费力，且难以保证固化体的顶面平整，从而导致打磨固化体底面时受力不均，以及对样品进行观察分析时无法保持水平导致观察分析困难。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种元器件制样方法，能够简化元器件制样步骤，节省人力和时间。
6.为了实现上述目的，本发明提高了一种元器件制样方法，包括：
7.将待测样品和模具置于基板上，所述模具具有向下开口的腔室和与所述腔室连通的注胶口，所述基板上的所述待测样品位于所述腔室；
8.向所述腔室内注入胶体，待所述胶体固化后形成固化体，所述待测样品、所述模具和所述固化体形成结合体；
9.对所述结合体固化有所述待测样品的一面进行打磨、抛光。
10.可选的，所述模具具有远离所述基板的一端面，所述端面平行于所述基板放置所述待测样品和所述模具的平面。
11.可选的，所述模具还包括与所述腔室的下端开口相对设置的顶壁，所述顶壁的一位置形成所述注胶口。
12.可选的，所述腔室的上端敞开以形成作为所述注胶口的上端开口。
13.可选的，向所述模具内注入胶体或所述胶体固化后，在所述模具的上端盖设一盖体，所述盖体具有平整的上表面，所述盖体盖设在所述模具上后，所述盖体的上表面与所述基板放置所述待测样品和所述模具的平面平行。
14.可选的，注入所述模具的所述胶体浸没所述待测样品。
15.可选的，所述模具和所述固化体的硬度和耐磨度相同或相近。
16.可选的，所述胶体为环氧树脂或丙烯酸树脂。
17.可选的，所述模具由透明材料制成。
18.可选的，所述模具为圆柱状或棱柱状。
19.本发明提供的元器件样品制备方法中，通过胶体固化后形成固化体，待测样品、模具和固化体形成结合体，直接对结合体固化有待测样品的一面进行打磨、抛光，制备出用于检测、分析的元器件样品，无需将固化后的胶体进行脱模，而且只需对结合体固化有待测样品的一面进行打磨、抛光，从而能够简化元器件样品制备的步骤，节省元器件样品制备的人力和时间。
附图说明
20.图1是本发明实施例元器件样品制备方法的流程图。
21.图2是本发明实施例步骤s100中将待测样品和模具置于基板上的俯视图。
22.图3是本发明实施例结合体的结构透视示意图。
23.图4是本发明实施例结合体的分解结构示意图。
24.图5是本发明另一实施例结合体的结构示意图。
具体实施方式
25.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
26.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明方法执行时使用的装置或元件惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
28.需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
29.如图1至图5所示，为了克服现有的元器件样品制备步骤复杂、费时费力等缺陷，本发明实施例提供了一种元器件样品制备方法，包括：
30.s100、将待测样品1和模具10置于基板20上，模具10具有向下开口(如图4所示的下端开口13)的腔室11和与腔室11连通的注胶口12，基板20上的待测样品1位于腔室11(如图2和图3所示)。
31.放置于基板20上的待测样品1的类别和数量可以根据需求设置，当需要多个待测样品1时，可以将待测样品1规则排列放置在基板20上(如图2所示)，所有待测样品1位于腔室11内以能够将所有待测样品1进行固定。
32.s110、向腔室11内注入胶体，待胶体固化后形成固化体30，待测样品1、模具10和固
化体30形成结合体(如图3至图5所示)。胶体形成固化体30后，待测样品1嵌入固化体30中，固化体30和模具10粘合紧密。
33.可以理解的是，胶体通过注胶口12注入腔室11；为了防止向模具10内注入胶体时流出，当模具10置于基板20上时，需要保证模具10与基板20之间紧密贴合。
34.s120、对结合体固化有待测样品1的一面进行打磨、抛光。
35.本发明实施例的元器件样品制备方法中，通过胶体固化后形成固化体30，待测样品1、模具10和固化后的固化体30形成结合体，直接对结合体固化有待测样品1的一面进行打磨、抛光，制备出用于检测、分析的元器件样品，无需将固化后的固化体30进行脱模，而且只需对结合体固化有待测样品1的一面进行打磨、抛光，从而能够简化元器件样品制备的步骤，节省元器件样品制备的人力和时间。
36.可以理解的是，由于模具10会和待测样品1、固化体30形成结合体，直接对结合体进行打磨、抛光，模具10为元器件样品制备时的一次性用具，因此，可以根据不同元器件样品制备的需求采用对应材质、规格的模具10。
37.为了便于对结合体进行打磨、抛光以及制样完成后的观察分析，模具10具有远离基板20的一端面，端面平行于基板20防止待测样品1和模具10的平面，由此，胶体固化后，可以直接将结合体倒置使结合体固化有待测样品1的一面向上露出，模具10远离基板20的端面放置于基板20，使得结合体能够水平放置，方便对结合体的打磨、抛光和对样品的观察分析。
38.当然，对结合体进行打磨、抛光时，也不限于将结合体倒置，也可以是将结合体沿其长度方向倾斜或水平放置以将固化有待测样品1的一面露出，只要能够将结合体固化有待测样品1的一面露出能够进行打磨、抛光即可。因此，模具10远离基板20的端面也不限于与基板20平行设置。
39.如图3和图4所示，模具10还包括与腔室11的下端开口13相对设置的顶壁14(以图3为例，下端开口13形成于模板10置于基板20时的下端，顶壁14形成于模板10的上端)，顶壁14的一位置形成有注胶口12，并非指顶壁14只能在某一位置形成一个注胶口12，而是指可以在顶壁14的任意位置形成注胶口12，形成注胶口12的数量也不作限制，可以根据实际需求设置。如图3所示，腔室11由模具10的侧壁围绕形成，顶壁14和下端开口13分别设置在侧壁相对的两端。
40.当然，注胶口12也可以开设在模具10的侧壁上。可以理解的是，当注胶口12开设在侧壁上时，为了防止注入模具10内的胶体流出，可以将注胶口12开设在模具10靠近顶壁14的侧壁处。
41.如图2所示，腔室11的上端敞口以形成作为注胶口的上端开口15，由于胶体可以直接从模具10的上端开口15注入，对胶体的注入没有止挡，能够方便胶体的注入，也便于观察放置模具10和待测样品1的相对位置、注入模具10的胶体的用量和胶体的固化情况。
42.在其他一些实施例中，模具10也可以由透明材料制成以便于观察放置模具10和待测样品1的相对位置、注入模具10的胶体的用量和胶体的固化情况。
43.进一步地，如图5所示，为了进一步方便打磨、抛光结合体以及观察分析待测样品1，向模具10内注入胶体后，可以在模具10的上端盖设一盖体16，盖体16具有平整的上表面，盖体16盖设在模具10上后，盖体16的上表面与基板20放置待测样品1和模具10的平面平行，
将结合体倒置对固化有待测样品1的一面进行打磨、抛光时，由盖体16将结合体支撑在基板20上，有利于打磨、抛光时对结合体的受力。当然，也可以待胶体固化后再将盖体16盖设在模具10的上端，或注入胶体后至胶体固化期间的任一时刻将盖体16盖设在模具10的上端，此外，盖体16可以重复使用，从而能够降低盖体16的物料成本。
44.可以理解的是，由于本发明实施例提供的元器件样品制备方法可以直接将待测样品1、模具10和固化后的胶体形成的结合体倒置后将结合体水平放置在基板20上，对露出待测样品1的一面进行打磨、抛光，无需对相对待测样品1的一端进行磨平，因此，无需使得注入的胶体形成的固化体30具有一定的厚度以方便磨平，注入模具10的胶体只需浸没待测样品1即可，能够节约胶体的用量，从而节约元器件样品制备的成本。
45.在一些具体的示例中，模具10和固化后的胶体的硬度和耐磨度相同或相近，能够使对结合体的打磨更加均匀，防止模具10的硬度过高难以打磨，或模具10不耐磨导致固化后的胶体比模具10先磨掉导致结合体固化有待测样品1的一面难以打磨水平。可以理解的是，模具10的厚度和强度需要保证对结合体进行打磨抛光时不会被破坏，以防止破坏嵌入固化体30的待测样品1。
46.在一些具体的示例中，胶体可以选择环氧树脂或丙烯酸树脂等等能够产生固化反应的物质，以固化后能够将待测样品1固定在固化体上，便于后续打磨、抛光以及对制作完成的样品进行观察分析。
47.在一些实施例中，模具10可以是圆柱状或棱柱状等柱状结构，以便于对模具10的加工。
48.以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，其作用是方便本领域的技术人员理解并据以实施，当然不能以此来限定本发明的之权利范围，因此依本发明的申请专利范围所作的等同变化，仍属于本发明的所涵盖的范围。