技术特征：
1.一种基于能斯特效应的激光功率探头，其特征在于，所述激光功率探头包括氧化铝基板、光吸收层、螺旋状排布的线型的拓扑材料、条形磁铁提供的外磁场以及引线，所述氧化铝基板呈碗状结构，所述光吸收层位于外碗面顶部，所述螺旋状排布的线型拓扑材料位于内碗面表面，所述磁场与所述螺旋状排布的线型拓扑材料垂直，所述螺旋状排布的线型拓扑材料两端与所述引线连接。2.如权利要求1所述的一种基于能斯特效应的激光功率探头，其特征在于，所述光吸收层为硅热吸收层，所述螺旋状排布的线型拓扑材料为螺旋状薄膜热电偶。3.如权利要求1所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1)模拟出所用磁铁磁场并设计垂直于磁场的碗面结构；2)采用颗粒大小为10μm～45μm硅粉，通过等离子体喷涂法氧化铝板上制备吸光导热硅层；3)在基底铝板表面，使用螺旋状的不锈钢掩模板，采用化学气相沉积的方法制备cd3as2薄膜热电堆。4.如权利要求3所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中，氧化铝基板呈倒扣的碗状，碗内曲面各处的切线满足与外加磁场方向垂直。5.如权利要求3所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中，需根据所用磁铁的各项数据，使用comsol软件模拟出其周边磁场，同时得到最近的垂直于该磁场的曲面。6.如权利要求4所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤1)，利用所得到的垂直于磁场的曲面，均衡各项指标给出合适的厚度，并留一平面制备光吸收层，得到碗装结构。7.如权利要求3所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤2)的处理过程为：先将制备好的碗状基板拭净，并在基底铝板表面进行喷砂轰击，随后将颗粒大小为10μm～45μm硅粉，利用等离子体喷涂法制备吸光导热硅层，工作气体为ar和h2，功率39.2kw，喷涂距离120mm，送粉速率10g/min，控制喷涂时间，制备获得设定厚度范围的吸光导热硅层。8.如权利要求7所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中，等离子体喷涂法制备的吸光导热硅层为硅层，厚度为100μm～300μm。9.如权利要求3所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤3)的处理过程为：利用cad软件设计螺线形掩膜板，其最内圈半径为10mm，最外圈半径为25mm的螺旋线，螺旋线的宽度为50μm，圈数为490。利用化学气相沉积方法制备cd3as2薄膜的方法是：在veeco d125旋转圆盘反应器中进行cd3as2的生长，生长时容器内温度为215-225℃，压强为2.7
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10^(4)pa；使用二甲基镉(dmcd)和叔丁基砷(tbas)作为其前体。为降低吸附时的化学作用，使用n2作为其前体载气。在次环境下生长80min，得到平整的cd3as2薄膜。10.如权利要求9所述的基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中，使用氮气切割获得螺旋形的不锈钢材质的掩模板。
技术总结
一种基于能斯特效应的激光功率探头，包括氧化铝基板、光吸收层、螺旋状排布的线型的拓扑材料、条形磁铁提供的外磁场以及引线，所述氧化铝基板呈碗状结构，所述光吸收层位于外碗面顶部，所述螺旋状排布的线型拓扑材料位于内碗面表面，所述磁场与所述螺旋状排布的线型拓扑材料垂直，所述螺旋状排布的线型拓扑材料两端与所述引线连接。以及提供一种基于能斯特效应的激光功率探头的制备方法。本发明可以减小探头体积、同时增加热电系数。同时增加热电系数。同时增加热电系数。
技术研发人员：曹天涌 魏祯辉 吕斌 陈家浩 周展超 陈东珠 崔福洋 吴冰 蒋恺言 蔡萍根 何百岳
受保护的技术使用者：浙江工业大学
技术研发日：2022.07.19
技术公布日：2022/10/25