一种芯片用测试机械臂的制作方法

文档序号:31799051发布日期:2022-10-14 18:18阅读:140来源:国知局
一种芯片用测试机械臂的制作方法

1.本发明涉及芯片测试技术领域,具体为一种芯片用测试机械臂。


背景技术:

2.随着科技的发展,芯片产业发展越来越快,芯片的小型化、多功能是现代芯片产业的发展趋势。由于芯片生产需经过几百步的工艺,任何一步的错误都可能导致器件失效,因此芯片测试环节至关重要。芯片在测试需要将芯片放置于芯片测试头和机台之间,通过测试机械臂驱动芯片测试头移动,实现芯片的测试。现有的机械臂的结构复杂,制造难度大,且制造成本高,同时维护保养难度大,不利于中小型企业的发展。


技术实现要素:

3.本发明的目的在于提供一种芯片用测试机械臂,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种芯片用测试机械臂,包括机身导杆连接板,所述机身导杆连接板上连接有第一连接轴,所述第一连接轴转动连接有第一段臂,所述第一段臂的远离第一连接轴端转动连接有与第一连接轴相平行的第二连接轴,所述第二连接轴连接有第二段臂,所述第二段臂的远离第二连接轴端连接有与第二连接轴相平行的第三连接轴,所述第三连接轴转动连接有第三段臂,所述第三段臂的靠近第三连接轴一端连接有与第三连接轴相垂直的第四连接轴,所述第四连接轴转动连接有测试头固定臂,所述第三段臂的远离第四连接轴端设有顶杆,所述顶杆穿设于第三段臂上且分别与第三连接轴、第四连接轴垂直,所述第一段臂上设有弹力锁紧器。
5.进一步优选,所述弹力锁紧器包含两个弹力压板,两个所述弹力压板对称设置,两个所述弹力压板之间连接有平衡长条,两个所述弹力压板的远离平衡长条端均设有锁口,两个所述锁口分别用于第一连接轴和第二连接轴的穿设,所述平衡长条的侧边设有与其垂直的偏心轴。
6.进一步优选,所述弹力压板上下倾斜设置,所述弹力压板的靠近平衡长条端高于锁口端。
7.进一步优选,所述偏心轴设置于平衡长条的中间下方,所述偏心轴的远离偏心轴端设有第一锁紧把手。
8.进一步优选,所述第三段臂的靠近第二段臂的侧面设有两个第一轴承固定块,所述第三连接轴的两端分别穿设于两个第一轴承固定块内。
9.进一步优选,所述第三连接轴的靠近第四连接轴端套设有锁紧块,所述锁紧块固定于第三段臂上,所述锁紧块连接有第二锁紧把手。
10.进一步优选,所述测试头固定臂的靠近第三段臂侧面设有两个第二轴承固定块,所述第四连接轴的两端分别穿设于两个第二轴承固定块内。
11.进一步优选,所述顶杆与第三段臂螺接,所述顶杆的远离测试头固定臂端设有旋
转把手。
12.有益效果:本发明的芯片用测试机械臂,通过第一段臂、第二段臂和第三段臂的上下转动,通过测试头固定臂的前后转动,可实现对测试头固定臂的前后、左右和上下移动及一定角度的旋转,进而实现对芯片测试头的前后、左右和上下移动及一定角度的旋转,实现对不同位置或角度的芯片的测试,适用性广泛;该测试机械臂的结构简单,易于加工制造,且生产成本低,维护保养容易;且方便人工手动调节,有利于中小型企业的使用和发展。
附图说明
13.图1为本发明实施例所公开的芯片用测试机械臂的一个角度轴测结构示意图;图2为本发明实施例所公开的芯片用测试机械臂的另一个角度轴测结构示意图;图3为本发明实施例所公开的芯片用测试机械臂的第三个角度轴测结构示意图;图4为本发明实施例所公开的弹力锁紧器与第一锁紧把手的配合结构示意图;图5为本发明实施例所公开的第三段臂和测试头固定臂的配合结构示意图。
14.附图标记:1-机身导杆连接板,2-第一段臂,3-第二段臂,4-第三段臂,5-测试头固定臂,6-第一连接轴,7-第二连接轴,8-第三连接轴,9-第四连接轴,10-弹力锁紧器,101-弹力压板,102-锁口,103-平衡长条,104-偏心轴,11-第一锁紧把手,12-锁紧块,13-第二锁紧把手,14-顶杆,15-旋转把手,16-第一轴承固定块,17-第二轴承固定块。
具体实施方式
15.以下是本发明的具体实施例并结合附图,对本发明的技术方案作进一步的描述,但本发明并不限于这些实施例。
16.如图1-5所示,一种芯片用测试机械臂,包括机身导杆连接板1,机身导杆连接板1固定连接有第一连接轴6,第一连接轴6转动连接有第一段臂2,第一段臂2的远离第一连接轴6端转动连接有与第一连接轴6相平行的第二连接轴7,第二连接轴7固定连接有第二段臂3,第二段臂3的远离第二连接轴7端固定连接有与第二连接轴7相平行的第三连接轴8,第三连接轴8转动连接有第三段臂4,第三段臂4的靠近第三连接轴8一端固定连接有与第三连接轴8相垂直的第四连接轴9,第四连接轴9转动连接有测试头固定臂5。其中,第一连接轴6、第二连接轴7、第三连接轴8均水平设置,使得第一段臂2、第二段臂3和第三段臂4均可以相对其连接的连接轴转动,通过第一段臂2绕第一连接轴6转动,第二段臂3绕第二连接轴7转动,可驱动第三段臂4进行上下和左右移动,进而可实现带动与其连接的测试头固定臂5进行上下和左右移动,便于测试头固定臂5连接的芯片测试头对芯片进行测试;同时,由于第一段臂2、第二段臂3和第三段臂4均可转动,使得测试头固定臂5能够转动一定角度。第四连接轴9竖直设置,使得测试头固定臂5能够前后转动,进而带动芯片测试头前后转动,实现对芯片进行测试。
17.本技术中,第三段臂4的远离第四连接轴9端设有顶杆14,顶杆14穿设于第三段臂4上且分别与第三连接轴8、第四连接轴9垂直,通过顶杆14可推动测试头固定臂5绕着第四连接轴9前后转动,实现推动测试头固定臂5进行一定角度的转动。本技术中,该测试机械臂与测试机的机身连接,通过测试机的机身能够驱动该测试机械臂带动芯片测试头进行工作,可实现对芯片测试头的前后、左右和上下移动及一定角度的旋转,实现对不同位置或角度
的芯片的测试,适用性广泛。该测试机械臂的结构简单,易于加工制造,且生产成本低,且方便人工手动调节,有利于中小企业的使用和发展。
18.本技术中,第一段臂2上设有弹力锁紧器10,用于弹力锁紧器10包含两个弹力压板101,两个弹力压板101对称设置,两个弹力压板101之间连接有平衡长条103,两个弹力压板101的远离平衡长条103端均设有锁口102,平衡长条103的侧边设有与其垂直的偏心轴104。其中,第一连接轴6和第二连接轴7分别穿设于两个锁口102内,由于第一连接轴6与机身导杆连接板1固定连接,第二连接轴7与第二段臂3固定连接,通过锁口102能够锁住第一连接轴6和第二连接轴7,防止第一段臂2相对于机身导杆连接板1转动,及第二段臂3相对于第一段臂2转动,进而实现机身导杆连接板1、第一段臂2和第二段臂3的相对位置、角度的定位和固定;弹力压板101上下倾斜设置,,弹力压板101的靠近平衡长条103端高于锁口102端,偏心轴104设置于平衡长条103的中间下方,通过偏心轴104的转动,使得偏心轴104与平衡长条103接触或分离,当偏心轴104的凸起部位向上转到平衡长条103的位置时,偏心轴104能够向上挤压平衡长条103,使平衡长条103向上移动,带动弹力压板101向上移动,使得锁口102的口径变小,实现锁口102的锁紧功能,即可实现对第一连接轴6和第二连接轴7的锁紧,实现第二段臂3、第一段臂2和机身导杆连接板1的相对固定。
19.本技术中,偏心轴104的远离偏心轴104端设有第一锁紧把手11,通过第一锁紧把手11能够转动偏心轴104,进而实现锁口102的锁紧或放松功能。
20.本技术中,第三段臂4的靠近第二段臂3的侧面设有两个第一轴承固定块16,第三连接轴8的两端分别穿设于两个第一轴承固定块16内,通过第一轴承固定块16实现第三连接轴8与第三段臂4的转动连接;第三连接轴8的靠近第四连接轴9端套设有锁紧块12,锁紧块12固定于第三段臂4上,锁紧块12连接有第二锁紧把手13,通过转动第二锁紧把手13,能够驱动锁紧块12锁紧第三连接轴8,实现第三段臂4相对第二段臂3位置的定位和固定。
21.本技术中,测试头固定臂5的靠近第三段臂4侧面设有两个第二轴承固定块17,第四连接轴9的两端分别穿设于两个第二轴承固定块17内,通过第二轴承固定块17实现测试头固定臂5与与第三段臂4的转动连接。
22.本技术中,顶杆14与第三段臂4螺接,顶杆14的远离测试头固定臂5端设有旋转把手15,通过旋转把手15可转动顶杆14,使顶杆14绕着第三段臂4转动,实现顶杆14相对于第三段臂4的伸出长度的调节,进而实现测试头固定臂5相对第三段臂4的角度的调整。
23.最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明性的保护范围之内的发明内容。
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