一种金属离子污染采样检测装置的制作方法

1.本发明涉及检测装置技术领域，更具体地说，本发明涉及一种金属离子污染采样检测装置。


背景技术：

2.当晶圆在设备腔内取出时，通过晶圆在腔体内反应，表面沾染有金属离子等污染，需要通过vpd机台对晶圆表面进行蚀刻收集晶圆表面的刻蚀液体，去icpms机台进行金属离子分析.从而得知设备腔体内的金属离子污染情况。当目前通过晶圆收集金属离子的方法在金属离子污染检测方面有一定的缺陷，不能很好的反应腔体内的金属离子污染情况，即直接使用采取设备腔内的气体通入硝酸溶液，再进行取样，但是在实际生活中，硝酸溶液会进行反流至设备腔内，造成设备腔污染，其次是将设备腔内内部的气流进行引出时，部分气流会有反流现象。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种金属离子污染采样检测装置，通过在采样管之间固定连接有逆止阀，在逆止阀的内部滑动安装有滑动引流板，且在逆止阀的内部设置有与滑动引流板相互插合的多组竖直插杆，当气流流经逆止阀内部时促使滑动引流板的位置发生改变，从而改变逆止阀内部的连通或者密封不同转态，从而实现引流以及防止气体反流的目的，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种金属离子污染采样检测装置，包括多组采样管、采样泵、采样瓶和防倒灌瓶；所述采样泵、所述采样瓶以及所述防倒灌瓶的底端相齐平，所述采样泵通过所述采样管与所述采样瓶呈连通状态设置，所述采样瓶通过所述采样管与所述防倒灌瓶呈连通状态设置，所述采样管远离所述采样泵的一端固定安装有连接腔体的转接口；
5.所述采样管的表面插装有逆止阀，所述逆止阀为上下贯通的空腔状设置，所述逆止阀的内部滑动安装有一组滑动引流板，所述逆止阀的内壁底端固定安装有多组竖直插杆，所述竖直插杆插装于滑动引流板的内部，且滑动引流板的表面开设有与竖直插杆外径尺寸一致的引流孔，所述引流孔与竖直插杆的位置上下对应。
6.进一步地，所述逆止阀的内部固定安装有侧壁挡板，所述侧壁挡板与所述滑动引流板之间呈相抵设置，且所述竖直插杆与所述滑动引流板的顶端相齐平。
7.进一步地，所述防倒灌瓶的内壁固定安装有圆形固定板，所述圆形固定板的上端架装有采样连接罐一，所述采样连接罐一通过所述采样管与所述逆止阀之间呈连通状态设置。
8.进一步地，所述圆形固定板的顶端固定安装有竖直连接杆，所述竖直连接杆的表面固定安装有采样连接罐二，所述采样连接罐二通过所述采样管与所述采样瓶之间呈连通状态设置。
9.进一步地，所述采样连接罐二与所述采样连接罐一之间连通有连接管道，所述连接管道的表面开设有多组通孔。
10.进一步地，所述连接管道的内部滑动安装有浮子二，所述连接管道与所述竖直连接杆之间固定安装有多组引导板，所述多组所述引导板所围成的内腔尺寸为浮子二的外径尺寸大小，所述浮子二的顶端固定安装有第一铰接转杆。
11.进一步地，所述竖直连接杆的顶端开设有口部朝上的中心腔，所述中心腔贴合有浮子一，所述浮子一的顶端固定安装有竖直抵杆。
12.进一步地，所述竖直连接杆的顶端铰接有一组第二铰接转杆，所述第一铰接转杆贯穿所述竖直连接杆的一端转动安装于所述第二铰接转杆的内部，且所述竖直抵杆与所述浮子一之间呈相抵设置。
13.本发明的技术效果和优点：
14.1)本发明在采样管之间固定连接有逆止阀，在逆止阀的内部滑动安装有滑动引流板，且在逆止阀的内部设置有与滑动引流板相互插合的多组竖直插杆，当气流流经逆止阀内部时促使滑动引流板的位置发生改变，从而改变逆止阀内部的连通或者密封不同转态，从而实现引流以及防止气体反流的目的。
15.2)本发明通过在防倒灌瓶的内部安装有采样连接罐二和采样连接罐一，且采样连接罐二和采样连接罐一通过连接管道呈连通状态设置，在连接管道的内部滑动安装有浮子二，通过浮子二的不同位置从而实现引流以及硝酸溶液反流的目的，同时浮子二的位置移动联动铰接转杆进行偏转，可通过查看铰接转杆的偏转来判断硝酸溶液是否反流。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本发明一实施例提供的金属离子污染采样检测装置整体结构示意图。
18.图2为本发明一实施例提供的金属离子污染采样检测装置整体结构全剖图。
19.图3为本发明一实施例提供的金属离子污染采样检测装置整体结构示意图中a部结构放大图。
20.图4为本发明一实施例提供的金属离子污染采样检测装置整体结构全剖图中b部结构放大图。
21.其中，附图标记说明如下：
22.1、连接腔体转接口；2、采样管；3、逆止阀；4、防倒灌瓶；5、浮子一；6、采样瓶；7、竖直抵杆；8、采样泵；9、引导板；10、浮子二；11、采样连接罐二；12、采样连接罐一；13、圆形固定板；14、滑动引流板；15、侧壁挡板；16、竖直插杆；17、竖直连接杆；18、第一铰接转杆；19、连接管道；20、第二铰接转杆。
具体实施方式
23.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
24.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
25.参阅图1-4，本发明一实施例提供了一种金属离子污染采样检测装置，包括多组采样管2、采样泵8、采样瓶6以及防倒灌瓶4，如图1所示，采样泵8、采样瓶6以及防倒灌瓶4的底端相齐平，且采样瓶6和防倒灌瓶4均采用玻璃材质制成，方便工作人员及时观看采样瓶6和防倒灌瓶4内部气体流通情况，采样泵8通过采样管2与采样瓶6呈连通状态设置，采样瓶6通过采样管2与防倒灌瓶4呈连通状态设置，采样管2远离采样泵8的一端固定安装有连接腔体转接口1；如图4所示，采样管2的表面插装有逆止阀3，逆止阀3为上下贯通的空腔状设置，逆止阀3的内部滑动安装有一组滑动引流板14，逆止阀3的内壁底端固定安装有多组竖直插杆16，竖直插杆16插装于滑动引流板14的内部，且滑动引流板14的表面开设有与竖直插杆16外径尺寸一致的引流孔，引流孔与竖直插杆16的位置上下对应。
26.具体实施的时候，当含有金属离子的气体从连接腔体转接口1进入管道，在浮子一5的作用下促使气流从进行定向移动，其顺序为连接腔体转接口1-采样管2
‑‑
逆止阀3
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采样管2
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防倒灌瓶4
‑‑
采样管2
‑‑
采样瓶6
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采样泵8，气流经过逆止阀3的内腔时，气流冲刷滑动引流板14的表面，促使滑动引流板14进行升起，竖直插杆16与滑动引流板14之间进行脱离，气流从引流孔流至与逆止阀3连通的采样管2的内部，另外当气流进行反流或者是逆止阀3内部气压发生改变时，滑动引流板14进行下落，竖直插杆16再次插装于滑动引流板14的内部，防止气流倒流。采样瓶6中设置有硝酸溶液，进入到采样瓶6的金属离子的气体与硝酸溶液进行混合，通过icpms机台检测溶液中的金属离子含量。
27.在本实施例中，如图4所示，逆止阀3的内部固定安装有侧壁挡板15，侧壁挡板15与滑动引流板14之间呈相抵设置，且竖直插杆16与滑动引流板14的顶端相齐平。
28.在本实施例中，防倒灌瓶4的内壁固定安装有圆形固定板13，圆形固定板13的上端架装有采样连接罐一12，采样连接罐一12通过采样管2与逆止阀3之间呈连通状态设置。此外，如图2所示，圆形固定板13的顶端固定安装有竖直连接杆17，竖直连接杆17的表面固定安装有采样连接罐二11，采样连接罐二11通过采样管2与采样瓶6之间呈连通状态设置。
29.在本实施例中，如图3所示，采样连接罐二11与采样连接罐一12之间连通有连接管道19，连接管道19的表面开设有多组通孔，通孔用于将气流从采样连接罐一12的内部引流入采样连接罐二11的内部。此外，连接管道19的内部滑动安装有浮子二10，连接管道19与竖直连接杆17之间固定安装有多组引导板9，多组引导板9所围成的内腔尺寸为浮子二10的外径尺寸大小，浮子二10的顶端固定安装有铰接转杆18。并且，竖直连接杆17的顶端开设有口部朝上的中心腔，中心腔贴合有浮子一5，浮子一5的顶端固定安装有竖直抵杆7。
30.在本实施例中，如图3所示，竖直连接杆17的顶端铰接有一组铰接转杆20，铰接转杆18贯穿竖直连接杆17的一端转动安装于铰接转杆20的内部，且竖直抵杆7与铰接转杆20之间呈相抵设置。
31.具体实施的时候，当气流进行正常流通时，气流由采样连接罐一12通过连接管道19进入采样连接罐二11的内部，气流冲击第一铰接转杆18向上移动，此时第二铰接转杆20与竖直连接杆17的顶端之间呈一定角度，当气流进行反流时，采样瓶6内部所承装的硝酸溶液流入至采样连接罐二11内腔，由于重力作用竖直落入竖直抵杆7的中心腔内部，浮子一5进行上浮，浮子一5顶端的竖直抵杆7与第二铰接转杆20之间相抵，促使第一铰接转杆18进行下滑，浮子二10下滑盖合连接管道19表面的通孔，促使采样连接罐二11与采样瓶6之间形成密封腔，防止硝酸溶液进行反流，同时可通过竖直抵杆7从竖直连接杆17内部的伸出情况或者是第二铰接转杆20的偏转来判断硝酸溶液是否反流。
32.本发明的优点在于在采样管之间固定连接有逆止阀，在逆止阀的内部滑动安装有滑动引流板，且在逆止阀的内部设置有与滑动引流板相互插合的多组竖直插杆，当气流流经逆止阀内部时促使滑动引流板的位置发生改变，从而改变逆止阀内部的连通或者密封不同转态，从而实现引流以及防止气体反流的目的。并且，本发明通过在防倒灌瓶的内部安装有采样连接罐二和采样连接罐一，且采样连接罐二和采样连接罐一通过连接管道呈连通状态设置，在连接管道的内部滑动安装有浮子二，通过浮子二的不同位置从而实现引流以及硝酸溶液反流的目的，同时浮子二的位置移动联动铰接转杆进行偏转，可通过查看铰接转杆的偏转来判断硝酸溶液是否反流。
33.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的保护范围。