技术特征：
1.一种非球面面形的检测方法，其特征在于，包括：获取干涉出光结构(100)、计算全息结构(30)、待检测结构(50)和调整结构(40)，将所述干涉出光结构(100)、所述计算全息结构(30)、所述待检测结构(50)和所述调整结构(40)进行粗略对准；调整所述调整结构(40)和所述待检测结构(50)的位置，以将所述待检测结构(50)与所述干涉出光结构(100)进行精确对准；所述干涉出光结构(100)检测所述待检测结构(50)的非球面面形；其中，所述计算全息结构(30)为具有计算全息图(33)的结构。2.根据权利要求1所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在将所述干涉出光结构(100)、所述计算全息结构(30)、所述待检测结构(50)和所述调整结构(40)进行粗略对准的过程中包括：将所述干涉出光结构(100)与所述计算全息结构(30)对准；将所述调整结构(40)与所述计算全息结构(30)对准，以将所述待检测结构(50)与所述计算全息结构(30)进行粗略对准。3.根据权利要求2所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在将所述干涉出光结构(100)与所述计算全息结构(30)对准的过程中包括：所述干涉出光结构(100)射出光线，所述计算全息结构(30)的反射区域(35)将光线反射到所述干涉出光结构(100)上；调整所述计算全息结构(30)的位置，直至将干涉条纹调至零条纹，完成所述计算全息结构(30)与所述干涉出光结构(100)的对准；其中，所述计算全息结构(30)被配置为具有用于透光的第一区域(34)、用于反光的反射区域(35)和用于透光的对准区域(31)。4.根据权利要求2所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在将所述调整结构(40)与所述计算全息结构(30)对准，以将所述待检测结构(50)与所述计算全息结构(30)进行粗略对准的过程中包括：所述干涉出光结构(100)射出光线，所述计算全息结构(30)的对准区域(31)透过所述光线；调整所述调整结构(40)的位置，以使得透过所述对准区域(31)的所述光线能够透过所述调整结构(40)上的通孔(41)，实现所述待检测结构(50)与所述计算全息结构(30)的粗略对准。5.根据权利要求4所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在调整所述调整结构(40)和所述待检测结构(50)的位置，以将所述待检测结构(50)与所述干涉出光结构(100)进行精确对准的过程中包括：调整所述调整结构(40)和所述待检测结构(50)的前后位置使得所述通孔(41)透过的光最细。6.根据权利要求5所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在调整所述调整结构(40)和所述待检测结构(50)的前后位置使得所述通孔(41)透过的光最细的过程中，包括，固定接收板(60)的位置，使得所述通孔(41)透过的光在所述接收板(60)上形成光斑；调整所述调整结构(40)和所述待检测结构(50)的前后位置，使所述光斑的宽度最小；
其中，所述光斑的宽度最小时所述通孔(41)透过的光最细。7.根据权利要求6所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在所述接收板(60)上设置有用于测量的刻度，所述刻度用于测量所述光斑的宽度，所述光斑的宽度小于所述刻度的单位刻度时为宽度最小。8.根据权利要求6所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在所述接收板(60)上设置有多个平行的栅格线，所述光斑的宽度小于相邻两个所述栅格线之间的宽度时，所述光斑的宽度最小。9.根据权利要求6所述的非球面面形的检测方法，其特征在于，在所述接收板(60)上设置有用于检测所述光斑的宽度的传感器，所述传感器检测到所述光斑的宽度小于预设值时，为所述光斑的宽度最小。10.一种用于检测非球面面形的检测装置，其特征在于，所述用于检测非球面面形的检测装置采用权利要求1至9中任一项所述非球面面形的检测方法对非球面结构进行检测，所述用于检测非球面面形的检测装置，干涉出光结构(100)，所述干涉出光结构(100)能够被配置为发射干涉光；计算全息结构(30)，具有用于透光的第一区域(34)、用于反光的反射区域(35)和用于透光的对准区域(31)；调整结构(40)，所述调整结构(40)用于装配待检测结构(50)，所述调整结构(40)具有与所述对准区域(31)配合的通孔(41)。
技术总结
本发明提供了一种非球面面形的检测方法和用于检测非球面面形的检测装置，非球面面形的检测方法包括：获取干涉出光结构、计算全息结构、待检测结构和调整结构，将干涉出光结构、计算全息结构、待检测结构和调整结构进行粗略对准；调整调整结构和待检测结构的位置，以将待检测结构与干涉出光结构进行精确对准；干涉出光结构检测待检测结构的非球面面形；其中，计算全息结构为具有计算全息图的结构。本发明解决了现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。差大的问题。差大的问题。
技术研发人员：国成立 张健 李元正 戴付建 赵烈烽
受保护的技术使用者：浙江舜宇光学有限公司
技术研发日：2022.09.30
技术公布日：2022/12/12