技术特征：
1.一种扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，所述规定的频率是所述悬臂的非谐振频率，所述判定部在所述分开动作中在所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述非谐振频率下的振幅的减小量超过规定的值的情况下，判定为所述探针从所述试样表面离开。3.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，所述规定的频率是所述悬臂与所述试样接触的状态下的所述悬臂的谐振频率，所述判定部在所述分开动作中在所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的振幅的减小量超过规定的值的情况下，判定为所述探针从所述试样表面离开。4.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，所述规定的频率是所述悬臂的谐振频率，所述判定部在所述分开动作中在所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述谐振频率下的振幅的增加量超过规定的值的情况下，判定为所述探针从所述试样表面离开。
技术总结
本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。点上。点上。
技术研发人员：繁野雅次 渡边和俊 山本浩令
受保护的技术使用者：日本株式会社日立高新技术科学
技术研发日：2018.03.06
技术公布日：2023/3/3