技术特征：
1.一种基于srr结构的介电常数测量传感器，其特征在于，该传感器为采用单端口馈电的正面馈电且以一对开口谐振环作为工作结构的平面微波天线传感器，所述开口谐振环结构包括外环，以及设置在所述外环内的内环，所述外环和内环均设有开口，且所述内环的开口设置在远离于所述外环开口的一侧；还包括馈电结构，所述开口谐振环结构与馈电结构之间具有距离。2.根据权利要求1所述的基于srr结构的介电常数测量传感器，其特征在于，所述开口谐振环结构的尺寸为30mm
×
40mm。3.根据权利要求1或2所述的基于srr结构的介电常数测量传感器，其特征在于，r＝4.2mm，w＝w1＝w2＝g＝0.6mm，w3＝5.6mm，w4＝1mm，w5＝1.6mm；其中，r为外环边长长度的一半，w为内环和外环的宽度，g为内环和外环的距离，w1为外环和内环开口缝隙的距离，w2为开口谐振环结构和馈电结构之间距离，w3为开口谐振环结构和馈电结构之间距离，w4为传输线到后馈电结构之间宽度，w5为馈电宽度。4.根据权利要求1所述的基于srr结构的介电常数测量传感器，其特征在于，该传感器采用fr4作为传感器基板，所述基板的介电常数为4.4。5.根据权利要求1所述的基于srr结构的介电常数测量传感器，其特征在于，所述传感器基板的厚度为0.89mm～1mm。6.一种介电常数测量方法，其特征在于，包括以下步骤：将待测物置于如权利要求1至4中任一项所述的基于srr结构的介电常数测量传感器上；通过矢量网络分析仪得到所述待测物的s11参数；基于所述待测物的s11参数，通过仿真拟合得到的多变量线性拟合公式与实际测量的谐振频率相对应来得到所述待测物的介电常数。7.根据权利要求6所述的介电常数测量方法，其特征在于，在所述将待测物置于如权利要求1至4中任一项所述的基于srr结构的介电常数测量传感器上的步骤之前，还包括：通过设置多个不同介电常数的待测物样本，来对所述传感器进行仿真；其中，多个不同介电常数的待测物样本的介电常数分别是1、5、10、15、20、25、30，损耗角正切值均为0.02，样本厚度设置为0.8mm。8.根据权利要求6所述的介电常数测量方法，其特征在于，在所述通过矢量网络分析仪得到所述待测物的s11参数的步骤之前，还包括：在所述通过矢量网络分析仪得到所述待测物的s11参数的步骤之前，还包括：分别使用open、short和load三个校准件对所述矢量网络分析仪进行校准，校准的频率范围是0ghz～3ghz，分辨率为1mhz；其中，校准用待测物为微波工程生产中的板材材料，包括rogers 5880，rogers 4350，rf-35tc，fr4，rogers 3006，rogers3010中的一种或多种。9.一种介电常数测量系统，其特征在于，包括依次相连的待测系统模块、测试系统模块和比对模块，所述待测系统模块包括待测物，以及如权利要求1至4中任一项所述的基于srr结构的介电常数测量传感器；所述待测系统模块包括支撑结构、稳定夹具、待测物和传感器，用于作为该测试系统的前置准备；
所述测试系统模块包括矢量网络分析仪p5024a以及装配了矢量网络分析软件的计算机，用于通过矢量网络分析仪p5024a得到所述待测物与射频的s11参数；所述比对模块用于基于所述待测系统部分的待测物的s11参数，通过仿真拟合得到的多变量线性拟合公式与实际测量的谐振频率相对应来得到所述待测物的介电常数。
技术总结
本发明提供一种基于SRR结构的介电常数测量传感器、方法和系统，该传感器为采用单端口馈电的正面馈电且以一对开口谐振环作为工作结构的平面微波天线传感器，所述开口谐振环结构包括外环，以及设置在所述外环内的内环，所述外环和内环均设有开口，且所述内环的开口设置在远离于所述外环开口的一侧；还包括馈电结构，所述开口谐振环结构与馈电结构之间具有距离。该介电常数测量传感器能够通过网络分析仪和计算机快速线性拟合得到待测物的介电常数，能够对常见的微波工程应用的电路板材进行快速高精度测量。从而为实际的工业生产提供了一种高精度、方便以及稳定性不错的传感器设计。方便以及稳定性不错的传感器设计。方便以及稳定性不错的传感器设计。
技术研发人员：聂泽东 琚梓珩 唐华杰 李景振 敖鹏飞 刘宇航 王琨
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
技术研发日：2022.11.30
技术公布日：2023/3/2