一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备及其检测方法与流程

文档序号:34114541发布日期:2023-05-10 23:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,包括检测机构(1)、控制机构(2)和终端系统(3),其特征在于:所述检测机构(1)用于对轴封唇的气密封进行检测,所述控制机构(2)用于控制和监测检测机构(1)检测过程中的气压大小、气体流速和温度,所述终端系统(3)用于控制检测机构(1)和控制机构(2)、数据传输记录和报警急停;

2.根据权利要求1所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述控制机构(2)包括有:

3.根据权利要求2所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述终端系统(3)包括有:

4.根据权利要求2所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述导气机构包括有:

5.根据权利要求4所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述加压组件(24)包括有:

6.根据权利要求1所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述中负荷体(102)和中衬套(104)的上端均设置有若干个用于观察大轴承(107)的运行状态及安装温度传感器(23)的通孔。

7.根据权利要求1所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述轴封实验座(103)的一侧设置有与中负荷体(102)相匹配的限位环。

8.根据权利要求2所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述下位机(31)与压力传感器(242)、第一电磁阀(244)、第二电磁阀(245)、第三电磁阀(246)、第四电磁阀(247)和第五电磁阀(249)控制连接,并且所述温度传感器(23)、压力传感器(242)和流量计(2401)的检测数据均通过下位机(31)显示。

9.根据权利要求5所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,其特征在于:所述第一电磁阀(244)和第二电磁阀(245)的管路为检测气压测试管路,所述第三电磁阀(246)、第四电磁阀(247)和第五电磁阀(249)的管路相结合组成压力循环管路。

10.根据权利要求1-9任意一条所述的真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测方法,其特征在于:本方法包括了以下步骤:


技术总结
本发明公开了一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备,包括检测机构、控制机构和终端系统,所述检测机构用于对轴封唇的气密封进行检测,所述控制机构用于控制和监测检测机构检测过程中的气压大小、气体流速和温度,所述终端系统用于控制检测机构和控制机构、数据传输记录和报警急停,所述检测机构包括有加热底座、中负荷体、轴封环、封板、工装轴、电机定子和电机转子,加热底座上设置有若干个安装孔。本发明对真空泵用轴封的轴封唇气密性地检测准确,检测中轴封模拟工作状态,避免由于轴封唇气密性问题引起的泵腔粉尘泄露至油腔或油腔的油进入泵腔的情况,从而降低由于这方面的问题对真空泵性能及寿命的影响,提高整个产品的可靠性。

技术研发人员:孔祥玲,毕德龙,王云,杨帆,刘在行,杨士威,刘云鹏,王冰冰
受保护的技术使用者:中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/12
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