技术特征：
1.一种阶梯型波导微腔折射率传感器的制备方法，其特征在于，步骤如下：（1）采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写直条型单模波导；（2）采用微加工技术，将波导区域的一侧面制备阶梯型微腔，该阶梯型微腔结构，由两个长宽不一的矩形微腔组成，两微腔长度方向均沿波导传输方向，其垂直于于波导传输方向上的两个矩形横截面各覆盖波导模场的一部分，且两个矩形横截面的总和未覆盖全部波导模场。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，阶梯型微腔结构需贯穿波导的外表面，使腔内空间暴露于外界环境中。3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述阶梯型微腔的长度方向为平行于波导传输方向，其中长度较长的矩形微腔位于波导的外侧，长度较短的矩形微腔位于波导的内侧。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，当透明基底材料替换为单模光纤时，无需额外刻写直条型波导。5.根据权利要求1-4任一所述方法获得的微腔干涉器在制备光纤传感器方面的应用。
技术总结
本发明公开了一种阶梯型波导微腔折射率传感器的制备方法，步骤如下：（1）采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写直条型单模波导；（2）采用微加工技术，将波导区域的一侧面制备阶梯型微腔，该阶梯型微腔结构，由两个长宽不一的矩形微腔组成，两微腔长度方向均沿波导传输方向，其垂直于于波导传输方向上的两个矩形横截面各覆盖波导模场的一部分，且两个矩形横截面的总和未覆盖全部波导模场。相对于现有的波导微腔干涉型传感器，可以突破FSR对折射率探测范围的限制，从而可以在较大折射率变化范围内，准确读取液体的实际折射率数值。准确读取液体的实际折射率数值。准确读取液体的实际折射率数值。
技术研发人员：马海俐 姚一村 张丽强 王明红 刘才龙 白成林
受保护的技术使用者：聊城大学
技术研发日：2022.12.29
技术公布日：2023/3/7