技术特征：
1.一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于，它包括：位移平台(2)，所述位移平台(2)用于调整光斑照射到样品的位置；测试夹具(1)，所述测试夹具(1)用于夹持待测器件，完成待测器件与测试电路的电连接，该测试夹具(1)放置在位移平台(2)上；切换、偏压产生及信号转换模块(3)，所述切换、偏压产生及信号转换模块(3)完成测试通道的切换、产生偏置电压以及将电流信号转换为电压信号；信号采集及产生模块(4)，所述信号采集及产生模块(4)用于采集蕴含载流子迁移时间信号的瞬态电压信号，产生和识别脉冲激光器(5)的触发信号和同步信号；脉冲激光器(5)，所述脉冲激光器(5)用于产生脉冲激发光并照射到样品上，使待测半导体器件产生光生载流子；摄像头(6)，所述摄像头(6)用于观察光斑照射到器件的位置，该摄像头(6)带有补光灯。2.根据权利要求1所述的一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于：所述测试夹具(1)为密封箱体结构。3.根据权利要求1所述的一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于：所述位移平台(2)为三轴位移平台(2)。4.根据权利要求1所述的一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于：所述脉冲激光器(5)接受外部触发电信号和产生同步输出电信号。5.根据权利要求1所述的一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于：所述切换、偏压产生及信号转换模块(3)可通过usb连接到电脑上，且由上位机软件进行控制。6.根据权利要求1所述的一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，其特征在于：所述信号采集及产生模块(4)通过usb连接到电脑上，且由上位机软件进行控制。
技术总结
本实用新型公开了一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置，属于半导体材料载流子迁移率测试装置领域，它包括：位移平台、测试夹具、切换、偏压产生及信号转换模块、信号采集及产生模块、脉冲激光器和摄像头。本实用新型测试装置的设计合理，结构简单，其集成了测试夹具、位移平台、切换、偏压产生及信号转换模块、信号采集及产生模块、脉冲激光器以及摄像头，操作方便，为使用者提供便捷快速的测试，同时提高了测试的质量。时提高了测试的质量。时提高了测试的质量。
技术研发人员：王桥波 梁建树 梁华丽 陈志毅 梁华倩
受保护的技术使用者：东谱科技（广州）有限责任公司
技术研发日：2022.03.11
技术公布日：2022/9/22