一种高效的硅片载具检测工装的制作方法

1.本实用新型涉及硅片载具检测技术领域，尤其涉及一种高效的硅片载具检测工装。


背景技术：

2.在镀膜设备中普遍采用载板装载硅片进行镀膜。目前一条能够满载并正常运转的镀膜设备，需要配30套左右载板。由于hjt电池正反面tco膜层材料普遍为ito，ito具有超强的吸水特性，载板上积累了一定厚度的ito后，载板在出腔取放片过程中就会迅速吸附大气中大量的水蒸气，然后随着载板进去镀膜环境中，导致电池片的转换效率下降，因此需要对载板进行定期的清理，去除表面的ito膜。一块载板装载12片硅片载具，按照30套载板的数量，那一台设备需要360片硅片载具。硅片载具在清洗的过程中会伴随工人的暴力拆装、磕碰损伤和喷砂变形等。为了控制新的硅片载具和清洗后的硅片载具都能够合格上线使用，目前硅片载具都是品质人员根据图纸要求逐一检测各个关键尺寸是否合格，然后再做判定。
3.由品质人员逐一检测的方式，各个关键尺没有问题的才能够再次组装后上线使用，包括新做的硅片载具。载板进入自动化后，通过相机拍照来捕捉定位孔的位置，然后通过定位孔和9个放硅片的位置的相对尺寸精度来确保硅片是否可以准确无误的放入到硅片载具中。单片硅片载具就有9个位置的尺寸需要逐一检测，而且这9个放硅片的位置相对于定位孔的尺寸精度都是通过游标卡尺人工测量的。由于硅片载具数量很大，检验任务非常繁重，而且人工检测会存在一定误差。这样的检验方法，效率很低，很难保证所有硅片载具真正合格，从而导致载板不能够按时顺利上机使用。
4.因此，有必要研究一种新的高效的硅片载具检测工装来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型提供了一种高效的硅片载具检测工装，利用定位销和凸台相结合的方式检测硅片载具的定位孔和硅片放置位是否合格，能够实现更高效、更便捷、可靠性更高的硅片载具检测。
6.本实用新型提供一种高效的硅片载具检测工装，所述检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测位；
7.所述检测凸起位和所述定位孔检测位均位设于所述底板上；
8.所述检测凸起位的形状和位置均与标准硅片载具上的硅片放置位匹配；
9.所述定位孔检测位的形状和位置均与所述硅片载具上的定位孔匹配。
10.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位孔检测位具体为定位销，所述定位销垂直固定在所述底板上。
11.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位销
和所述底板的固定方式为：在所述底板上设置过孔，所述定位销穿设在所述过孔中并由卡簧卡接固定。
12.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位销和所述底板的固定方式为：所述底板上设有内螺纹过孔，所述定位销底部设有外螺纹，所述定位销与所述内螺纹过孔螺纹连接。
13.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述检测凸起位包括镂空结构和凸台，所述凸台设于所述镂空结构外周。
14.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述镂空结构为圆形过孔。
15.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述过孔的上端设有卡簧安装槽，所述c型卡簧嵌设在所述卡簧安装槽内。
16.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位销包括销轴和销帽，所述销轴垂直设于所述销帽的上方，且所述销轴的底端与所述销帽固定连接。
17.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述底板的周边设有一组或两组把手，每组把手包括两个相对而设的把手。
18.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述检测凸起位和所述定位销相对于所述底板上表面的突出高度根据一次检测的硅片载具数量调整。
19.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述检测凸起位的形状为具有圆角的方形，所述检测凸起位的数量与所述硅片放置位的数量相等。
20.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位孔检测位的数量大于等于2，且不大于所述定位孔的数量。
21.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述检测工装的底板上还设置有用于实施组装和卸载硅片载具的凹口。
22.与现有技术相比，本实用新型具有如下优点或有益效果：相比于常规的质检人员使用各种量具检测，使用本实用新型的检测工装操作十分简单，效率更高；
23.上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：通过检具上的四个定位销很好的控制了硅片载具在检具上的精确定位；
24.上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：定位销结合检具凸起位，精准的控制了硅片载具所有开口位置和定位孔的位置，保证了硅片载具只要通过检测，即可百分之百合格上线使用。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
26.图1是本实用新型一个实施例提供的硅片载具结构图；
27.图2是本实用新型一个实施例提供的高效的硅片载具检测工装立体结构图；
28.图3是本实用新型一个实施例提供的高效的硅片载具检测工装的定位销设置图及具体放大图；
29.图4是本实用新型一个实施例提供的硅片载具与检测工装的组装示意图；
30.图5是本实用新型针对图4提供的截面示意图。
31.图6是本实用新型一个实施例提供的带有凹口的硅片载具结构图。
32.其中，图中：
33.1、硅片载具；2、定位孔；3、检测工装；4、底板；5、检测凸起位；6、定位销；7、把手；8、c型卡簧；9、凸台；10、镂空结构；11、凹口。
具体实施方式
34.为了更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。
35.应当明确，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.在本实用新型实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本实用新型。在本实用新型实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。“第一”、“第二”和“第三”仅是为了区别做出的指代描述。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
37.本实用新型待检测的硅片载具1(也就是本领域常说的托盘)如图1所示，整体为方形，具有n*n个硅片放置位，n大于等于3，每个硅片放置位均为具有圆角的正方形，硅片放置位处是镂空的。本实用新型针对上述硅片载具1提供一种高效的检测工装3，该检测工装3的结构如图2、图3所示。该检测工装整体呈方形，包括方形的底板4，在底板4上设有n*n个具有圆角的方形的检测凸起位5，此时n为3，方形检测位的位置和水平向尺寸与待检测的标准的硅片载具1的硅片放置位匹配。每个检测凸起位5相较于底板4的表面具有凸台9，即检测凸起位5的上表面高于底板4的上表面。检测位之间的间隔处不具有凸台，相较于凸台成凹槽状，即直接显露底板4，间隔的距离与标准待测硅片载具中对应两硅片放置位之间的间距相同，保证硅片载具镂空的硅片放置位能够套设在对应检测位的凸台上，而非镂空位置能够放置在对应凹槽内与底板4接触。凸台9便于与待测的硅片载具1组装，且方便观察是否贴合。
38.作为一种优选的实施方式，检测凸起位5均设置为上下贯通的镂空结构，镂空的设计，极大的减轻了检具的重量，方便搬运。
39.不同检测位之间的底板上(也就是上述的凹槽内)设有若干定位销6，定位销6的数量、设置位置以及直径均与待测的标准硅片载具上的定位孔相匹配，能够满足每个定位孔均能套设在对应的定位销上且不具有明显晃动和位移。
40.作为一种优选的实施例，3*3型的硅片载具具有四个定位孔2，如图2、图3所示，四
个定位孔2分设在最中间的硅片放置位的四个角处，也就是硅片载具的每个“十”边框处。相应的，本实用新型的检测工装的定位销6的数量也是4个，设置位置为每个“十”字凹槽处。
41.图4和图5是本实用新型检测工装和待测硅片载具的组装示意图。由图中可以看出，硅片载具1从上方组装进检测工装3中，硅片载具1的四个定位孔2先对准检测工装的四个定位销6，硅片载具1的9个镂空硅片放置位再对准检测工装的9个具有凸台的检测凸起位5，然后将硅片载具1组装进检测工装3中，基于上述的组装工序，所述凸台的检测凸起位5高度低于所述定位销的高度。由于硅片载具的定位孔直径一般不会有较大误差(这是由定位孔的制备工艺决定的)，而定位销的直径也基本为定值，所以四个定位孔都能和对应定位销实现套接即可判定为硅片载具的定位孔合格。然后肉眼观察9个硅片放置位于对应检测位凸台的位置关系，无明显偏移即可判定为硅片放置位合格。两者都合格的便可以直接上线使用。其他情况均判定为不合格，硅片载具弃用。这里的其他情况包括：定位孔和/或硅片放置位不能和检测载具组装的情况以及能组装但是组装后硅片放置位的边框明显不能和凸台贴合的情况。用这种套接并观察的检测方式，既方便快捷，又能提高检测准确率，避免用游标卡尺等设备进行测量，避免费时费力。
42.在该实施方式中，定位销6和底板4的组装方式可以在底板4上设置内螺纹过孔，在定位销6的底部设置外螺纹，将定位销6从下向上穿过底板上的内螺纹孔并与之螺纹连接，起到固定作用。此外，也可以在底板4上设置过孔，过孔的上端设置卡簧安装槽，将定位销6穿设在过孔中，并由c型卡簧8卡接固定，c型卡簧8的卡接位置为卡簧安装槽内，如图5所示，通过c型卡簧8固定定位销6，其在后续使用过程中，若定位销6存在松动的情况，可以仅通过更换c型卡簧8即可达到校正定位销6的效果。以上两种方式中，定位销6的底端均设有销帽，销帽优选圆形，直径大于定位销6的直径以及底板4上的过孔的直径，优选过孔的底端设有销帽槽，用于使销帽嵌入其中，更利于定位销的稳定。
43.作为一种优选实施方式，如附图6所示，本实用新型在检测工装底板的两端分别设置一个把手7。具体地，在底板上设置安装过孔，在把手的底端设置内螺纹孔，然后用螺丝从下向上穿过安装过孔与把手螺纹连接，实现把手的固定。把手7能够在检测工装使用和储藏过程中实现手动搬运，从而方便工作人员操作。此外，检测工装3上还设置有凹口11，该检测工装3在提高检测准确率的同时，该设置可进一步方便快捷地组装和卸载硅片载具1。凹口11可以设置两组，两组凹口11分设在底板的另外两端，即非把手设置端。
44.本实用新型的检测工装并非一次只能检测一个硅片载具，而是可以同时检测多个叠置在一起的硅片载具。针对多个硅片载具的情况，可以根据硅片载具设计的一次放置多少片的需求，设计检具凸起的高度，用来检验所有硅片放置位置的尺寸是否合格，同样的，定位销的长度也可以根据实际检测硅片载具的数量进行设计。用这种一次检测多个硅片载具的方式，实现硅片载具的终检，方便快捷，能通过检验的载具，即可上机使用。
45.本实用新型的检测工装结构设计紧凑，成本低，可以满足一台镀膜设备所有硅片载具的检测。通过多个定位销和多个检测凸起位的结合设计，实现了更高效，更便捷，可靠性更高的硅片载具检测。
46.以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。